一种ICP-MS的射频电源PCB布局结构制造技术

本实用新型专利技术提供一种ICP‑MS的射频电源PCB布局结构，其包括：两片以上的PCB板，任一相邻两片PCB板所在平面之间存在夹角α，所述夹角α满足0<α≤90°；通过将相邻的两PCB板设置为具有一夹角α，并且夹角α在0度到90度范围内越大则越能够抑制板间非必要耦合及电磁干扰，从而减少ICP‑MS的射频电源中信号出现高次谐波或振荡自激，而使信号失真，系统紊乱的不稳定因素。

A PCB layout structure of RF power supply for ICP-MS

【技术实现步骤摘要】
一种ICP-MS的射频电源PCB布局结构
本技术涉及质谱分析领域，尤其涉及一种ICP-MS的射频电源PCB布局结构。
技术介绍
ICP-MS是电感耦合等离子体质谱仪，是一种将ICP技术（电感耦合等离子体技术）和质谱结合在一起的分析仪器，其主要包括蠕动泵、雾化器、炬管、射频电源、样品锥、截取锥、截取板、离子透镜、四级杆分析器、离子检测器、第一真空室、第二真空室、第三真空室、机械泵、涡轮分子泵。在ICP－MS中，ICP起到离子源的作用，ICP利用在电感耦合线圈上施加的强大功率的高频射频信号在线圈内部形成高温等离子体，并通过气体的推动，保证了等离子体的平衡和持续电离，具体地，电感耦合线圈外接例如频率为27.12MHZ或40.68MHZ的射频电源，使电感耦合线圈内通有射频电流，从而产生变化的磁场，该变化的磁场再感应出电场，从而使反应腔室内部的反应气体转换为等离子体，所以射频电源在ICP-MS中的主要作用就是产生等离子体输送到炬管中。众所周知，由于现有的射频电源存在众多的电子元器件，多采用PCB（印制电路板，PrintedCircuitBoard）工艺，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种ICP-MS的射频电源PCB布局结构，其特征在于，包括两片以上的PCB板，任一相邻两片PCB板所在平面之间存在夹角α，所述夹角α满足0<α≤90°；所述两片以上的PCB板或立体空间中任一相邻三片及三片以上PCB板中至少包括第一PCB板、第二PCB板，所述第一PCB板与所述第二PCB板为相交设置，所述夹角α为所述第一PCB板与所述第二PCB的夹角或三片及三片以上PCB之间的夹角；所述相邻PCB板为共用一条轴线地交叉垂直设置；所述所在平面之间存在夹角α的两片或立体空间中任一相邻三片及三片以上PCB板间隔一定距离设置。/n

【技术特征摘要】
1.一种ICP-MS的射频电源PCB布局结构，其特征在于，包括两片以上的PCB板，任一相邻两片PCB板所在平面之间存在夹角α，所述夹角α满足0<α≤90°；所述两片以上的PCB板或立体空间中任一相邻三片及三片以上PCB板中至少包括第一PCB板、第二PCB板，所述第一PCB板与所述第二PCB板为相交设置，所述夹角α为所述第一PCB板与所述第二PCB的夹角或三片及三片以上PCB之间的夹角；所述相邻PCB板为共用一条轴线地交叉垂直设置；所述所在平面之间存在夹角α的两片或立体空间中任一相邻三片及三片以上PCB板间隔一定距离设置。

【专利技术属性】
技术研发人员：梁永刚，李林，周立，
申请(专利权)人：江苏天瑞仪器股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32