具有集成消除电路的薄膜体声波谐振器滤波器制造技术

一种声波器件，包括配置为对射频信号进行滤波的声波滤波器、以及耦接到声波滤波器的环形电路。所述环形电路配置为对特定频率的目标信号产生反相信号。所述环形电路包括具有压电层和设置在压电层上的叉指换能器电极的兰姆波谐振器。所述压电层包括自由边缘。所述压电层的边缘配置为对由叉指换能器电极从压电层的边缘产生的声波的反射进行抑制或散射之一。

Thin film bulk acoustic resonator filter with integrated cancellation circuit

【技术实现步骤摘要】
具有集成消除电路的薄膜体声波谐振器滤波器
本申请的实施例涉及声波滤波器。
技术介绍
声波滤波器可以对射频信号滤波。声波滤波器可包括布置为对射频信号滤波的多个谐振器。谐振器可布置成梯形电路。示例声波滤波器包括表面声波(SAW)滤波器、体声波(BAW)滤波器和兰姆(Lamb)波谐振器滤波器。薄膜体声波谐振器(filmbulkacousticresonator，FBAR)滤波器是BAW滤波器的示例。固态装配型谐振器(solidlymountedresonator，SMR)滤波器是BAW滤波器的另一示例。声波滤波器可在射频电子系统中实现。例如，移动电话的射频前端中的滤波器可包括声波滤波器。两个声波滤波器可布置为双工器。
技术实现思路
根据本文公开的一个方面，提供了一种声波器件。该声波器件包括配置为对射频信号进行滤波的声波滤波器以及耦接到所述声波滤波器的环形电路(loopcircuit)，该环形电路配置为对特定频率的目标信号生成反相信号，该环形电路包括具有压电层和设置在所述压电层上的叉指换能器电极的兰姆波谐振器，所述压电层包括本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种声波器件，包括：/n声波滤波器，其配置为对射频信号进行滤波；以及/n环形电路，其耦接到所述声波滤波器，所述环形电路配置为对特定频率的目标信号产生反相信号，所述环形电路包括具有压电层和设置在所述压电层上的叉指换能器电极的兰姆波谐振器，所述压电层包括自由边缘，所述压电层的边缘配置为对由所述叉指换能器电极从所述压电层的所述边缘产生的声波的反射进行抑制或散射之一。/n

【技术特征摘要】
20180718 US 62/699,9501.一种声波器件，包括：
声波滤波器，其配置为对射频信号进行滤波；以及
环形电路，其耦接到所述声波滤波器，所述环形电路配置为对特定频率的目标信号产生反相信号，所述环形电路包括具有压电层和设置在所述压电层上的叉指换能器电极的兰姆波谐振器，所述压电层包括自由边缘，所述压电层的边缘配置为对由所述叉指换能器电极从所述压电层的所述边缘产生的声波的反射进行抑制或散射之一。


2.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述压电层是氮化铝层、铌酸锂层或钽酸锂层之一。


3.根据权利要求1所述的声波器件，其中，在所述兰姆波谐振器中利用的声波模式是最低阶非对称(A0)模式、最低阶对称(S0)模式、最低阶剪切水平模式(SH0)模式、一阶非对称(A1)模式、一阶对称(S1)模式或一阶剪切水平(SH1)模式之一。


4.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述兰姆波谐振器是固态装配型谐振器。


5.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述兰姆波谐振器是独立式谐振器。


6.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述声波滤波器包括体声波谐振器。


7.根据权利要求6所述的声波器件，其中，所述兰姆波谐振器的所述压电层由与所述体声波谐振器的压电材料相同的材料形成。


8.根据权利要求7所述的声波器件，其中，所述材料包括氮化铝。


9.根据权利要求6所述的声波器件，其中，所述体声波谐振器是薄膜体声波谐振器。


10.根据权利要求6所述的声波器件，其中，所述体声波谐振器是固态装配型谐振器。


11.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述声波滤波器包括第二兰姆波谐振器。


12.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述兰姆波谐振器和所述声波滤波器中的至少一个谐振器设置在同一半导体基板上。


13.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述声波滤波器是发射滤波器。


14.根据权利要求1所述的声波器件，其中，所述声波滤波器是接收滤波器。


15.根据权利要求1所述的声波器件，还包括第二声波滤波器，所述声波滤波...

【专利技术属性】
技术研发人员：J·J·卡伦，
申请(专利权)人：天工方案公司，
类型：发明
国别省市：美国;US