一种坩埚喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种坩埚喷涂装置，包括支撑台、坩埚喷涂台和喷涂组件，坩埚喷涂台水平设置于支撑台上，坩埚喷涂台包括底座、侧壁和保温密封盖，底座、侧壁和保温密封盖形成一密闭容置空间，密闭容置空间用于容置待喷涂坩埚，底座和侧壁朝向密闭容置空间的一侧设有远红外加热组件，喷涂组件用于对待喷涂坩埚进行喷涂。本实用新型专利技术采用远红外加热组件，以辐射方式进行加热，不受坩埚尺寸的影响，使坩埚受热均匀；热传递速度快，能够坩埚进行快速加热；加热过程中热损失小，热能利用率高；加热过程可控，易于操作；远红外加热组件成本低、安全性高，易于安装和维护；由传统的旋转式喷涂装置变为水平式喷涂装置，减少了旋转组件的使用，降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚喷涂装置
本技术涉及多晶硅
，特别涉及一种坩埚喷涂装置。
技术介绍
坩埚喷涂是将氮化硅粉制成水剂，用压缩空气经喷枪均匀喷涂在坩埚内表面，水分快速蒸发，使氮化硅液均匀的附着在坩埚表面，形成粉状涂层的工艺过程。现有的坩埚喷涂台均为旋转式喷涂台，即将坩埚置于旋转架上进行加热喷涂处理。现有的坩埚喷涂台存在如下问题：1、现有加热台为坩埚直立式喷涂，人工劳动强度大，存在高温烫伤危险；2、坩埚的形状不规则，加热板没有弹性，导致各个加热板接触紧固程度不一样，存在缝隙使得受热不均匀；3、坩埚大多数为方形，立棱无法与加热板贴合，加热效果差，导致立棱温度低；4、坩埚的型号规格多，现有加热台无法通用，每种规格产品配备一种加热台，成本大；5、为了保护加热板的电缆走线，旋转台的旋转轴上需装有限制旋转角度限位或集电滑环装置，现有的装置是采用了凸块撞击限位装置，经常损坏；6、采用电机或人工旋转加热喷涂，需要人工踩踏旋转或专人旋转进行换面喷涂，操作繁杂，费人工；7、现有加热台采用硅橡胶加热板，易受损，价格昂贵，维修成本高。因此，亟需一种加热均匀、安全、成本本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚喷涂装置，其特征在于，包括支撑台、坩埚喷涂台和喷涂组件，所述坩埚喷涂台水平设置于所述支撑台上，所述坩埚喷涂台包括底座、侧壁和保温密封盖，所述底座、所述侧壁和所述保温密封盖形成一密闭容置空间，所述密闭容置空间用于容置待喷涂坩埚，所述底座和所述侧壁朝向所述密闭容置空间的一侧设有远红外加热组件，所述喷涂组件用于对所述待喷涂坩埚进行喷涂。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚喷涂装置，其特征在于，包括支撑台、坩埚喷涂台和喷涂组件，所述坩埚喷涂台水平设置于所述支撑台上，所述坩埚喷涂台包括底座、侧壁和保温密封盖，所述底座、所述侧壁和所述保温密封盖形成一密闭容置空间，所述密闭容置空间用于容置待喷涂坩埚，所述底座和所述侧壁朝向所述密闭容置空间的一侧设有远红外加热组件，所述喷涂组件用于对所述待喷涂坩埚进行喷涂。


2.如权利要求1所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述坩埚喷涂台内还设置有定位组件，所述定位组件用于固定所述待喷涂坩埚。


3.如权利要求2所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述定位组件包括卡持部和定位部，所述定位部上设置有至少一个定位槽，所述卡持部的一端卡持于所述定位槽中，所述卡持部另一端用于卡持固定所述待喷涂坩埚。


4.如权利要求1所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述坩埚喷涂台还包括传感器组件，所述传感器组件用于测定所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄福龙，聂晓云，刘兵，胡玲，吴纯，
申请(专利权)人：中材江苏太阳能新材料有限公司，江西中材太阳能新材料有限公司，中材高新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32