一种光电废气处理系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种光电废气处理系统，包括主风机、蓄热式燃烧炉和排气烟囱，所述主风机与所述蓄热式燃烧炉的进气端连通，所述蓄热式燃烧炉的排气端与所述排气烟囱连通。本实用新型专利技术提供的光电废气处理系统，通过高温裂解废气，使废气彻底分解为可中和的酸性物质，然后通过冷却系统，利用酸碱中和原理，对废气进行除酸作业，最后达到排放标准，排放至大气当中，高效整合HFE处理系统，在确保高性能的同时，使能源消耗降至最低，同时满足环保需求以及节能理念；系统设备一用一备，满足全年无停休的需求，不影响车间内制程排气及工艺设计，有很高的社会和经济性能。

A photoelectric waste gas treatment system

【技术实现步骤摘要】
一种光电废气处理系统
本技术涉及废气处理
，特别涉及一种光电废气处理系统。
技术介绍
光电行业制程排气中存在HFE(氢氟醚)，由于其高度易燃，沸点低易挥发，处理难度极大；同时，要求连续排放，不接受间歇式处理，对前段的压力波动要求高，控制性能苛刻；废气风量大，VOC(挥发性有机化合物)浓度低，常规吸附及浓缩方式均不适用，易造成阻塞从而使设备失效，处置成本较高；环保形式严峻，期望达到较低排放需求，对设备处理效率要求高。因此，如何提供一种高效、安全的制程排气处理系统，是本领域技术人员亟待解决的技术问题。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种光电废气处理系统，优化处理流程和处理工艺，提供高效的排气方式，废气处理彻底，安全性高。为解决上述技术问题，本技术提供一种光电废气处理系统，包括主风机、蓄热式燃烧炉和排气烟囱，所述主风机与所述蓄热式燃烧炉的进气端连通，所述蓄热式燃烧炉的排气端与所述排气烟囱连通。优选地，所述蓄热式燃烧炉与所述排气烟囱之间设置有急冷塔。优选地，所述急冷塔的排气端与所述排气烟囱之间设置有喷淋塔。优选地，所述排气烟囱上设置有排气风机。优选地，所述排气风机的数量为2个。优选地，所述排气风机对称设置于所述排气烟囱两侧。优选地，所述排气烟囱的出气端设置有吸附装置。本技术所提供的光电废气处理系统，主要包括主风机、蓄热式燃烧炉和排气烟囱，主风机与蓄热式燃烧炉的进气端连通，蓄热式燃烧炉的排气端与排气烟囱连通。本技术提供的光电废气处理系统，通过高温裂解废气，使废气彻底分解为可中和的酸性物质，然后通过冷却系统，利用酸碱中和原理，对废气进行除酸作业，最后达到排放标准，排放至大气当中，高效整合HFE处理系统，在确保高性能的同时，使能源消耗降至最低，同时满足环保需求以及节能理念；系统设备一用一备，满足全年无停休的需求，不影响车间内制程排气及工艺设计，有很高的社会和经济性能。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据提供的附图获得其他的附图。图1为本技术所提供的一种具体实施方式的整体结构示意图。其中，图1中：主风机—1，蓄热式燃烧炉—2，排气烟囱—3，急冷塔—4，喷淋塔—5，排气风机—6，吸附装置—7。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。请参考图1，图1为本技术所提供的一种具体实施方式的整体结构示意图。在本技术所提供的一种具体实施方式中，光电废气处理系统主要包括主风机1、蓄热式燃烧炉2和排气烟囱3，主风机1与蓄热式燃烧炉2的进气端连通，蓄热式燃烧炉2的排气端与排气烟囱3连通。其中，主风机1为整机设备提供废气抽吸的作用，主风机1与蓄热式燃烧炉2的进气端连通，蓄热式燃烧炉2为废气处理设备，蓄热式燃烧炉2的排气端与排气烟囱3连通，排气烟囱3为处理达标废气的排放设备。具体的，在实际的废气处理过程当中，主风机1通过负压抽吸将光电设备产生的含有HFE的废气抽吸到本设备当中，有机物从主风机1机台经二次配收集管道进入汇总管路，输送进入后续的处理系统RTO(蓄热式燃烧炉)；HFE在RTO燃烧室内进行高温裂解，利用RTO的高效处理性能，将排气中的HFE物质99％以上转化为CO2及HF，将废气转化为无机物，废气无机物在通过急冷塔4的冷却之后，进入喷淋塔5进行酸碱中和，将废气中的酸性物质去除，达到大气排放标准要求的限值，最后，处理达标后的废气经过排气烟囱3排放至大气中。