一种样品托制造技术

本发明专利技术公开了一种样品托，包括托盘、压紧片以及锁紧螺钉，所述托盘上设置有螺孔，所述压紧片上设置有通孔，所述锁紧螺钉穿过所述压紧片上的通孔与托盘上的螺孔连接固定。本发明专利技术的四个样品槽可以固定多个样品片，压紧片以及锁紧螺钉能够将样品片锁死固定在托盘上，传动滑槽能使其在不同设备间传递，为纳米真空互联实验站中小样品片的固定与传递提供了一种有效的途径。

A sample holder

【技术实现步骤摘要】
一种样品托
本专利技术涉及一种超高真空系统的传样装置的配件，具体涉及一种样品托。
技术介绍
纳米真空互联实验站是由集材料生长、器件加工、测试分析为一体的纳米领域平台。该平台设计有100米的超高真空管道，并且在互联管道上互联33台用于材料生长、器件加工及测试分析的设备，对不同类型的样品进行生长、加工及测试分析。传样装置是超高真空系统的重要组成部分，通常由样品托、传样杆和样品接收台三部分组成，其作用是将样品传送到实验站的各个部分。目前的技术方案是通过传送2英寸的硅片，将样品传递到不同设备，然而在实验的过程中，有的样品仅为小片，无法直接进行传递，就需要想办法将小片结合到2英寸的硅片上进行传递，具体做法是将小样品用铜胶带或点焊的方式固定在2英寸硅片上。但是这种固定方式一旦遇到需要做加热工艺的实验时，铜胶带或者点焊的位置就会融化，挥发有机物，污染真空环境。虽然点焊的位置融化后仍旧有黏附性，但是小样品还是会松动，影响实验结果，而且由于不同的设备的进样模式以及测试方式各不相同，点焊也破坏了小样品的背面，使其无法适用于其他实验。
技术实现思路
本专利技术专利所要解决的技术问题在于克服现有技术的不足，提供一种可在不同设备中通用的能够稳定固定并存放小样品的样品托。为了实现上述的目的，本专利技术采用了如下的技术方案：一种样品托，包括托盘、压紧片以及锁紧螺钉，所述托盘上设置有螺孔，所述压紧片上设置有通孔，所述锁紧螺钉穿过所述压紧片上的通孔与托盘上的螺孔连接固定。优选地，还包括传动滑轨，所述传动滑槽为沿着整个所述托盘外圆周面内陷设置的一圈环形凹槽。优选地，所述托盘包括承接板，所述承接板上表面低于所述托盘的上表面，所述承接板的直径小于所述传动滑槽的内圆周面的直径。优选地，所述托盘、压紧片以及锁紧螺钉材料均为钼。优选地，所述承接板包括第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽，所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽与第四样品槽形状大小均相同。优选地，所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽均设置在所述承接板上，所述第一样品槽与第二样品槽、第三样品槽与第四样品槽均关于所述承接板与所述样品槽宽度方向同向的直径对称，所述第一样品槽与第三样品槽、第二样品槽与第四样品槽均关于所述承接板与所述样品槽长度方向同向的直径对称。优选地，所述压紧片数目为三个，其中两个设置在所述第一样品槽与第二样品槽、的左右两边且部分遮住所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽，另一个设置在所述第一样品槽与第二样品槽之间，且部分遮住所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽。优选地，所述锁紧螺钉布置在所述承接板上且关于所述承接板上与所述样品槽长度方向同向的直径对称布置。优选地，所述承接板在第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽以及第四样品槽的宽度方向外侧均设有通孔，所述通孔与所述样品槽长度相同且其宽度均向外延伸至传动滑轨的内圆周面。本专利技术提供了一种提供一种可在不同设备中通用的能够稳定固定并存放小样品的样品托，四个样品槽可以固定多个样品片，压紧片以及锁紧螺钉能够将样品片锁死固定在托盘上，传动滑轨能使其在不同设备间传递，为纳米真空互联实验站中小样品片的固定与传递提供了一种有效的途径。附图说明图1是本专利技术的样品托的结构示意图。具体实施方式为了便于理解本专利技术，下面将结合附图用实施例对本专利技术做进一步说明。如图1所示，本实施例的样品托包括托盘1、压紧片2以及锁紧螺钉3，所述托盘1上设置有螺孔，所述压紧片2上设置有通孔，所述锁紧螺钉3穿过所述压紧片2上的通孔与托盘1上的螺孔连接固定，只需将样品片放入压紧片2与托盘1中间，上紧锁紧螺钉3，即可实现样品片的固定。作为一种优选地实施方式，本实施例的样品托还包括传动滑槽4，所述传动滑槽4为沿着整个所述托盘1外圆周面内陷设置的一圈环形凹槽。传动滑轨4可以连接真空互联站中的运送小车，实现在互联管道内的传递。在本实施例中，所述托盘1上包括承接板5，所述锁紧螺钉3布置在所述承接板5上，所述承接板5上表面低于所述托盘1的上表面，可使得锁紧螺钉3的端部不超过托盘的上表面，不影响托盘的传输，同时承接板5的直径小于所述传动滑槽4的内圆周面的直径，可使得传动滑轨内圆周面处具有一定的厚度，强度比较好。作为一种优选地实施方式，所述托盘1、压紧片2以及锁紧螺钉3材料均为钼，由于某些实验是需要做加热工艺的，钼可以很好的承受高温，且结构稳定，不易挥发污染真空环境。作为一种优选地实施方式，所述托盘1还包括第一样品槽6、第二样品槽7、第三样品槽8以及第四样品槽9，所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽与第四样品槽形状大小均相同，其长度均为10mm，宽度均为8mm，可以放入长为10mm，宽为8mm的样品片，最大可放入长为10mm，宽为10mm的样品片。作为一种优选地实施方式，所述第一样品槽6、第二样品槽7、第三样品槽8以及第四样品槽9均设置在所述圆形沉槽5的底部，所述第一样品槽6与第二样品槽7、第三样品槽8与第四样品槽9均关于所述圆形沉槽5与所述样品槽宽度方向同向的直径对称，所述第一样品槽6与第三样品槽7、第二样品槽8与第四样品槽9均关于所述圆形沉槽5与所述样品槽长度方向同向的直径对称。作为一种优选地实施方式，所述压紧片3数目为三个，其中两个设置在所述第一样品槽6与第二样品槽7、的左右两边且部分遮住所述第一样品槽6、第二样品槽7、第三样品槽8以及第四样品槽9，另一个设置在所述第一样品槽6与第二样品槽7之间，且部分遮住所述第一样品槽6、第二样品槽7、第三样品槽8以及第四样品槽9，压紧片3遮住所述的第一样品槽6、第二样品槽7、第三样品槽8以及第四样品槽9，即可压住放置在样品槽内的小样品片，实现小样品片的固定。作为一种优选地实施方式，所述锁紧螺钉3关于所述承接板5与所述样品槽长度方向同向的直径对称布置。作为一种优选地实施方式，所述第一样品槽6、第二样品槽7、第三样品槽8以及第四样品槽9宽度方向外侧上均设有通孔，所述通孔与所述样品槽长度相同且其宽度均向外延伸至传动滑轨4的内圆周面。本专利技术提供了一种可在不同设备中通用的能够稳定固定并存放小样品的样品托，四个样品槽可以固定多个样品片，压紧片以及锁紧螺钉能够将样品片锁死固定在托盘上，传动滑轨能使其在不同设备间传递，为纳米真空互联实验站中小样品片的固定与传递提供了一种有效的途径。以上所述仅是本申请的具体实施方式，应当指出，对于本
的普通技术人员来说，在不脱离本申请原理的前提下，还可以做出若干改进和润饰，这些改进和润饰也应视为本申请的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种样品托，其特征在于，包括托盘(1)、压紧片(2)以及锁紧螺钉(3)，所述托盘(1)上设置有螺孔，所述压紧片(2)上设置有通孔，所述锁紧螺钉(3)穿过所述压紧片(2)上的通孔与托盘(1)上的螺孔连接固定。/n

