一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统包括真空箱和工件，所述工件位于所述真空箱内，所述工件的进出气口连通高压罐的出气口，所述高压罐的第一进气口连通氦源的出气口，所述氦源的出气口连通低压罐的第二进气口，所述低压罐的第一进气口连通回收泵的出气口，所述回收泵的进气口连通所述工件的进出气口，所述低压罐的第一出气口连通主压机的进气口，所述主压机的出气口连通所述高压罐的第二进气口，所述主压机是无油主压机，所述回收泵是无油回收泵。根除了在回收的氦气中产生油气的因素，通过反复实验证实，用本实用新型专利技术回收的氦气中没有油气了，回收的气体质量安全可靠，避免污染被检产品，提高了检漏系统灵敏度和检漏精度。

A leak detection system of vacuum box for helium recovery without oil

【技术实现步骤摘要】
一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统
本技术涉及一种可回收氦气的真空箱检漏系统，尤其涉及一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统。
技术介绍
许多工件在生产过程中需要对其密封性进行检测，最常用的检测方法是气体探测法，以示踪气体对被测工件充压，将被测工件放入密闭容腔中，通过检测密闭容腔中集聚的示踪气体判断工件的密封性。实际操作中最为常用的气体探测装置为真空氦检漏装置。然而普通的真空氦检漏装置检测结果的精准性存在一定问题。经过大量检测实验发现，目前市面上的真空箱式氦检漏回收系统中应用到的氦气回收部分全部都附带油气回收。被检工件内的氦气回收循环使用、二次利用时，氦气夹带油气充注会对被检产品造成直接的污染，这样不利于保证被检产品的检测质量，造成了精准性低下的问题。本申请人经过长期的实践和反复的研究终于发现了回收的氦气夹带有油气所产生的原因。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是提供一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统，根除了在回收的氦气中产生油气的因素，通过反复实验证实，用本技术回收的氦气中没有油气了，回收的气体质量安全可靠，避免污染被检产品，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统，包括真空箱(1)和工件(2)，所述工件(2)位于所述真空箱(1)内，所述工件(2)的进出气口连通高压罐(4)的出气口，所述高压罐(4)的第一进气口连通氦源(3)的出气口，所述氦源(3)的出气口连通低压罐(6)的第二进气口，所述低压罐(6)的第一进气口连通回收泵(8)的出气口，所述回收泵(8)的进气口连通所述工件(2)的进出气口，所述低压罐(6)的第一出气口连通主压机(7)的进气口，所述主压机(7)的出气口连通所述高压罐(4)的第二进气口，其特征在于：所述主压机(7)是无油主压机，所述回收泵(8)是无油回收泵。/n

【技术特征摘要】
1.一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统，包括真空箱(1)和工件(2)，所述工件(2)位于所述真空箱(1)内，所述工件(2)的进出气口连通高压罐(4)的出气口，所述高压罐(4)的第一进气口连通氦源(3)的出气口，所述氦源(3)的出气口连通低压罐(6)的第二进气口，所述低压罐(6)的第一进气口连通回收泵(8)的出气口，所述回收泵(8)的进气口连通所述工件(2)的进出气口，所述低压罐(6)的第一出气口连通主压机(7)的进气口，所述主压机(7)的出气口连通所述高压罐(4)的第二进气口，其特征在于：所述主压机(7)是无油主压机，所述回收泵(8)是无油回收泵。


2.根据权利要求1所述可无油回收氦气的真空箱检漏系统，其特征在于：
所述工件(2)的进出气口连通六氟化硫源(5)的出气口；
所述真空箱(1)的第一出气口连通主抽泵(12)的进气口；
所述主抽泵(12)的出气口连通预抽泵(9)的进气口；
所述真空箱(1)的第二出气口连通检漏仪前级泵(10)的进气口；
所述真空箱(1)的第二出气口连通检漏仪(11)的进气口。


3.根据权利要求2所述可无油回收氦气的真空箱检漏系统，其特征在于：
所述氦源(3)的出气口串接有补氦阀(15)；
所述六氟化硫源(5)的出气口串接有充六氟化硫阀(14)；
所述高压罐(4)的第一进气口串接有高补阀(17)；
所述高压罐(4)的出气口串接有充氦阀(16)；
所述低压罐(6)的第二进气口串接有低补阀(21)；
所述低压罐(6)的第一进气口串接有回收排气阀(19)；
所述低压罐(6)的第二出气口串接有放空阀(20)；
所述回收泵(8)的进气口串接有回收阀(...

【专利技术属性】
技术研发人员：通文雷，
申请(专利权)人：北京科仪创新真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京;11