本技术提供的光电废气处理系统，通过高温裂解废气，使废气彻底分解为可中和的酸性物质，然后通过冷却系统，利用酸碱中和原理，对废气进行除酸作业，最后达到排放标准，排放至大气当中，高效整合HFE处理系统，在确保高性能的同时，使能源消耗降至最低，同时满足环保需求以及节能理念；系统设备交替使用，满足全年无停休的需求，不影响车间内制程排气及工艺设计。为了优化上述实施例中光电废气处理系统可以更加高效地进行废气处理效果，蓄热式燃烧炉2与排气烟囱3之间设置有急冷塔4；急冷塔4的排气端与排气烟囱3之间设置有喷淋塔5。喷淋塔5为酸碱中和设备，由于蓄热式燃烧炉2处理后的气体温度高，无法直接进入后续处理设备，设置急冷塔4，将气体温度降至所设定值，再进入喷淋塔5，利用酸碱中和原理，将废气中的酸性物质去除，从而达到大气排放标准要求的限值，此设计，保证了酸性物质最佳中和反应温度，大大提高了酸性物质的中和效果，保证了废气处理的彻底性。需要说明的是，急冷塔4强交互急冷塔，可迅速将高温气体温度降低至所需温度阈值，反应时间0.5s以内，提高处理速度；另外，喷淋塔5选择较大传热停留层，水气充分接触，可彻底去除残余的酸性气体，提高酸性气体中和效果。进一步地，排气烟囱3上设置有排气风机6；排气风机6的数量为2个；排气风机6对称设置于排气烟囱3两侧。排气风机6的设计，是为了加强对处理后的废气的抽吸作用力，可使处理后的废气快速排放到大气当中，确保实时排放，对前段工序不造成任何影响，保证废气处理效果，提高废气处理速度。进一步地，排气烟囱3的出气端设置有吸附装置7。吸附装置7可对处理后的废气当中的大颗粒物质进行吸附作用，避免对空气造成二次颗粒污染，保证了废气排放的标准性。综上所述，本实施例所提供的光电废气处理系统主要包括主风机、蓄热式燃烧炉和排气烟囱，主风机与蓄热式燃烧炉的进气端连通，蓄热式燃烧炉的排气端与排气烟囱连通。本技术提供的光电废气处理系统，通过高温裂解废气，使废气彻底分解为可中和的酸性物质，然后通过冷却系统，利用酸碱中和原理，对废气进行除酸作业，最后达到排放标准，排放至大气当中，高效整合HFE处理系统，在确保高性能的同时，使能源消耗降至最低，同时满足环保需求以及节能理念；系统设备一用一备，满足全年无停休的需求，不影响车间内制程排气及工艺设计，有很高的社会和经济性能。对所公开的实施例的上述说明，使本领域专业技术人员能够实现或使用本技术。对这些实施例的多种修改对本领域的专业技术人员来说将是显而易见的，本文中所定义的一般原理可以在不脱离本技术的精神或范围的情况下，在其它实施例中实现。因此，本技术将不会被限制于本文所示的这些实施例，而是要符合与本文所公开的原理和新颖特点相一致的最宽的范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种光电废气处理系统，其特征在于，包括主风机(1)、蓄热式燃烧炉(2)和排气烟囱(3)，所述主风机(1)与所述蓄热式燃烧炉(2)的进气端连通，所述蓄热式燃烧炉(2)的排气端与所述排气烟囱(3)连通。/n

【技术特征摘要】
1.一种光电废气处理系统，其特征在于，包括主风机(1)、蓄热式燃烧炉(2)和排气烟囱(3)，所述主风机(1)与所述蓄热式燃烧炉(2)的进气端连通，所述蓄热式燃烧炉(2)的排气端与所述排气烟囱(3)连通。


2.根据权利要求1所述的光电废气处理系统，其特征在于，所述蓄热式燃烧炉(2)与所述排气烟囱(3)之间设置有急冷塔(4)。


3.根据权利要求2所述的光电废气处理系统，其特征在于，所述急冷塔(4)的排气端与所述排气烟囱(3)之间设置有喷淋塔(5...

【专利技术属性】
技术研发人员：张伟明，柳晓清，刘庆磊，
申请(专利权)人：上海盛剑环境系统科技股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海;31