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本实用新型公开了一种可无油回收氦气的真空箱检漏系统包括真空箱和工件，所述工件位于所述真空箱内，所述工件的进出气口连通高压罐的出气口，所述高压罐的第一进气口连通氦源的出气口，所述氦源的出气口连通低压罐的第二进气口，所述低压罐的第一进气口连通回...
该专利属于北京科仪创新真空技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京科仪创新真空技术有限公司授权不得商用。

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