一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备制造技术

本实用新型专利技术公开了一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，解决了现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦，并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出，加热桶也会烫伤工作人员，增大了安全事故发生的可能性的问题，其包括加热桶，所述加热桶底端一侧开设有出气口，加热桶顶端一侧安装有保温盖，加热桶内侧中部嵌有旋转杆，旋转杆顶端安装有固定装置，固定装置内部安装有样品盒，本实用新型专利技术结构新颖，构思巧妙，使用方便，固定装置的安装使得样品盒的取放会更加的方便和快捷，而把手和伸缩杆的安装使得使得样品盒的取放更加的方便，避免工作人员由于加热桶表面温度过高发生烫伤，并且该装置比较牢固。

A high temperature chemical vapor deposition equipment for sample box

【技术实现步骤摘要】
一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备
本技术涉及高温气相沉积
，具体为一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备。
技术介绍
高温化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，高温化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，但是现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦，并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出，加热桶也会烫伤工作人员，增大了安全事故发生的可能性。所以如何设计一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，成为我们当前要解决的问题。
技术实现思路
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，有效的解决了现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦，并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出，加热桶也会烫伤工作人员，增大了安全事故发生的可能性的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：本技术包括加热桶，所述加热桶底端一侧开设有出气口，加热桶顶端一侧安装有保温盖，加热桶与保温盖之间安装有连接装置，加热桶内侧中部嵌有旋转杆，旋转杆顶端安装有固定装置，固定装置内部安装有样品盒，样品盒内部底端安装有生长源，样品盒内部位于生长源上方安装有衬底，样品盒顶端一侧铰接有样品盒盖。优选的，所述连接装置包括弹簧钮、第一卡扣和第二卡扣，加热桶与保温盖之间安装有弹簧钮，加热桶外侧上部安装有第一卡扣，保温盖外侧对应第一卡扣位置处安装有第二卡扣。优选的，所述固定装置包括固定柱、固定盒、限位槽、卡块、限位块和固定槽，旋转杆外侧上部安装有固定柱，固定柱顶端固定有固定盒，固定盒外侧对称开设有限位槽，限位槽内侧中部安装有卡块，样品盒外部一侧固定有限位块，样品盒底端中部开设有固定槽。优选的，所述样品盒顶端一侧安装有伸缩杆，伸缩杆顶端固定有把手。优选的，所述把手为弧形形状，把手外部安装有防滑垫。优选的，所述样品盒和样品盒盖之间通过第三卡扣固定。本技术结构新颖，构思巧妙，使用方便，固定装置的安装使得样品盒的取放会更加的方便和快捷，而把手和伸缩杆的安装使得使得样品盒的取放更加的方便，避免工作人员由于加热桶表面温度过高发生烫伤，并且该装置比较牢固。附图说明附图用来提供对本技术的进一步理解，并且构成说明书的一部分，与本技术的实施例一起用于解释本技术，并不构成对本技术的限制。在附图中：图1是本技术整体结构示意图；图2是本技术卡块安装结构示意图；图3是本技术限位块安装结构示意图；图4是本技术图1中A处放大示意图。具体实施方式下面结合附图1-4对本技术的具体实施方式做进一步详细说明。实施例一，由图1给出，本技术包括加热桶1，加热桶1底端一侧开设有出气口2，出气口2防止加热桶1内部气压过高发生爆炸，加热桶1顶端一侧安装有保温盖3，加热桶1与保温盖3之间安装有连接装置4，加热桶1内侧中部嵌有旋转杆5，旋转杆5顶端安装有固定装置6，固定装置6内部安装有样品盒7，样品盒7内部底端安装有生长源8，样品盒7内部位于生长源8上方安装有衬底9，样品盒7顶端一侧铰接有样品盒盖10，固定装置6的安装使得样品盒7的取放更加的方便，本技术结构新颖，构思巧妙，使用方便，固定装置6的安装使得样品盒7的取放会更加的方便和快捷，而把手12和伸缩杆11的安装使得使得样品盒7的取放更加的方便，避免工作人员由于加热桶1表面温度过高发生烫伤，并且该装置比较牢固。