【技术实现步骤摘要】
一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备
本技术涉及高温气相沉积
，具体为一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备。
技术介绍
高温化学气相淀积是近几十年发展起来的制备无机材料的新技术，高温化学气相淀积法已经广泛用于提纯物质、研制新晶体、淀积各种单晶、多晶或玻璃态无机薄膜材料，这些材料可以是氧化物、硫化物、氮化物、碳化物，也可以是III-V、II-IV、IV-VI族中的二元或多元的元素间化合物，但是现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦，并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出，加热桶也会烫伤工作人员，增大了安全事故发生的可能性。所以如何设计一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，成为我们当前要解决的问题。
技术实现思路
针对上述情况，为克服现有技术的缺陷，本技术提供一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，有效的解决了现有的高温化学气相沉积设备中样品盒的取放比较麻烦，并且需要冷却一段时间之后才能将样品盒拿出，加热桶也会烫伤工作人员，增大了安全事故发生的可能性的问题。为实现上...
【技术保护点】
1.一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，包括加热桶(1)，其特征在于，所述加热桶(1)底端一侧开设有出气口(2)，加热桶(1)顶端一侧安装有保温盖(3)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有连接装置(4)，加热桶(1)内侧中部嵌有旋转杆(5)，旋转杆(5)顶端安装有固定装置(6)，固定装置(6)内部安装有样品盒(7)，样品盒(7)内部底端安装有生长源(8)，样品盒(7)内部位于生长源(8)上方安装有衬底(9)，样品盒(7)顶端一侧铰接有样品盒盖(10)。/n
【技术特征摘要】
20190128 CN 20192014275151.一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，包括加热桶(1)，其特征在于，所述加热桶(1)底端一侧开设有出气口(2)，加热桶(1)顶端一侧安装有保温盖(3)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有连接装置(4)，加热桶(1)内侧中部嵌有旋转杆(5)，旋转杆(5)顶端安装有固定装置(6)，固定装置(6)内部安装有样品盒(7)，样品盒(7)内部底端安装有生长源(8)，样品盒(7)内部位于生长源(8)上方安装有衬底(9)，样品盒(7)顶端一侧铰接有样品盒盖(10)。
2.根据权利要求1所述的一种便于样品盒取放的高温化学气相沉积设备，其特征在于，所述连接装置(4)包括弹簧钮(41)、第一卡扣(42)和第二卡扣(43)，加热桶(1)与保温盖(3)之间安装有弹簧钮(41)，加热桶(1)外侧上部安装有第一卡扣(42)，保温盖(3)外侧对应第一卡扣(42)位置处安装有第二卡扣(43)。
3.根据权利...
【专利技术属性】
技术研发人员：陈宇，严丽红，
申请(专利权)人：张家港迪源电子科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32
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