显示装置及其制造方法制造方法及图纸

显示装置及其制造方法。在第一衬底上形成第一有机树脂层，在第一有机树脂层上形成第一绝缘膜，在第一绝缘膜上形成第一元件层，在第二衬底上形成第二有机树脂层，在第二有机树脂层上形成第二绝缘膜，在第二绝缘膜上形成第二元件层，贴合第一衬底与第二衬底，进行使第一有机树脂层与第一衬底之间的附着性降低的第一分离工序，利用第一粘合层粘合第一有机树脂层与第一柔性衬底，进行使第二有机树脂层与第二衬底之间的附着性降低的第二分离工序，利用第二粘合层粘合第二有机树脂层与第二柔性衬底。

【技术实现步骤摘要】
显示装置及其制造方法本申请是如下专利技术专利申请的分案申请：专利技术名称：显示装置及其制造方法；申请号：201480066000.X；申请日：2014年11月21日。
本专利技术的一个方式涉及一种包括氧化物半导体的半导体装置、包括该半导体装置的显示装置及其制造方法。注意，本专利技术的一个方式不局限于上述
本说明书等所公开的专利技术的一个方式的
涉及一种物体、方法或制造方法。另外，本专利技术的一个方式涉及一种工序(process)、机器(machine)、产品(manufacture)或组合物(compositionofmatter)。具体而言，本说明书所公开的本专利技术的一个方式的
的例子包括半导体装置、显示装置、液晶显示装置、发光装置、照明装置、蓄电装置、存储装置、它们的驱动方法以及它们的制造方法。在本说明书等中，半导体装置是指能够通过利用半导体特性而工作的装置。晶体管及半导体电路是半导体装置的一个方式。存储装置、显示装置或电子设备有时包含半导体装置。
技术介绍
使用形成在具有绝缘表面的衬底本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：/n在第一衬底上形成第一有机树脂层；/n在所述第一有机树脂层上形成第一绝缘膜；/n在所述第一绝缘膜上形成包括第一半导体层的第一晶体管和包括第二半导体层的第二晶体管；/n对所述第一半导体层和所述第二半导体层添加杂质；/n通过降低所述第一有机树脂层与所述第一衬底之间的附着性，从所述第一有机树脂层分离所述第一衬底；以及/n使用第一粘合层贴合所述第一有机树脂层与第一柔性衬底，/n其中所述显示装置的像素部包括显示元件及电连接到所述显示元件的所述第一晶体管，/n并且，所述显示装置的电路部包括所述第二晶体管。/n

【技术特征摘要】
20131202 JP 2013-249631;20131212 JP 2013-256872;201.一种显示装置的制造方法，该方法包括如下步骤：
在第一衬底上形成第一有机树脂层；
在所述第一有机树脂层上形成第一绝缘膜；
在所述第一绝缘膜上形成包括第一半导体层的第一晶体管和包括第二半导体层的第二晶体管；
对所述第一半导体层和所述第二半导体层添加杂质；
通过降低所述第一有机树脂层与所述第一衬底之间的附着性，从所述第一有机树脂层分离所述第一衬底；以及
使用第一粘合层贴合所述第一有机树脂层与第一柔性衬底，
其中所述显示装置的像素部包括显示元件及电连接到所述显示元件的所述第一晶体管，
并且，所述显示装置的电路部包括所述第二晶体管。


2.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述第一有机树脂层包括环氧树脂、丙烯酸树脂、聚酰亚胺树脂、聚酰胺树脂及聚酰胺酰亚胺树脂中的至少一个。


3.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中通过准分子激光束的照射执行所述第一有机树脂层与所述第一衬底之间的附着性的降低。


4.根据权利要求3所述的显示装置的制造方法，其中通过将从多个振荡器输出的激光束合成而得到所述准分子激光束。


5.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述杂质包括磷、砷、锑、硼、铝、硅、氮、氦、氖、氩、氪、氙、铟、氟、氯、钛、锌及碳中的至少一个。


6.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，其中所述第一绝缘膜包括氧化硅膜、氧氮化硅膜、氮化硅膜及氮氧化硅膜中的至少一个。


7.根据权利要求1所述的显示装置的制造方法，
其中所述第一半导体层及所述第二半导体层...

【专利技术属性】
技术研发人员：山崎舜平，大野正胜，安达广树，井户尻悟，武岛幸市，
申请(专利权)人：株式会社半导体能源研究所，
类型：发明
国别省市：日本;JP