自动厚度控制卡盘制造技术

一种自动厚度控制卡盘，其目的在于，在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整代替高度调整来应对脆性基板的厚度变更，从而即使脆性基板的厚度发生变更，也能够在未进行另外的追加作业的情况下，以规定的压力夹紧脆性基板。为了实现上述目的，本实用新型专利技术所涉及的自动厚度控制卡盘包括在一侧形成有铰链接头(12)的卡盘臂(10)、在气缸(21)的后方突出的铰链块(27)与所述铰链接头(12)铰接结合的卡盘缸(20)以及从所述卡盘臂(10)的一侧延伸的底爪(11)。

Automatic thickness control chuck

【技术实现步骤摘要】
自动厚度控制卡盘
本技术涉及自动厚度控制卡盘，更加详细地，在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整代替高度调整来应对脆性基板的厚度变更的自动厚度控制卡盘。
技术介绍
一般情况下，作为脆性基板的分割装置，使用划线装置以及折断装置。在基板形成划线道时使用划线装置，在折断预先形成有划线道的基板时使用基板的折断装置。以往，在利用上述的划线装置在脆性基板形成划线道时，为了进行精密的刻划，利用夹紧装置夹紧(clamping)以防止脆性基板活动。这样的现有的夹紧装置是在上表面被固定的状态下，下表面卡紧(chucking)从而进行夹紧的装置。但是，在这样夹紧脆性基板的现有的夹紧装置，存在在输送带上输送脆性基板的过程中，由于输送带的品质(level)偏差，脆性基板的被夹紧部分出现破损的问题。并且，现有的夹紧装置中存在每当脆性基板的厚度变更时，操作者需要一边变更基准高度一边应对的问题。为此，本技术是为了解决上述要求做出的，本技术的目的在于提供自动厚度控制卡盘，在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整来代替高度调整而应对脆性基板的厚度变更，从而即使脆性基板的厚度发生变更，在未进行另外的追加作业的情况下，能够以规定的压力夹紧脆性基板。
技术实现思路
为了实现上述目的，根据本技术的自动厚度控制卡盘，其特征在于，包括：卡盘臂，一侧形成有铰链接头；卡盘缸，向气缸的后方突出的铰链块与所述铰链接头铰接结合；以及底爪，从所述卡盘臂的一侧延伸。并且，在根据本技术的自动厚度控制卡盘中，其特征在于，所述卡盘缸包括：气缸杆，所述气缸杆的一侧插入所述气缸的前方所形成的贯通孔，通过所述贯通孔进行前进后退动作，并且在进行前进动作时，通过所述贯通孔使所述气缸杆的一侧停止；气缸接头，设置在所述气缸杆的另一侧；以及卡盘爪，与所述气缸接头以及所述底爪分别铰接结合。并且，根据本技术的自动厚度控制卡盘，其特征在于，还包括：电气调节器，为了所述气缸杆的前进后退动作，调节供给所述气缸的空气的量。并且，根据本技术的自动厚度控制卡盘，其特征在于，在从所述电气调节器向所述气缸内供给空气时，所述气缸杆前进，关闭所述卡盘爪的同时夹紧位于所述卡盘爪与所述底爪之间的脆性基板。并且，根据本技术的自动厚度控制卡盘，其特征在于，在从所述电气调节器排出所述气缸内的空气时，所述气缸杆后退，打开所述卡盘爪的同时松开位于所述卡盘爪与所述底爪之间的脆性基板。根据本技术，有可以提供如下自动厚度控制卡盘的效果：在进行对于脆性基板的夹紧作业时，通过以压力调整代替高度调整来应对脆性基板的厚度变更，从而即使脆性基板的厚度发生变更，也能够在未进行另外的追加作业的情况下，以规定的压力夹紧脆性基板。附图说明图1是示出根据本技术一实施例的自动厚度控制卡盘的结合构成的结合立体图。图2是示出根据本技术一实施例的自动厚度控制卡盘的拆分样子的拆分立体图。图3是示出根据本技术一实施例的自动厚度控制卡盘夹紧脆性基板的动作状态的侧剖视图，图3的(a)示出了卡盘爪被关闭的状态，图3的(b)示出了卡盘爪的一部分被开放的状态，图3的(c)示出了卡盘爪全部被开放的状态。图4是示出根据本技术一实施例的自动厚度控制卡盘的气缸供给有空气或者从气缸排出空气的状态的侧剖视图。图5是示出根据本技术一实施例的自动厚度控制卡盘夹紧不同厚度的脆性基板的动作状态的侧剖视图，图5的(a)示出了夹紧较厚的脆性基板的动作状态，图5的(b)示出了夹紧较薄的脆性基板的动作状态。