【技术实现步骤摘要】
用于碳化硅半导体的研磨进料装置
本技术涉及碳化硅加工的
，具体设计一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置。
技术介绍
碳化硅的硬度很大，莫氏硬度为9.5级，仅次于世界上最硬的金刚石(10级)，具有优良的导热性能，是一种半导体，高温时能抗氧化。在对半导体进行加工时需要在加工之前对碳化硅进行研磨操作，初步研磨后在进入加工设备中进行加工可以提高加工的效率，现有技术中对碳化硅半导体的研磨进行处理的效率低，质量差，无法满足实际使用时的需求。
技术实现思路
本技术所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足而提供一种能够提高碳化硅半导体研磨效率和质量的进料装置。解决上述技术问题，本技术采取如下技术方案：一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，包括安装座，安装座上端安装有安装架，安装架上安装有传送带安装座，传送带安装座上安装有贯穿安装架的传送带，传送带安装座上设有驱动传送带运动的传送带驱动电机，安装座上端安装有电源箱，安装架上安装有与电源箱电连接的主动辊驱动电机，主动辊驱动电机靠近安装架的一侧安装有主动辊，安装架...
【技术保护点】
1.一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，包括安装座，安装座(1)上端安装有安装架(2)，安装架(2)上安装有传送带安装座(19)，传送带安装座(19)上安装有贯穿安装架(2)的传送带(3)，传送带安装座(19)上设有驱动传送带(3)运动的传送带驱动电机(4)，安装座(1)上端安装有电源箱(5)，安装架(2)上安装有与电源箱(5)电连接的主动辊驱动电机(18)，主动辊驱动电机(18)靠近安装架(2)的一侧安装有主动辊(17)，安装架(2)上安装有从动辊安装座(7)，从动辊安装座(7)转动安装有从动辊(8)，从动辊(8)与主动辊(17)之间传动连接有研磨带(9)，传...
【技术特征摘要】
1.一种用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，包括安装座，安装座(1)上端安装有安装架(2)，安装架(2)上安装有传送带安装座(19)，传送带安装座(19)上安装有贯穿安装架(2)的传送带(3)，传送带安装座(19)上设有驱动传送带(3)运动的传送带驱动电机(4)，安装座(1)上端安装有电源箱(5)，安装架(2)上安装有与电源箱(5)电连接的主动辊驱动电机(18)，主动辊驱动电机(18)靠近安装架(2)的一侧安装有主动辊(17)，安装架(2)上安装有从动辊安装座(7)，从动辊安装座(7)转动安装有从动辊(8)，从动辊(8)与主动辊(17)之间传动连接有研磨带(9)，传送带安装座(19)上且位于安装架(2)内安装有研磨辊安装座(15)，研磨辊安装座(15)上且位于主动辊(17)的两侧安装有一对相对于主动辊(17)中心线对称的第一转轴(14)，第一转轴(14)外周均安装有研磨辊(16)，研磨辊(16)位于传送带(3)的上方，且研磨辊(16)与研磨带(9)接触布置，安装架(2)内顶部安装有导向板(13)，导向板(13)与传送带(3)上端面接触布置。
2.如权利要求1所述的用于碳化硅半导体的研磨进料装置，其特征在于，安装架(2)内且位于研磨带(9)内安装有液压泵(11)，液压泵(11)靠近安装架(2)的一侧安装有推板(12)，推板(12)由液压泵(11)驱动...
【专利技术属性】
技术研发人员：李勇刚，胥小丰，卢红亮，
申请(专利权)人：四川矽芯微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51
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