【技术实现步骤摘要】
声表面波谐振器和声表面波滤波器
本技术涉及谐振器
,具体涉及一种声表面波谐振器和一种包括该声表面波谐振器的声表面波滤波器。
技术介绍
在通信射频前端模块中,声表面波滤波器是其核心器件。声表面波滤波器由一系列声表面波谐振器构建而成,谐振器的Q值决定了滤波器性能的优劣,所以提高声表面波谐振器的Q值一直是本领域的研究热点之一。声能量泄露是导致声表面波谐振器Q值降低的一个重要因素。在谐振器声孔径的两端,金属汇流条连接电极指条,通常汇流条区域的声表面波速度要低于叉指换能器和反射栅阵中的声表面波速度,所以能限制声能量向外侧传播。然而在声表面波谐振器换能器和栅阵的连接处,汇流条是断开的,即该处为自由表面的缝隙,其声表面波速度高于叉指换能器和反射栅阵中的声表面波速度,构成一个声能量泄露通道。现有设计技术中该缝隙是一个矩形的直通道或者开口变大的通道,任由该处的声能量泄露而不加阻拦。
技术实现思路
本技术旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一,提供一种声表面波谐振器和一种包括该声表面波谐振器的声表面波滤波器。r>本技术的第一方面本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种声表面波谐振器,包括基板、设置在所述基板上的叉指换能器以及位于所述叉指换能器长度方向两侧的反射栅阵,所述叉指换能器包括叉指汇流电极部以及与所述叉指汇流电极部电连接并呈周期分布的叉指电极部,所述反射栅阵包括栅阵汇流电极部以及与所述栅阵汇流电极部电连接并呈周期分布的栅阵指电极部,所述栅阵汇流电极部与所述叉指汇流电极部相对应,所述栅阵指电极部与所述叉指电极部相对应,其特征在于,所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有至少一个防能量泄露部,以阻止声表面波能量泄露。/n
【技术特征摘要】
1.一种声表面波谐振器,包括基板、设置在所述基板上的叉指换能器以及位于所述叉指换能器长度方向两侧的反射栅阵,所述叉指换能器包括叉指汇流电极部以及与所述叉指汇流电极部电连接并呈周期分布的叉指电极部,所述反射栅阵包括栅阵汇流电极部以及与所述栅阵汇流电极部电连接并呈周期分布的栅阵指电极部,所述栅阵汇流电极部与所述叉指汇流电极部相对应,所述栅阵指电极部与所述叉指电极部相对应,其特征在于,所述栅阵汇流电极部和所述叉指汇流电极部之间设置有至少一个防能量泄露部,以阻止声表面波能量泄露。
2.根据权利要求1所述的声表面波谐振器,其特征在于,所述防能量泄露部包括自所述叉指汇流电极部向靠近所述栅阵汇流电极部的方向延伸的凸出部以及自所述栅阵汇流电极部向远离所述叉指汇流电极部凹陷的凹陷部,所述凸出部伸入所述凹陷部内。
3.根据权利要求2所述的声表面波谐振器,其特征在于,所述凸出部与所述叉指汇流电极部一体形成。
4.根据权利要求2所述的声表面波谐振器,其特征在于,所述凹陷部包括底壁以及自所述底壁向靠近所述叉指汇流电极部的方向延伸的两个侧壁,所述凸出部插置在两个所述侧壁之间,并且,所述凸出部与两个所述侧壁存在相互重叠的区...
【专利技术属性】
技术研发人员:张树民,王国浩,汪泉,其他发明人请求不公开姓名,
申请(专利权)人:杭州左蓝微电子技术有限公司,
类型:新型
国别省市:浙江;33
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