单层电容器加工过程的清洗装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种单层电容器加工过程的清洗装置，包括NPP槽体以及分别与控制器相连的喷淋装置、鼓泡装置、快排装置和浸泡进水管。本实用新型专利技术采用的喷淋装置，喷淋效果好；采用的鼓泡装置，提高气泡强度均匀性，清洗效果好；采用的快排装置，有效的将附着在产品表面的药液异物等通过水洗的快速排放而带走；本实用新型专利技术实现了浸泡、溢流、喷淋、鼓泡、快排基础功能的组合清洗。

Cleaning device for single-layer capacitor processing

【技术实现步骤摘要】
单层电容器加工过程的清洗装置
本技术涉及单层电容器制造
，尤其涉及一种单层电容器加工过程的清洗装置。
技术介绍
单层电容属于半导体行业，产品表面的清洗尤为重要，普通的清洗方式根本无法达到此行业的清洁度要求，从而会出现绝缘异常、容值异常等问题，严重影响产品质量。普通的清洗装置一般为浸泡、溢流或者喷淋，电容器加工过程中溅射、电镀、显影、去胶、刻蚀等工艺步骤后均需要对产品表面进行清洗，因单层电容产品轻薄短小，普通的清洗方式极易产生碎片和暗裂，严重影响产品合格率及产品质量。如何保证清洗效果和产品质量是每个单层产品工艺过程中需要面对的问题。
技术实现思路
本技术为解决上述问题，提供一种单层电容器加工过程的清洗装置。为解决上述技术问题，本技术的技术方案是：单层电容器加工过程的清洗装置，包括NPP槽体以及分别与控制器相连的喷淋装置、鼓泡装置、快排装置和浸泡进水管；NPP槽体为顶部开口的空腔矩形体结构；喷淋装置包括安装在NPP槽体顶部两侧的喷淋管，喷淋管的外壁间隔设置有若干个喷嘴，喷淋管的一端连接有喷淋摆动器，喷淋管的另一端连接有喷淋进水管；鼓泡装置包括安装在连接支架顶部的鼓泡摆动器，连接支架的底部安装有中空鼓泡板，中空鼓泡板的四周与NPP槽体的内壁之间留有间隙，并且中空鼓泡板分NPP槽体的内腔为上腔和下腔，中空鼓泡板的上表面开设有若干个鼓泡孔，各个鼓泡孔均与中空鼓泡板的中空腔相连通，中空鼓泡板的四角连接有氮气进气管，并且氮气进气管与中空鼓泡板的中空腔相连通；快排装置包括安装在NPP槽体底部的快排外壳，快排外壳内由下至上依次连接有气动阀门、快排托盘、快排密封圈，位于快排密封圈上方的NPP槽体的底面开设有快排口；浸泡进水管安装在NPP槽体的底部，并且浸泡进水管与NPP槽体的下腔相连通。进一步的，NPP槽体的顶部开设有溢流口。进一步的，气动阀门与快排托盘可伸缩式连接。进一步的，气动阀门底部的气动阀门进气管穿出快排外壳的底面。进一步的，浸泡进水管为U型，并且浸泡进水管的两端分布在NPP槽体底部的对角线上。本技术采用的喷淋装置，喷淋效果好；采用的鼓泡装置，提高气泡强度均匀性，清洗效果好；采用的快排装置，有效的将附着在产品表面的药液异物等通过水洗的快速排放而带走；本技术实现了浸泡、溢流、喷淋、鼓泡、快排基础功能的组合清洗。附图说明图1是本技术结构示意图一；图2是本技术结构示意图二；图3是本技术结构示意图三。其中：1-NPP槽体，2-喷淋装置，3-鼓泡装置，4-快排装置，5-溢流口，6-浸泡进水管，201-喷嘴，202-喷淋摆动器，203-喷淋管，204-喷淋进水管，301-鼓泡摆动器，302-连接支架，303-氮气进气管，304-中空鼓泡板，401-快排外壳，402-气动阀门，403-快排托盘，404-快排密封圈，405-气动阀门进气管。具体实施方式下面结合附图1-3对本技术的具体实施方式作进一步说明。单层电容器加工过程的清洗装置，包括NPP槽体1以及分别与控制器相连的喷淋装置2、鼓泡装置3、快排装置4和浸泡进水管6；NPP槽体1为顶部开口的空腔矩形体结构；喷淋装置2包括安装在NPP槽体1顶部两侧的喷淋管203，喷淋管203的外壁间隔设置有若干个喷嘴201，喷淋管203的一端连接有喷淋摆动器202，喷淋管203的另一端连接有喷淋进水管204；鼓泡装置3包括安装在连接支架302顶部的鼓泡摆动器301，连接支架302的底部安装有中空鼓泡板304，中空鼓泡板304的四周与NPP槽体1的内壁之间留有间隙，并且中空鼓泡板304分NPP槽体1的内腔为上腔和下腔，中空鼓泡板304的上表面开设有若干个鼓泡孔，各个鼓泡孔均与中空鼓泡板304的中空腔相连通，中空鼓泡板304的四角连接有氮气进气管303，并且氮气进气管303与中空鼓泡板304的中空腔相连通；快排装置4包括安装在NPP槽体1底部的快排外壳401，快排外壳401内由下至上依次连接有气动阀门402、快排托盘403、快排密封圈404，位于快排密封圈404上方的NPP槽体1的底面开设有快排口；浸泡进水管6安装在NPP槽体1的底部，并且浸泡进水管6与NPP槽体1的下腔相连通。NPP槽体1的顶部开设有溢流口5。气动阀门402与快排托盘403可伸缩式连接。气动阀门402底部的气动阀门进气管405穿出快排外壳401的底面。浸泡进水管6为U型，并且浸泡进水管6的两端分布在NPP槽体1底部的对角线上。喷淋装置2，采用一对喷淋管203，且每根喷淋管203可单独进行喷淋角度调整，喷淋角度可以固定也可以在一定角度范围内循环转动，两根喷淋管203可以同步也可以错开，这种设计可以将产品的不同高度都得到喷淋的清洗，还可以通过设置避免两根喷淋管203对喷而造成的喷淋效果减弱问题，最大化的将喷淋效果发挥。鼓泡装置3，此装置为中空设计、表面开鼓泡孔、四角进气，提高气泡强度均匀性。主要在浸泡过程中发挥作用，让氮气在清洗水中上浮搅动，让清洗效果更佳，并且鼓泡装置3在鼓泡摆动器301带动下左右摇摆，让搅动分布更加均匀，达到更好的清洗效果，使用氮气的原因是避免产品表面产生氧化问题，氮气纯度高，里面不含油、水气等，避免污染。快排装置4，气动阀门402接到控制器指令后，迅速动作将阀门拉开，清洗水在3-5秒内全部排净，此功能可以有效的将附着在产品表面的药液异物等通过水洗的快速排放而带走，实现清洗效果，气动阀门402常开时也可以作为单独喷淋清洗时候的排水阀。溢流口5在浸泡水洗时发挥作用，当浸泡新水从底部的浸泡进水管6注入时，清洗后水从溢流口5溢出，达到带走污染物的效果。控制器的具体结构及程序为本领域技术人员可自行实施的。举例说明实现此清洗装置的一个清洗步骤，在控制器端设置程序后，清洗装置将按如下程序运行，不同产品可设置不同清洗程序，凡可通过此装置功能组合可达成的功能均视为本技术的保护范围。步骤喷淋/摇摆注水快排鼓泡/摇摆130S/30SOFFONOFF2OFF40SOFF40S/40S3OFFOFFONOFF420S/20S20SOFF20S/20S5OFF20SOFF20S/20S6OFFOFFONOFF710S/10SOFFONOFF8OFF20SOFF20S/20本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.单层电容器加工过程的清洗装置，其特征在于，包括NPP槽体(1)以及分别与控制器相连的喷淋装置(2)、鼓泡装置(3)、快排装置(4)和浸泡进水管(6)；/nNPP槽体(1)为顶部开口的空腔矩形体结构；/n喷淋装置(2)包括安装在NPP槽体(1)顶部两侧的喷淋管(203)，喷淋管(203)的外壁间隔设置有若干个喷嘴(201)，喷淋管(203)的一端连接有喷淋摆动器(202)，喷淋管(203)的另一端连接有喷淋进水管(204)；/n鼓泡装置(3)包括安装在连接支架(302)顶部的鼓泡摆动器(301)，连接支架(302)的底部安装有中空鼓泡板(304)，中空鼓泡板(304)的四周与NPP槽体(1)的内壁之间留有间隙，并且中空鼓泡板(304)分NPP槽体(1)的内腔为上腔和下腔，中空鼓泡板(304)的上表面开设有若干个鼓泡孔，各个鼓泡孔均与中空鼓泡板(304)的中空腔相连通，中空鼓泡板(304)的四角连接有氮气进气管(303)，并且氮气进气管(303)与中空鼓泡板(304)的中空腔相连通；/n快排装置(4)包括安装在NPP槽体(1)底部的快排外壳(401)，快排外壳(401)内由下至上依次连接有气动阀门(402)、快排托盘(403)、快排密封圈(404)，位于快排密封圈(404)上方的NPP槽体(1)的底面开设有快排口；/n浸泡进水管(6)安装在NPP槽体(1)的底部，并且浸泡进水管(6)与NPP槽体(1)的下腔相连通。/n...