实施例二，在实施例一的基础上，由图4给出，连接装置4包括弹簧钮41、第一卡扣42和第二卡扣43，加热桶1与保温盖3之间安装有弹簧钮41，弹簧钮41的安装使得加热桶1和保温盖3在打开后自动分开，加热桶1外侧上部安装有第一卡扣42，保温盖3外侧对应第一卡扣42位置处安装有第二卡扣43第一卡扣42和第二卡扣43的安装使得加热桶1和保温盖3的连接更加的方便。实施例三，在实施例一的基础上，由图2和图3给出，固定装置6包括固定柱61、固定盒62、限位槽63、卡块64、限位块65和固定槽66，旋转杆5外侧上部安装有固定柱61，固定柱61的安装使得固定装置6更加的牢固，固定柱61顶端固定有固定盒62，固定盒62外侧对称开设有限位槽63，限位槽63内侧中部安装有卡块64，样品盒7外部一侧固定有限位块65，样品盒7底端中部开设有固定槽66，限位槽63和限位块65的安装使得样品盒7放入固定盒62中的过程更加的简便和快捷。实施例四，在实施例一的基础上，样品盒7顶端一侧安装有伸缩杆11，伸缩杆11顶端固定有把手12，把手12和伸缩杆11的安装使得样品盒7的取放更加的方便，避免工作人员由于加热桶1表面温度过高发生烫伤。实施例五，在实施例四的基础上，把手12为弧形形状，把手12外部安装有防滑垫，防滑垫加大了工作人员手部与把手12之间的摩擦力，防止由于打滑发生事故。实施例六，在实施例一的基础上，样品盒7和样品盒盖10之间通过第三卡扣固定，便于样品盒7的使用。本技术使用时，首先工作人员通过第一卡扣42和第二卡扣43将加热桶1和保温盖3打开，由于弹簧钮41的作用，加热桶1和保温盖3自动弹开，之后工作人员通过把手12将样品盒7放进加热桶1的内部，然后将限位块65对准限位槽63，再将样品盒7放进固定盒62的内部，当限位槽63内部安装的卡块64与限位块65外侧开设的卡槽重合之后，样品盒7就被固定在了固定盒62的内部，之后通过伸缩杆11将把手12压下去，把手12上安装的防滑垫加大了工作人员手部与把手12之间的摩擦力，防止由于打滑发生事故，然后盖上保温盖3，让衬底9在样品盒7内部反应结晶，当反应完成之后，再次打开加热桶1和保温盖3，通过伸缩杆11将把手12拉出来，再次通过把手12将样品盒7拉出来即可，然后通过第三卡扣打开样品盒7和样品盒盖10，固定柱61的安装使得固定槽66在旋转杆5上更加的牢固。本技术结构新颖，构思巧妙，使用方便，固定装置的安装使得样品盒的取放会更加的方便和快捷，而把手和伸缩杆的安装使得使得样品盒的取放更加的方便，避免工作人员由于加热桶表面温度过高发生烫伤，并且该装置比较牢固。最后应说明的是：以上所述仅为本技术的优选实施例而已，并不用于限制本技术，尽管参照前述实施例对本技术进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换。凡在本技术的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本技术的保护范围之内。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，包括加热桶(1)，其特征在于，所述加热桶(1)底端一侧开设有出气口(2)，加热桶(1)顶端一侧安装有保温盖(3)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有连接装置(4)，加热桶(1)内侧中部嵌有旋转杆(5)，旋转杆(5)顶端安装有固定装置(6)，固定装置(6)内部安装有样品盒(7)，样品盒(7)内部底端安装有生长源(8)，样品盒(7)内部位于生长源(8)上方安装有衬底(9)，样品盒(7)顶端一侧铰接有样品盒盖(10)。/n

【技术特征摘要】
20190128 CN 20192014275151.一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，包括加热桶(1)，其特征在于，所述加热桶(1)底端一侧开设有出气口(2)，加热桶(1)顶端一侧安装有保温盖(3)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有连接装置(4)，加热桶(1)内侧中部嵌有旋转杆(5)，旋转杆(5)顶端安装有固定装置(6)，固定装置(6)内部安装有样品盒(7)，样品盒(7)内部底端安装有生长源(8)，样品盒(7)内部位于生长源(8)上方安装有衬底(9)，样品盒(7)顶端一侧铰接有样品盒盖(10)。


2.根据权利要求1所述的一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述连接装置(4)包括弹簧钮(41)、第一卡扣(42)和第二卡扣(43)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有弹簧钮(41)，加热桶(1)外侧上部安装有第一卡扣(42)，保温盖(3)外侧对应第一卡扣(42)位置处安装有第二卡扣(43)。


3.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈宇，严丽红，
申请(专利权)人：张家港迪源电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32