一种半导体芯片引脚检查辅助装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术属于半导体加工技术领域，提供了一种半导体芯片引脚检查辅助装置，用于连接一视觉图形检测系统来对半导体芯片引脚进行检查，其包括圆形转盘和设置在该圆形转盘上的负压抓取工位，由负压抓取工位从第一传送通道抓取芯片供视觉图形检测系统进行检测，然后根据检测结果再由负压抓取工位放入第二传送通道或第三传送通道，通过本实用新型专利技术提供的辅助装置，可以对半导体芯片进行自动抓取供视觉图像检测系统，并且根据检测结果可以对半导体芯片进行分类输出，从而避免了人工的参与，且提高了检测效率。

【技术实现步骤摘要】
一种半导体芯片引脚检查辅助装置
本技术涉及半导体
，特别是涉及一种半导体芯片引脚检查辅助装置。
技术介绍
在芯片加工后期，需要对芯片进行检测，例如对芯片的引脚进行检测，看是否存在不良品或缺陷。目前最先进的技术是通过图像检测软件对芯片进行拍照进行检测，不过在对芯片拍照前需要人工辅助相机进行检测。这种人工辅助既增加了人工成本，也导致检测效率不高，因此技术人员根据现场情况对检测工序进行改进。
技术实现思路
技术问题在利用视觉图像检测系统对芯片进行引脚检测过程中存在人员参与而致使人力成本高和效率不高的问题。技术方案一种半导体芯片引脚检查辅助装置，用于连接一视觉图形检测系统来对半导体芯片引脚进行检查，其特征在于，所述半导体芯片引脚检查辅助装置包括：圆形转盘，按设定转动角度循环转动；负压抓取工位，依次等间隔的设置在所述圆形转盘的周边；第一传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第一位置的下方，用于向所述负压抓取工位传送半导体芯片；第二传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第二位置的下方，用于背本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种半导体芯片引脚检查辅助装置，用于连接一视觉图形检测系统来对半导体芯片引脚进行检查，其特征在于，所述半导体芯片引脚检查辅助装置包括：/n圆形转盘，按设定转动角度循环转动；/n负压抓取工位，依次等间隔的设置在所述圆形转盘的周边；/n第一传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第一位置的下方，用于向所述负压抓取工位传送半导体芯片；/n第二传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第二位置的下方，用于背向所述负压抓取工位传送半导体芯片；/n第三传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第三位置的下方，背向所述负压抓取工位传送半导体芯片；/n所述第一位置、第二位置和第三位置为...

【技术特征摘要】
1.一种半导体芯片引脚检查辅助装置，用于连接一视觉图形检测系统来对半导体芯片引脚进行检查，其特征在于，所述半导体芯片引脚检查辅助装置包括：
圆形转盘，按设定转动角度循环转动；
负压抓取工位，依次等间隔的设置在所述圆形转盘的周边；
第一传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第一位置的下方，用于向所述负压抓取工位传送半导体芯片；
第二传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第二位置的下方，用于背向所述负压抓取工位传送半导体芯片；
第三传送通道，设置在所述圆形转盘上负压抓取工位转动到第三位置的下方，背向所述负压抓取工位传送半导体芯片；
所述第一位置、第二位置和第三位置为所述圆形转盘循环转动路径上的间隔一个或多个设定转动角度所在的位置；
所述视觉图形检测系统设置在所述第一位置和第二位置之间的所述圆形转盘循环转动路径上，所述视觉图形检测系统连接于所述负压抓取工位，所述视觉图形检测系统对半导体芯片进行检测后输出检查结果至所述负压抓取工位；
其中，负压抓取工位根据接收到的检查结果在所述第二位置或第三位置将检测后的半导体芯片放下，在所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：李晶，卢红亮，李勇刚，蒋镄铠，
申请(专利权)人：四川矽芯微科技有限公司，
类型：新型
国别省市：四川;51