一种坩埚喷涂装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供了一种坩埚喷涂装置，包括支撑台、坩埚喷涂台和喷涂组件，坩埚喷涂台水平设置于支撑台上，坩埚喷涂台包括底座、侧壁和保温密封盖，底座、侧壁和保温密封盖形成一密闭容置空间，密闭容置空间用于容置待喷涂坩埚，底座和侧壁朝向密闭容置空间的一侧设有远红外加热组件，喷涂组件用于对待喷涂坩埚进行喷涂。本实用新型专利技术采用远红外加热组件，以辐射方式进行加热，不受坩埚尺寸的影响，使坩埚受热均匀；热传递速度快，能够坩埚进行快速加热；加热过程中热损失小，热能利用率高；加热过程可控，易于操作；远红外加热组件成本低、安全性高，易于安装和维护；由传统的旋转式喷涂装置变为水平式喷涂装置，减少了旋转组件的使用，降低成本。

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚喷涂装置
本技术涉及多晶硅
，特别涉及一种坩埚喷涂装置。
技术介绍
坩埚喷涂是将氮化硅粉制成水剂，用压缩空气经喷枪均匀喷涂在坩埚内表面，水分快速蒸发，使氮化硅液均匀的附着在坩埚表面，形成粉状涂层的工艺过程。现有的坩埚喷涂台均为旋转式喷涂台，即将坩埚置于旋转架上进行加热喷涂处理。现有的坩埚喷涂台存在如下问题：1、现有加热台为坩埚直立式喷涂，人工劳动强度大，存在高温烫伤危险；2、坩埚的形状不规则，加热板没有弹性，导致各个加热板接触紧固程度不一样，存在缝隙使得受热不均匀；3、坩埚大多数为方形，立棱无法与加热板贴合，加热效果差，导致立棱温度低；4、坩埚的型号规格多，现有加热台无法通用，每种规格产品配备一种加热台，成本大；5、为了保护加热板的电缆走线，旋转台的旋转轴上需装有限制旋转角度限位或集电滑环装置，现有的装置是采用了凸块撞击限位装置，经常损坏；6、采用电机或人工旋转加热喷涂，需要人工踩踏旋转或专人旋转进行换面喷涂，操作繁杂，费人工；7、现有加热台采用硅橡胶加热板，易受损，价格昂贵，维修成本高。因此，亟需一种加热均匀、安全、成本低、适用范围广的坩埚加热喷涂装置。
技术实现思路
有鉴于此，本技术提供了一种坩埚喷涂装置，采用远红外加热组件，以辐射方式对坩埚进行加热，热能利用率高，坩埚受热均匀，过程可控，易于操作；远红外加热组件成本低、安全性高；同时，改变了坩埚喷涂台的放置方式，由传统的旋转式喷涂台变为水平式喷涂台，避免了人工踩踏旋转或旋转组件的使用，提高安全性，降低成本。第一方面，本技术提供了一种坩埚喷涂装置，包括支撑台、坩埚喷涂台和喷涂组件，所述坩埚喷涂台水平设置于所述支撑台上，所述坩埚喷涂台包括底座、侧壁和保温密封盖，所述底座、所述侧壁和所述保温密封盖形成一密闭容置空间，所述密闭容置空间用于容置待喷涂坩埚，所述底座和所述侧壁朝向所述密闭容置空间的一侧设有远红外加热组件，所述喷涂组件用于对所述待喷涂坩埚进行喷涂。可选的，所述远红外加热组件包括设置在所述侧壁上的侧壁远红外加热部和设置在所述底座上的底座远红外加热部。在本技术中，所述侧壁远红外加热部可以部分或完全覆盖所述侧壁，所述底座远红外加热部可以部分或完全覆盖所述底座，对此不作限定。可选的，所述坩埚喷涂台内还设置有定位组件，所述定位组件用于固定所述待喷涂坩埚。可选的，所述定位组件包括卡持部和定位部，所述定位部上设置有至少一个定位槽，所述卡持部的一端卡持于所述定位槽中，所述卡持部另一端用于卡持固定所述待喷涂坩埚。进一步的，所述定位部包括相互平行设置的两个定位杆，所述定位杆上设置有至少一个定位槽，所述卡持部由两个相互平行设置的卡持杆通过连接杆相互连接组成，两个所述卡持杆的一端分别卡持于两个所述定位杆上的定位槽中，所述连接杆用于卡持固定所述待喷涂坩埚。进一步的，所述定位组件还包括硅胶垫板，所述硅胶垫板与所述卡持部远离所述定位部的一端卡合设置。更近一步的，所述硅胶垫板设置在所述连接杆与所述待喷涂坩埚卡持固定的表面。在本技术中，硅胶垫板用于与待喷涂坩埚贴合，更好地保护坩埚外表面不受到刮伤。进一步的，所述定位部设置在所述底座上。进一步的，所述坩埚喷涂台内设置有至少两个定位组件。更进一步的，两个所述定位组件中所述定位部垂直90°设置在所述待喷涂坩埚的底部。该设置方式有利于更好的卡合所述待喷涂坩埚。在本技术中，根据待喷涂坩埚的大小，移动所述卡持部置于合适的定位槽中，有利于更好地固定待喷涂坩埚。可选的，所述坩埚喷涂台还包括传感器组件，所述传感器组件用于测定所述待喷涂坩埚的温度。进一步的，所述传感器组件包括伸缩杆以及安装在所述伸缩杆一端的温度传感器。调节所述伸缩杆，使所述温度传感器与所述待喷涂坩埚外表面贴合，以检测所述坩埚的温度。进一步的，所述伸缩杆包括支撑杆以及设置在所述支撑杆上的伸缩弹簧。具体的，可以但不限于所述伸缩杆设置在所述侧壁上或所述底座上。进一步的，所述传感器组件与外部终端通信连接，将检测到的温度发送给外部终端，从而对坩埚侧壁的加热温度进行实时监控，并根据检测到的温度对坩埚喷涂台内的远红外加热部件进行调整，从而调整加热程度。可选的，所述底座上设置有坩埚支撑架，所述坩埚支撑架用于支撑所述待喷涂坩埚。具体的，可以但不限于所述伸缩杆设置在所述坩埚支撑架上。可选的，所述远红外加热组件由至少一个远红外加热板组成。进一步的，所述侧壁远红外加热部由多个远红外加热板组成，所述底座远红外加热部由多个远红外加热板组成。更进一步的，所述底座远红外加热部中所述远红外加热板间隔设置，所述定位组件设置在所述远红外加热板之间的间隙中，所述坩埚支撑架设置在所述远红外加热板之间的间隙中。更进一步的，所述侧壁远红外加热部中所述远红外加热板间隔设置，所述传感器组件设置在所述远红外加热板之间的间隙中。进一步的，所述远红外加热板的功率为1kW-10kW。可选的，所述侧壁由四个侧板依次连接而成，四个所述侧板通过固定部与所述底座形成可拆卸连接。进一步的，四个所述侧板为可拆卸连接。进一步的，四个所述侧板与所述底座之间通过铰链连接。可选的，所述支撑台底部设置有多个脚轮，所述支撑台上设置有垂直于所述支撑台的推杆。所述脚轮和所述推杆用于移动所述坩埚喷涂装置。在本技术中，设置脚轮和推杆有利于对坩埚喷涂装置进行移动，方便操作。可选的，所述保温密封盖上设置有带合页的翻盖板，翻盖板与坩埚口沿接触处安装硅胶垫板。进一步的，所述保温密封盖上设置有多规格翻盖板。根据不同规格的坩埚，打开不同的翻盖板，可形成与坩埚内腔相同尺寸的孔洞。所述孔洞用于在后续喷涂过程中，喷枪进入坩埚喷涂台内进行喷涂，有利于待喷涂坩埚的保温。可选的，所述喷涂组件包括机械臂以及安装在所述机械臂一端的喷枪。在本技术中，通过控制喷涂组件中机械臂的移动，以旋转喷枪对坩埚进行喷涂。本技术的有益效果：本技术提供了一种坩埚喷涂装置，其中，坩埚喷涂台采用远红外加热组件，以辐射方式对坩埚进行加热，不需要和坩埚直接接触，即可对坩埚进行加热，避免了坩埚大小和形状与加热板不匹配的问题，使坩埚受热均匀；热传递速度快，能够坩埚进行快速加热；加热过程中热损失小，提高热能利用率；加热过程可控，易于操作；远红外加热组件成本低、安全性高，易于安装和维护；改变了坩埚喷涂台的放置方式，由传统的旋转式喷涂台变为水平式喷涂台，避免了人工踩踏旋转或旋转组件的使用，提高安全性，降低成本；采用喷涂组件进行喷涂大大提高喷涂质量，过程易于控制，效率高，同时避免氮化硅对人体的危害，提高生产安全性，在坩埚制备领域具有广泛的应用前景。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍。此处所描述的具体实施例仅仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。图1为本技术实施例提供本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚喷涂装置，其特征在于，包括支撑台、坩埚喷涂台和喷涂组件，所述坩埚喷涂台水平设置于所述支撑台上，所述坩埚喷涂台包括底座、侧壁和保温密封盖，所述底座、所述侧壁和所述保温密封盖形成一密闭容置空间，所述密闭容置空间用于容置待喷涂坩埚，所述底座和所述侧壁朝向所述密闭容置空间的一侧设有远红外加热组件，所述喷涂组件用于对所述待喷涂坩埚进行喷涂。/n

