光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法技术

光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法属于光纤干涉测量技术领域；本发明专利技术在不需要改变第一反射镜和第二反射镜位置的前提下，通过给激光波长可调制光源进行波长预扫描，利用输出激光波长的连续变化使干涉仪的参考光束与测量光束之间的光程差产生连续的变化，使得探测器得到的干涉信号产生至少一个周期的相位变化，实现干涉信号特征参数的预提取，并利用预提取的特征参数在测量过程中实现非线性误差修正，进行高精度位移测量；本发明专利技术实现了对光纤迈克尔逊干涉仪干涉信号特征参数的预提取、能够有效解决干涉测量尤其是微小位移测量中非线性误差的修正问题，在精密测量领域具有显著的技术优势。

【技术实现步骤摘要】
光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法
本专利技术属于光纤干涉测量
，主要涉及一种光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法。
技术介绍
随着科学研究的快速发展和工业生产水平飞速提高，科研和工业领域对位移测量也提出了更高的要求，位移测量的最小变化量也正朝着纳米量级方向发展。光纤迈克尔逊干涉仪是利用激光干涉原理进行高精度位移测量的仪器，具有非接触、高精度等优点。一个光纤迈克尔逊干涉仪包含一个激光波长可调制光源；所述激光波长可调制光源进行波长的正弦调制；一个将波长可调制光源分为参考光束和测量光束的光纤耦合器；一个能够反射参考光束的第一反射镜；一个能够反射测量光束的第二反射镜，所述第二反射镜通常被固定于被测物体上，随被测物体一同运动；一个能够检测干涉信号的光电探测器，所述干涉信号是经过所述第一反射镜反射得到的参考光束与所述第二反射镜反射得到的测量光束干涉形成的；以及信号处理单元，耦接所述光电探测器，适于采集所述光电探测器输出的干涉信号。相比于其他激光干涉仪，由于其具有结构简单、电路处理容易、对环境的要求较低等诸多优点，因而更加广泛的应用于位移测量领域。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法，光纤迈克尔逊干涉仪中包含：/n一个激光波长可调制的光源；/n光路结构，所述光路结构中包括：分束装置、第一反射装置和第二反射装置，其中，所述分束装置用于将所述光源发出的激光分离为参考光束和测量光束，所述第一反射装置用于反射所述参考光束，所述第二反射装置用于反射所述测量光束；/n一个能够检测干涉信号的光电探测器，所述干涉信号是经过所述第一反射装置反射得到的参考光束与所述第二反射装置反射得到的测量光束干涉形成的；/n其特征在于，所述方法包括：/n步骤一：打开所述光纤迈克尔逊干涉仪，连续改变所述光源的输出激光波长，进而改变所述参考光束与所述测量光束之间的相位差...

【技术特征摘要】
1.光纤迈克尔逊干涉仪非线性误差修正方法，光纤迈克尔逊干涉仪中包含：
一个激光波长可调制的光源；
光路结构，所述光路结构中包括：分束装置、第一反射装置和第二反射装置，其中，所述分束装置用于将所述光源发出的激光分离为参考光束和测量光束，所述第一反射装置用于反射所述参考光束，所述第二反射装置用于反射所述测量光束；
一个能够检测干涉信号的光电探测器，所述干涉信号是经过所述第一反射装置反射得到的参考光束与所述第二反射装置反射得到的测量光束干涉形成的；
其特征在于，所述方法包括：
步骤一：打开所述光纤迈克尔逊干涉仪，连续改变所述光源...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡鹏程，董祎嗣，杨睿韬，乐志涛，
申请(专利权)人：哈尔滨工业大学，
类型：发明
国别省市：黑龙;23