扩散下料堆叠机制造技术

本实用新型专利技术涉及硅片加工设备领域，尤其是扩散下料堆叠机。该堆叠机包括机架、水平直线驱动机构、上下直线驱动机构、吸盘组、花篮、夹紧机构、输送台、装载箱、旋转马达、导片机构和顶板，所述机架的横梁上固定有水平直线驱动机构，水平直线驱动机构的滑座上固定有上下直线驱动机构，上下直线驱动机构的滑座上固定有吸盘组，机架内固定有输送台，输送台的移动端转动连接有装载箱，输送台的移动端固定有旋转马达。本实用新型专利技术通过直线驱动机构驱使吸盘组将花篮内的硅片取出，然后经由导片机构放入到装载箱内，通过旋转马达使得装载箱保持倾斜后仰，最后输送台将装载箱水平移动，从而将硅片压紧在装载箱和顶板之间。提高了硅片堆叠下料的功效。

【技术实现步骤摘要】
扩散下料堆叠机
本技术涉及硅片加工设备领域，尤其是扩散下料堆叠机。
技术介绍
硅片扩散工艺是将硅片放入高温扩散炉中，通以氮气和POCL3等气体，在高温下分解后在硅片表面形成P-N结。高温扩散炉的管道为石英材料的圆形管道，扩散时，首先将硅片放在石英舟上，然后用石英杆或金属杆将石英舟送入管道中进行烘烤。加工完毕的硅片，要从石英舟内取出并堆叠在一起，但是现有的硅片堆叠的工作效率较低。
技术实现思路
为了解决
技术介绍
中描述的技术问题，本技术提供了一种扩散下料堆叠机。通过直线驱动机构驱使吸盘组将花篮内的硅片取出，然后经由导片机构放入到装载箱内，通过旋转马达使得装载箱保持倾斜后仰，最后输送台将装载箱水平移动，从而将硅片压紧在装载箱和顶板之间。提高了硅片堆叠下料的功效。本技术解决其技术问题所采用的技术方案是：一种扩散下料堆叠机，包括机架、水平直线驱动机构、上下直线驱动机构、吸盘组、花篮、夹紧机构、输送台、装载箱、旋转马达、导片机构和顶板，所述机架的横梁上固定有水平直线驱动机构，水平直线驱动机构的滑座上固定有上下直线驱动机构，上下直线驱动机构的滑座上固定有吸盘组，机架内固定有输送台，输送台的移动端转动连接有装载箱，输送台的移动端固定有旋转马达，旋转马达的输出轴固定在装载箱上，输送台的台体一端固定有花篮和夹紧机构，输送台的台体另一端固定有顶板，顶板位于装载箱正前方，输送台两侧固定有导片机构。具体地，所述水平直线驱动机构和上下直线驱动机构为直线模组。具体地，所述吸盘组是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。具体地，所述输送台由电机、传动带、皮带、传动轮、滑座和台体组成，台体两端转动连接有传动轮，传动轮贴合在皮带内圈，其中一端的传动轮的轴通过传动带连接在电机的输出轴上，滑座滑配连接在台体上，滑座固定在皮带上，滑座上固定有旋转马达，滑座上通过轴与装载箱铰接在一起，旋转马达的输出轴固定在装载箱上。具体地，所述导片机构由横板和支架组成，横板通过支架固定在输送台侧端，横板内侧面上固定有数个排成一条直线的用于放置硅片的卡槽，输送台两侧的横板相对称。具体地，所述装载箱内壁上固定有硅胶层，顶板朝向装载箱的平面上固定有硅胶层。具体地，所述夹紧机构由夹紧气缸和夹板组成，夹紧气缸的缸体固定在输送台的台体上，夹紧气缸的活塞杆端固定有夹板，台体上固定有板体，花篮位于板体和夹板之间。本技术的有益效果是：本技术提供了一种扩散下料堆叠机。通过直线驱动机构驱使吸盘组将花篮内的硅片取出，然后经由导片机构放入到装载箱内，通过旋转马达使得装载箱保持倾斜后仰，最后输送台将装载箱水平移动，从而将硅片压紧在装载箱和顶板之间。提高了硅片堆叠下料的功效。附图说明下面结合附图和实施例对本技术进一步说明。图1是本技术的结构示意图；图2是本技术的装载箱的结构示意图；图3是本技术的导片机构的结构示意图；图中1.机架，2.上下直线驱动机构，3.吸盘组,4.花篮，5.夹紧机构，6.输送台，7.装载箱，8.旋转马达，9.导片机构，10.顶板，11.硅胶层，12.水平直线驱动机构，51.夹紧气缸，52.夹板，91.横板，92.支架。具体实施方式现在结合附图对本技术作进一步详细的说明。这些附图均为简化的示意图，仅以示意方式说明本技术的基本结构，因此其仅显示与本技术有关的构成。图1是本技术的结构示意图，图2是本技术的装载箱的结构示意图，图3是本技术的导片机构的结构示意图。一种扩散下料堆叠机，包括机架1、水平直线驱动机构12、上下直线驱动机构2、吸盘组3、花篮4、夹紧机构5、输送台6、装载箱7、旋转马达8、导片机构9和顶板10，所述机架1的横梁上固定有水平直线驱动机构12，水平直线驱动机构12的滑座上固定有上下直线驱动机构2，上下直线驱动机构2的滑座上固定有吸盘组3，机架1内固定有输送台6，输送台6的移动端转动连接有装载箱7，输送台6的移动端固定有旋转马达8，旋转马达8的输出轴固定在装载箱7上，输送台6的台体一端固定有花篮4和夹紧机构5，输送台6的台体另一端固定有顶板10，顶板10位于装载箱7正前方，输送台6两侧固定有导片机构9。所述水平直线驱动机构12和上下直线驱动机构2为直线模组。