【技术特征摘要】
1.一种样品托，其特征在于，包括托盘(1)、压紧片(2)以及锁紧螺钉(3)，所述托盘(1)上设置有螺孔，所述压紧片(2)上设置有通孔，所述锁紧螺钉(3)穿过所述压紧片(2)上的通孔与托盘(1)上的螺孔连接固定。


2.根据权利要求1所述的样品托，其特征在于，还包括传动滑轨(4)，所述传动滑槽(4)为沿着整个所述托盘(1)外圆周面内陷设置的一圈环形凹槽。


3.根据权利要求2所述的样品托，其特征在于，所述托盘(1)包括承接板(5)，所述承接板(5)上表面低于所述托盘(1)的上表面，所述承接板(5)的直径小于所述传动滑槽(4)的内圆周面的直径。


4.根据权利要求1所述的样品托，其特征在于，所述托盘(1)、压紧片(2)以及锁紧螺钉(3)材料均为钼。


5.根据权利要求3所述的样品托，其特征在于，所述承接板(5)包括第一样品槽(6)、第二样品槽(7)、第三样品槽(8)以及第四样品槽(9)，所述第一样品槽、第二样品槽、第三样品槽与第四样品槽形状大小均相同。


6.根据权利要求5所述的样品托，其特征在于，所述第一样品槽(6)、第二样品槽(7)、第三样品槽(8)以及第四样品槽(9)均设置在所述承接板...

【专利技术属性】
技术研发人员：陆晓鸣，丁孙安，赵弇斐，李坊森，黄增立，刘通，陈肖，沈阳，王虎，
申请(专利权)人：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所，
类型：发明
国别省市：江苏;32