【技术特征摘要】
1.一种坩埚喷涂装置，其特征在于，包括支撑台、坩埚喷涂台和喷涂组件，所述坩埚喷涂台水平设置于所述支撑台上，所述坩埚喷涂台包括底座、侧壁和保温密封盖，所述底座、所述侧壁和所述保温密封盖形成一密闭容置空间，所述密闭容置空间用于容置待喷涂坩埚，所述底座和所述侧壁朝向所述密闭容置空间的一侧设有远红外加热组件，所述喷涂组件用于对所述待喷涂坩埚进行喷涂。


2.如权利要求1所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述坩埚喷涂台内还设置有定位组件，所述定位组件用于固定所述待喷涂坩埚。


3.如权利要求2所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述定位组件包括卡持部和定位部，所述定位部上设置有至少一个定位槽，所述卡持部的一端卡持于所述定位槽中，所述卡持部另一端用于卡持固定所述待喷涂坩埚。


4.如权利要求1所述的坩埚喷涂装置，其特征在于，所述坩埚喷涂台还包括传感器组件，所述传感器组件用于测定所...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄福龙，聂晓云，刘兵，胡玲，吴纯，
申请(专利权)人：中材江苏太阳能新材料有限公司，江西中材太阳能新材料有限公司，中材高新材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32