光学相干单元和光学相干测量装置制造方法及图纸

光学相干单元(20)具备分支光学元件(21)、合波光学元件(23)以及至少一个光纤器件(22)。分支光学元件(21)将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光。合波光学元件使参照光与由被测量物反射后的测量光合波并使它们发生干涉。至少一个光纤器件包括参照光用器件(22A)。将透过参照光用器件后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为透过光路长度。将由参照光用器件的脱离部反射后的参照光的从参照光用器件至合波光学元件为止的光路长度设为反射光路长度。在该情况下，透过光路长度为反射光路长度以上。

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】光学相干单元和光学相干测量装置
本公开涉及一种光学相干单元和光学相干测量装置。
技术介绍
以往，已知一种具备分支光学元件、合波光学元件以及光纤器件的光学相干单元。分支光学元件使从光源输出的光分支。合波光学元件使分支出的光合波。光纤器件具有脱离部。在脱离部中，通过光纤传导的光从光纤的芯暂时脱离到具有与芯的折射率不同的折射率的外部后再次向芯入射。光纤器件例如具有使光衰减、调整光路等中的至少任一功能。例如，专利文献1中公开的断层像读取部具备作为分支光学元件的一例的光纤耦合器、作为合波光学元件的一例的光纤耦合器以及作为光纤器件的一例的延迟线单元。延迟线单元调整参照光的光路长度。参照光为通过光纤耦合器分支出的光中的一方。另一个光纤耦合器使光路长度被调整后的参照光与测量光合波。测量光为通过光纤耦合器分支出的光中的另一方。通过将参照光与测量光合波，来生成干涉光。利用检测器测量干涉光的每个波长的干涉信号。现有技术文献专利文献专利文献1：日本特开2014-226173号公报
技术实现思路
<br>在光纤器件中，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光学相干单元，其特征在于，具备：/n分支光学元件，其将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光；/n合波光学元件，其使所述参照光与由被测量物反射后的所述测量光合波并使它们发生干涉；以及/n至少一个光纤器件，其具有脱离部，所述脱离部使通过光纤传导的所述激光从所述光纤的芯暂时脱离到具有与所述芯的折射率不同的折射率的外部后再次向所述芯入射，/n其中，所述至少一个光纤器件包括参照光用器件，所述参照光用器件为配置于所述分支光学元件与所述合波光学元件之间的所述参照光的光路上的所述光纤器件，/n透过光路长度和反射光路长度中的所述透过光路长度为所述反射光路长度以上，所述透过光路长度为透过所...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170607 JP 2017-1125001.一种光学相干单元，其特征在于，具备：
分支光学元件，其将使射出波长随时间进行了扫频的激光分支为测量光和参照光；
合波光学元件，其使所述参照光与由被测量物反射后的所述测量光合波并使它们发生干涉；以及
至少一个光纤器件，其具有脱离部，所述脱离部使通过光纤传导的所述激光从所述光纤的芯暂时脱离到具有与所述芯的折射率不同的折射率的外部后再次向所述芯入射，
其中，所述至少一个光纤器件包括参照光用器件，所述参照光用器件为配置于所述分支光学元件与所述合波光学元件之间的所述参照光的光路上的所述光纤器件，
透过光路长度和反射光路长度中的所述透过光路长度为所述反射光路长度以上，所述透过光路长度为透过所述参照光用器件后的所述参照光的从所述参照光用器件至所述合波光学元件为止的光路长度，所述反射光路长度为由所述参照光用器件的所述脱离部反射后的所述参照光的从所述参照光用器件至所述合波光学元件为止的光路长度。


2.根据权利要求1所述的光学相干单元，其特征在于，
所述光纤器件为调整所述激光的输出的...

【专利技术属性】
技术研发人员：高屋雅人，岩田真也，
申请(专利权)人：拓自达电线株式会社，株式会社尼德克，
类型：发明
国别省市：日本;JP