【技术特征摘要】
1.单层电容器加工过程的清洗装置，其特征在于，包括NPP槽体(1)以及分别与控制器相连的喷淋装置(2)、鼓泡装置(3)、快排装置(4)和浸泡进水管(6)；
NPP槽体(1)为顶部开口的空腔矩形体结构；
喷淋装置(2)包括安装在NPP槽体(1)顶部两侧的喷淋管(203)，喷淋管(203)的外壁间隔设置有若干个喷嘴(201)，喷淋管(203)的一端连接有喷淋摆动器(202)，喷淋管(203)的另一端连接有喷淋进水管(204)；
鼓泡装置(3)包括安装在连接支架(302)顶部的鼓泡摆动器(301)，连接支架(302)的底部安装有中空鼓泡板(304)，中空鼓泡板(304)的四周与NPP槽体(1)的内壁之间留有间隙，并且中空鼓泡板(304)分NPP槽体(1)的内腔为上腔和下腔，中空鼓泡板(304)的上表面开设有若干个鼓泡孔，各个鼓泡孔均与中空鼓泡板(304)的中空腔相连通，中空鼓泡板(304)的四角连接有氮气进气管(303)，并且氮气进气管(303)与中空鼓泡板(304)的中空腔相连通；
快排装置(4)包括安装在N...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘云志，吴继伟，杨国兴，王迪，郝泳鑫，
申请(专利权)人：大连达利凯普科技有限公司，
类型：新型
国别省市：辽宁;21