【技术实现步骤摘要】
一种音圈电机及运动装置
本专利技术涉及集成电路装备制造领域，更具体地涉及一种自带真空管路的音圈电机以及具有这种音圈电机的运动装置。
技术介绍
近年来，随着大规模集成电路器件集成度不断提高，工件台的精度需求不断提高，尤其是其垂向模块的运动精度需求也在不断提高，比如在光刻设备，膜厚检测设备等领域。音圈电机因其结构简单、维护方便、可靠性高、能量转换效率高，具有固定行程和直接驱动特性以及平滑的输出特性和线性控制等特点，因此音圈电机被经常用在这些要求快速、高精度定位的光刻设备或者膜厚检测设备等工件台的垂向运动模块中。光刻设备，膜厚检测设备通常会涉及到硅片或者基板的真空吸附，但在现有知名的音圈电机供应商，比如美国BEI和新加坡Akribis，其提供的音圈电机产品只提供运动功能，均不带真空管路。这使得在垂向模块的真空管路设计中，必须在相关零件上设计真空管路，这样会加大相关零件的设计复杂度和加工难度。又比如，在中国专利CN201710827822.0中，该专利技术的音圈电机磁铁是实心的，在做垂向运动且应用在需要吸附功能的运动装置中时...
【技术保护点】
1.一种音圈电机，所述音圈电机包括电机动子和电机定子，其特征在于，所述电机动子中设有轴向通道，所述轴向通道中容纳有一伸缩管，所述伸缩管两端分别连接有一接头，两个接头分别固定安装在所述电机动子和所述电机定子的相反端上。/n
【技术特征摘要】
1.一种音圈电机，所述音圈电机包括电机动子和电机定子，其特征在于，所述电机动子中设有轴向通道，所述轴向通道中容纳有一伸缩管，所述伸缩管两端分别连接有一接头，两个接头分别固定安装在所述电机动子和所述电机定子的相反端上。
2.根据权利要求1所述的音圈电机，其特征在于，所述电机动子由电机壳体、磁铁和背铁构成，所述磁铁顶端固定在所述电机壳体的内端面上，所述磁铁底端与所述背铁固定装配在一起，所述轴向通道设置在所述磁铁和背铁中，所述电机定子由圆筒形的线圈支架和绕制在所述线圈支架上的线圈构成，所述线圈支架具有中部空腔，所述中部空腔用于插入所述磁铁和所述背铁的装配体，所述两个接头分别安装在所述电机壳体的内端面和所述线圈支架的底端面上。
3.根据权利要求2所述的音圈电机，其特征在于，所述磁铁和所述背铁具有彼此对准的中心通孔，所述轴向通道由所述中心通孔组成。
4.根据权利要求2所述的音圈电机，其特征在于，所述电机壳体的内端面和所述线圈支架的底端面分别设有用于安装所述两个接头的螺纹孔，所述螺纹孔中设有密封槽，所述密...
【专利技术属性】
技术研发人员：吴火亮，孟辉，瞿晓晨，王越，
申请(专利权)人：上海隐冠半导体技术有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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