检查系统以及检查方式技术方案

提供一种检查用照明装置，即使因被检查对象的特征点产生的光的变化微小，也能够在该整个视野范围内判定该光的变化量，并能够以相同条件检测出该特征点。所述检查用照明装置(100)具备面光源(1)，在所述面光源(1)和所述检查对象(W)之间，在与检查对象(W)接近一侧配置透镜(2)，以使遮光罩(M1)以及滤光器单元(F1)的至少任意一个位于以该透镜的焦点位置为中心的位置，使从所述面光源(1)放射的光被所述透镜(2)向所述检查对象(W)照射时的照射立体角，具备具有特定的光属性且以光轴为中心以放射状配置的立体角区域，与在被检查对象的特征点产生的变化配合，使所述检查光的照射立体角的形状和大小以及倾斜角、和所述照射立体角内的具有特定的光属性的立体角区域，能够在该整个视野范围内大致均匀地进行设定。

Inspection system and inspection method

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查系统以及检查方式
本专利技术涉及一种用于例如向检查对象照射检查光，检查该产品的外观、划痕、以及缺陷等的检查用照明装置、以及检查系统，以及检查方式。
技术介绍
作为用于产品的外观检查等的检查用照明装置，如专利文献1所示，能够大致均匀地控制并照射对检查对象的照射立体角的形状和角度、以及该光属性不同的立体角区域。但是，谋求如下事例：能够根据拍摄的图像，检测出较难利用如上所述的检查用照明装置检测出来的缺陷等的特征点。更加具体地，作为检查对象的产品的表面性质不是完全的镜面，因此为了获取检查对象面的特征点中的期望的浓淡信息，较难精密地控制光轴、照射立体角的形状等，即使能够照射检查光，特征点根据处于检查对象的哪个位置其明暗差发生巨大变化，较难判定特征点。而且，即使为镜面，在该特征点的伴随极其微小的倾斜、呈现为立体形状的物体表面中，从其特征信息能够获取的光的变化量极其微小，从如上的面所能获取的图像的明暗差也极其微小，较难判定特征点。对于如此的事例，例如，能够考虑到如下事例：设定适合物体的各点的照射立体角，以使利用从物体返回的物体光的立体角和本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查系统，其特征在于，具备：/n检查用照明装置，其向检查对象照射检查光，并且能够设定为照射到所述检查对象的各点的检查光的照射立体角具备具有不同的光属性的多个立体角区域；以及/n拍摄装置，其拍摄在所述检查对象的各点中反射或者透射或者散射的物体光的拍摄装置，并能够选择性地拍摄所述物体光的不同的光属性，/n在所述检查对象的各点中，能够将所述物体光的光轴的变化、或者针对由拍摄装置形成的所述检查对象的各点的相对于观察立体角的所述物体光的立体角的变化，在与所述观察立体角的包含关系中，作为由所述检查光的所述多个立体角区域引起的所述物体光的多个光属性的变化进行检测，并根据该多个光属性的变化量，对所述检...

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20171205 JP 2017-2338581.一种检查系统，其特征在于，具备：
检查用照明装置，其向检查对象照射检查光，并且能够设定为照射到所述检查对象的各点的检查光的照射立体角具备具有不同的光属性的多个立体角区域；以及
拍摄装置，其拍摄在所述检查对象的各点中反射或者透射或者散射的物体光的拍摄装置，并能够选择性地拍摄所述物体光的不同的光属性，
在所述检查对象的各点中，能够将所述物体光的光轴的变化、或者针对由拍摄装置形成的所述检查对象的各点的相对于观察立体角的所述物体光的立体角的变化，在与所述观察立体角的包含关系中，作为由所述检查光的所述多个立体角区域引起的所述物体光的多个光属性的变化进行检测，并根据该多个光属性的变化量，对所述检查对象的各点中的多个方向的倾斜，特定倾斜的方向和该倾斜的角度，并特定所述检查对象的表面的三维性质。


2.根据权利要求1所述的检查系统，其特征在于，
所述检查用照明装置具备半透半反镜，该半透半反镜改变所述检查光的照射方向，而且使来自所述检查对象的光透射从而能够利用所述拍摄装置拍摄，
作为所述检查光针对所述检查对象的各点的照射立体角，使所述立体角区域和所述拍摄置针对所述检查对象的各点的观察立体角的光轴相...

【专利技术属性】
技术研发人员：增村茂树，
申请(专利权)人：机械视觉照明有限公司，
类型：发明
国别省市：日本;JP