附图标记说明1：自动厚度控制卡盘10：卡盘臂11：底爪12：铰链接头20：卡盘缸21：气缸22：气缸杆23：卡盘爪24：第二轴25：气缸接头26：第一轴27：铰链块28：贯通孔30：电气调节器40：脆性基板。具体实施方式下面，参照相关附图详细说明本技术的实施例。图1是示出根据本技术一实施例的自动厚度控制卡盘的结合构成的结合立体图，图2是示出根据本技术一实施例的自动厚度控制卡盘的拆分样子的拆分立体图。参照图1以及图2，根据本技术的自动厚度控制卡盘1包括卡盘臂(chuckarm)10、卡盘缸(chuckcylinder)20以及底爪(bottomjaw)11。其中，卡盘臂10形成为一侧弯曲的L字形。这时，卡盘臂10的前表面和上表面被开放，内部为空心。这样，卡盘臂10的内部为空心的原因在于后述的卡盘缸20插入卡盘臂10内部。并且，卡盘臂10的前表面被开放的原因在于后述的底爪11通过卡盘臂10的被开放的前表面与卡盘缸20连结。卡盘臂10的上表面被开放的原因在于为了将卡盘缸20简单地设置于卡盘臂10内部。并且，卡盘臂10的下部一侧形成有用于与后述的卡盘缸20结合的铰链接头12。接着，卡盘缸20包括气缸21、气缸杆22、气缸接头25以及卡盘爪(chuckjaw)23。气缸21的后方突出形成有铰链块27。铰链块27通过第一轴26与卡盘臂10的铰链接头12结合，由此，卡盘臂10与卡盘缸20铰接结合。并且，气缸21的前方形成有贯通孔28，以使后述的气缸杆22插入气缸21内后能够进行前进后退。气缸杆22是棒状部件，在气缸21的较长方向上进行前进后退动作。气缸杆22的一侧插入气缸21，具有直径大于贯通孔28的直径的圆柱形。由此，贯通孔28起到阻挡器的作用，以使气缸杆22在进行前进后退动作的过程中，不会从气缸21完全脱离，使其停止。接着，气缸接头25设置在气缸杆22的另一侧。这样的气缸接头25具有一侧被分离为两股的形状。这样的气缸接头25通过第二轴24与后述的卡盘爪23铰接结合。接着，卡盘爪23的一侧通过第二轴24与气缸接头25铰接结合，另一侧与底爪11铰接结合。由此，在气缸杆22前进后退时，在卡盘爪23与气缸接头25以及底爪11铰接结合的状态下转动，从而关闭或者开放底爪11与卡盘爪23之间的空间。最后，底爪11通过卡盘臂10的被开放的前表面从卡盘臂10延伸，底爪11的前方形成有台阶。这样的底爪11在夹紧脆性基板40时起到夹紧基准板的作用。即，现有的夹紧装置是在上表面被固定的状态下下表面卡紧从而进行夹紧，但是，根据本技术的自动厚度控制卡盘1，在下表面被固定的状态下，上表面进行动作，从而夹紧脆性基板40。这时，为了夹紧脆性基板40，底爪11变成基准板。由此，能够防止在输送带上输送脆性基板40时，由于输送带的品质偏差产生的脆性基板40的被夹紧部分的破损。另一方面，根据本技术的自动厚度控制卡盘1还包括电气调节器(regulator)30，电气调节器30通过调节供给气缸21的空气的量，从而调节对于气缸杆22的前进后退动作的压力。参照图3以及图4说明这一特征。图3是示出根据本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种自动厚度控制卡盘，其特征在于，包括：/n卡盘臂，一侧形成有铰链接头；/n卡盘缸，向气缸的后方突出的铰链块与所述铰链接头铰接结合；以及/n底爪，从所述卡盘臂的一侧延伸。/n

【技术特征摘要】
20180319 KR 10-2018-00314001.一种自动厚度控制卡盘，其特征在于，包括：
卡盘臂，一侧形成有铰链接头；
卡盘缸，向气缸的后方突出的铰链块与所述铰链接头铰接结合；以及
底爪，从所述卡盘臂的一侧延伸。


2.根据权利要求1所述的自动厚度控制卡盘，其特征在于，
所述卡盘缸包括：
气缸杆，所述气缸杆的一侧插入所述气缸的前方所形成的贯通孔，通过所述贯通孔进行前进后退动作，并且在进行前进动作时，通过所述贯通孔使所述气缸杆的一侧停止；
气缸接头，设置在所述气缸杆的另一侧；以及
卡盘爪，...

【专利技术属性】
技术研发人员：柳俊圭，
申请(专利权)人：三星钻石工业股份有限公司，
类型：新型
国别省市：日本;JP