一种探测面板、其制作方法及检测装置制造方法及图纸

本发明专利技术公开了一种探测面板、其制作方法及检测装置，该探测面板包括：衬底基板，位于衬底基板之上的检测电路，位于检测电路之上、且与检测电路电连接的光电转换结构，以及位于光电转换结构之上、且与光电转换结构电连接的偏置电压层；偏置电压层具有网格状结构。本发明专利技术通过将偏置电压层设置成网格状结构，当由于检测人员触碰探测面板表面或由于探测面板清洗工艺不完全造成静电聚集于探测面板表面时，网格状结构的偏置电压层可以将静电及时疏导出，避免静电聚集于探测面板表面，提升探测面板抵抗ESD的能力及减少静电类Mura不良，进而改善探测面板表面由于静电积累导致接触性不良的问题。

A detection panel, its making method and detection device

【技术实现步骤摘要】
一种探测面板、其制作方法及检测装置
本专利技术涉及探测面板
，特别涉及一种探测面板、其制作方法及检测装置。
技术介绍
基于薄膜晶体管(ThinFilmTransistor，TFT)技术制作的平板X射线探测器(FlatX-rayPanelDetector，FPXD)是数字影像技术中至关重要的元件，由于其具有成像速度快，良好的空间及密度分辨率、高信噪比、直接数字输出等优点，广泛应用于医学影像(如X光胸透)、工业检测(如金属探伤)、安保检测、航空运输等领域。
技术实现思路
本专利技术实施例提供一种探测面板、其制作方法及检测装置，用以解决现有技术中由于检测人员触碰面板表面或清洗工艺不完全，造成静电聚集于面板表面，从而造成面板表面接触性不良的问题。本专利技术实施例提供了一种探测面板，包括：衬底基板，位于所述衬底基板之上的检测电路，位于所述检测电路之上、且与所述检测电路电连接的光电转换结构，以及位于所述光电转换结构之上、且与所述光电转换结构电连接的偏置电压层；所述偏置电压层具有网格状结构。可选地，在具体实施时，在本专利技术本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种探测面板，其特征在于，包括：衬底基板，位于所述衬底基板之上的检测电路，位于所述检测电路之上、且与所述检测电路电连接的光电转换结构，以及位于所述光电转换结构之上、且与所述光电转换结构电连接的偏置电压层；/n所述偏置电压层具有网格状结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种探测面板，其特征在于，包括：衬底基板，位于所述衬底基板之上的检测电路，位于所述检测电路之上、且与所述检测电路电连接的光电转换结构，以及位于所述光电转换结构之上、且与所述光电转换结构电连接的偏置电压层；
所述偏置电压层具有网格状结构。


2.如权利要求1所述的探测面板，其特征在于，所述偏置电压层的材料为透明导电材料。


3.如权利要求2所述的探测面板，其特征在于，所述透明导电材料为ITO。


4.如权利要求2所述的探测面板，其特征在于，还包括：位于所述偏置电压层与所述光电转换结构之间、且覆盖所述光电转换结构的缓冲层，以及位于所述缓冲层与所述偏置电压层之间、且与所述偏置电压层接触设置的树脂层。


5.如权利要求4所述的探测面板，其特征在于，还包括：位于所述偏置电压层之上的闪烁层，所述闪烁层通过所述网格状结构的网孔与所述树脂层直接接触。


6.如权利要求1所述的探测面板，其特征在于，所述光电转换结构包括在所述检测电路上依...

【专利技术属性】
技术研发人员：赵斌，徐帅，徐晓娜，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方传感技术有限公司，
类型：发明
国别省市：北京;11