所述吸盘组3是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组3上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。所述输送台6由电机、传动带、皮带、传动轮、滑座和台体组成，台体两端转动连接有传动轮，传动轮贴合在皮带内圈，其中一端的传动轮的轴通过传动带连接在电机的输出轴上，滑座滑配连接在台体上，滑座固定在皮带上，滑座上固定有旋转马达8，滑座上通过轴与装载箱7铰接在一起，旋转马达8的输出轴固定在装载箱7上。所述导片机构9由横板91和支架92组成，横板91通过支架92固定在输送台6侧端，横板91内侧面上固定有数个排成一条直线的用于放置硅片的卡槽，输送台6两侧的横板91相对称。所述装载箱7内壁上固定有硅胶层11，顶板10朝向装载箱7的平面上固定有硅胶层11。所述夹紧机构5由夹紧气缸51和夹板52组成，夹紧气缸51的缸体固定在输送台6的台体上，夹紧气缸51的活塞杆端固定有夹板52，台体上固定有板体，花篮4位于板体和夹板52之间。结合附图1、附图2和附图3所示，直线模组为电机驱动滚珠丝杠旋转，旋转的滚珠丝杠驱使与之螺纹连接的滚珠螺母进行直线移动，与滚珠螺母外圈固定的滑座就与其同步移动。吸盘组3的所有吸板均连接气泵，气泵启动使得吸板上的吸孔产生负压，从而吸住硅片。所有吸板之间间距相同，因此吸盘组3可以同时抓取按照一定间距摆放在花篮4内的数个硅片。输送台6的工作方式为，电机旋转的输出轴通过传动带带动传动轮旋转，旋转的传动轮通过摩擦力带动皮带进行传动。而与皮带固定的滑座就可以沿着台体进行滑动。首先将扩散加工好的硅片都放入到花篮4内，然后夹紧气缸51驱使夹板52往硅片的方向移动，直到讲花篮4内的硅片夹持在夹板52和板体之间，使得花篮4内的硅片都保持整齐。然后水平直线驱动机构12与上下直线驱动机构2驱使吸盘组3吸住花篮4内的硅片。接着夹板52放开硅片，此时吸盘组3将硅片取走并移动至导片机构9的正上方。吸盘组3将硅片往下移动，直到导片穿过两侧横板91上的卡槽，这样就能使得硅片对齐并插入到装载箱7内。旋转马达8的输出轴旋转从而带动装载箱7同步旋转一定角度，使得装载箱7保持后仰状态，这样堆叠在装载箱7内的硅片就可以倚靠在装载箱7的背板上。接着输送台6驱使装载箱7往顶板10的方向移动，直到装载箱7贴合到顶板10。最后旋转马达8驱动装载箱7复位并保持与台体的垂直状态。这样硅片就堆叠在装载箱7的背板和顶板10之间。由于装载箱7内和顶板10的平面上均固定有硅胶层11，因本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种扩散下料堆叠机，其特征是，包括机架(1)、水平直线驱动机构(12)、上下直线驱动机构(2)、吸盘组(3)、花篮(4)、夹紧机构(5)、输送台(6)、装载箱(7)、旋转马达(8)、导片机构(9)和顶板(10)，所述机架(1)的横梁上固定有水平直线驱动机构(12)，水平直线驱动机构(12)的滑座上固定有上下直线驱动机构(2)，上下直线驱动机构(2)的滑座上固定有吸盘组(3)，机架(1)内固定有输送台(6)，输送台(6)的移动端转动连接有装载箱(7)，输送台(6)的移动端固定有旋转马达(8)，旋转马达(8)的输出轴固定在装载箱(7)上，输送台(6)的台体一端固定有花篮(4)和夹紧机构(5)，输送台(6)的台体另一端固定有顶板(10)，顶板(10)位于装载箱(7)正前方，输送台(6)两侧固定有导片机构(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种扩散下料堆叠机，其特征是，包括机架(1)、水平直线驱动机构(12)、上下直线驱动机构(2)、吸盘组(3)、花篮(4)、夹紧机构(5)、输送台(6)、装载箱(7)、旋转马达(8)、导片机构(9)和顶板(10)，所述机架(1)的横梁上固定有水平直线驱动机构(12)，水平直线驱动机构(12)的滑座上固定有上下直线驱动机构(2)，上下直线驱动机构(2)的滑座上固定有吸盘组(3)，机架(1)内固定有输送台(6)，输送台(6)的移动端转动连接有装载箱(7)，输送台(6)的移动端固定有旋转马达(8)，旋转马达(8)的输出轴固定在装载箱(7)上，输送台(6)的台体一端固定有花篮(4)和夹紧机构(5)，输送台(6)的台体另一端固定有顶板(10)，顶板(10)位于装载箱(7)正前方，输送台(6)两侧固定有导片机构(9)。


2.根据权利要求1所述的扩散下料堆叠机，其特征在于：所述水平直线驱动机构(12)和上下直线驱动机构(2)为直线模组。


3.根据权利要求1所述的扩散下料堆叠机，其特征在于：所述吸盘组(3)是由数个相互平行的吸板依次排列固定组成，吸盘组(3)上的所有吸板之间的间距相同，吸板上开设有吸孔，吸孔与吸板内腔相连通，吸板内腔与气泵相连通。

【专利技术属性】
技术研发人员：向永富，
申请(专利权)人：苏州璞智自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32