【技术实现步骤摘要】
压电陶瓷旋转电机
本专利技术涉及集成电路装备制造领域,具体涉及一种压电陶瓷旋转电机。
技术介绍
近年来,随着大规模集成电路器件集成度不断提高,工件台的精度需求不断提高,尤其是在光刻机和膜厚检测中的载台以及物镜的调控等模块的运动精度,运动行程随着工件台需求的提高而逐年提升。位移驱动技术也在不断的改进,使压电陶瓷微位移驱动器得到大量的应用。现阶段,在精密驱动中主要的方式有:机械丝杠、直线电机和压电陶瓷致动器,而在纳米级的位移驱动中主要是压电陶瓷位移驱动器。某专利采用多个厚度位移叠堆的组合,形成对动子的加压和驱动动作,结构复杂,造价昂贵,制作工艺复杂,不容易商业化。某专利利用四组厚度位移叠堆和切向位移叠堆的组合驱动中心轴步进式运动,这种叠堆在制作中切向压电叠堆在制作过程中工艺复杂,切需要有机胶体进行粘接,不能用共烧工艺实现,由于有机胶体的存在,使压电驱动器在抗时间老化和在较恶劣温度和光照环境下,很容易出现失效。目前压电陶瓷直线电机主要应用如PI公司和PM公司,其切向位移的提供主要利用压电陶瓷的切向极化的压电陶瓷片提供,所以其制作必须要先制作出切向位移陶瓷片,再将陶瓷片进行有机胶层粘接,所以制作工艺复杂,且由于有机胶层的存在,导致其抗光照和耐温度老化特性受限,而切向压电陶瓷片在压电陶瓷特性退化后不可回复的特性也导致了这种压电陶瓷电机使用的受限。
技术实现思路
本专利技术的目的是提供一种压电陶瓷旋转电机,以解决上述现有技术中存在的问题。为了解决上述问题,根据本专利技术的一个方 ...
【技术保护点】
1.一种压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述压电陶瓷旋转电机包括壳体、电机转子、至少一对第一压电陶瓷位移驱动器和至少一对第二压电陶瓷位移驱动器,/n所述电机转子安装于所述壳体内,/n所述至少一对第一压电陶瓷位移驱动器关于所述电机转子对称布置并安装于所述壳体上,/n所述至少一对第二压电陶瓷位移驱动器关于所述电机转子对称布置并安装于所述壳体上,以及/n所述至少一对第一压电陶瓷位移驱动器的顶端与所述电机转子接触从而至少提供切向作用力以迫使所述电机转子旋转,所述至少一对第二压电陶瓷位移驱动器的顶端与所述电机转子接触并至少提供径向作用力和径向位移。/n
【技术特征摘要】
1.一种压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述压电陶瓷旋转电机包括壳体、电机转子、至少一对第一压电陶瓷位移驱动器和至少一对第二压电陶瓷位移驱动器,
所述电机转子安装于所述壳体内,
所述至少一对第一压电陶瓷位移驱动器关于所述电机转子对称布置并安装于所述壳体上,
所述至少一对第二压电陶瓷位移驱动器关于所述电机转子对称布置并安装于所述壳体上,以及
所述至少一对第一压电陶瓷位移驱动器的顶端与所述电机转子接触从而至少提供切向作用力以迫使所述电机转子旋转,所述至少一对第二压电陶瓷位移驱动器的顶端与所述电机转子接触并至少提供径向作用力和径向位移。
2.根据权利要求1所述的压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述第一压电陶瓷位移驱动器包括弯曲位移叠堆和摆臂,所述弯曲位移叠堆由多个压电陶瓷片堆叠形成或多层共烧工艺直接制作而成,其中,所述弯曲位移叠堆的压电陶瓷片的表面覆盖间隔开的电极层从而形成第一组电极层和第二组电极层。
3.根据权利要求2所述的压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述第一压电陶瓷位移驱动器还包括厚度位移叠堆,所述厚度位移叠堆由多个压电陶瓷片堆叠形成或多层共烧工艺直接制作而成,所述厚度位移叠堆的压电陶瓷片的表面覆盖全电极层,从而所述第一压电陶瓷位移驱动器还能够提供径向作用力和径向位移。
4.根据权利要求1所述的压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述第二压电陶瓷位移驱动器包括厚度位移叠堆和摆臂,所述厚度位移叠堆由多个压电陶瓷片堆叠形成或多层共烧工艺直接制作而成,所述厚度位移叠堆的压电陶瓷片的表面覆盖全电极层,使得所述第二压电陶瓷位移驱动器能够提供径向作用力和径向位移。
5.根据权利要求4所述的压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述第二压电陶瓷位移驱动器还包括弯曲位移叠堆,所述弯曲位移叠堆安装于所述厚度位移叠堆与所述摆臂之间,使得所述第二压电陶瓷位移驱动器还能够提供切向作用力和切向位移。
6.根据权利要求1所述的压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述压电陶瓷旋转电机包括两对第一压电陶瓷位移驱动器和两对第二压电陶瓷位移驱动器,其中一对第一压电陶瓷位移驱动器和一对第二压电陶瓷位移驱动器并排布置于所述电机转子与壳体之间,以及另一对第一压电陶瓷位移驱动器与另一对第二压电陶瓷位移驱动器并排布置在壳体与电机转子之间,且所述一对第一压电陶瓷位移驱动器和一对第二压电陶瓷位移驱动器与所述另一对第一压电陶瓷位移驱动器与所述另一第二压电陶瓷位移驱动器相互垂直布置。
7.根据权利要求1所述的压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述压电陶瓷旋转电机包括四对第一压电陶瓷驱动和四对第二压电陶瓷位移驱动器,所述四对第一压电陶瓷位移驱动器均匀布置在所述壳体与所述电机转子之间,所述四对第二压电陶瓷位移驱动器均匀布置在所述壳体与所述电机转子之间,且所述四对第一压电陶瓷位移驱动器与所述四对第二压电陶瓷位移驱动器排成两排。
8.根据权利要求1所述的压电陶瓷旋转电机,其特征在于,所述压电陶瓷旋转电机包括四对...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨晓峰,王振华,康华洲,郝凌凌,陈庆生,
申请(专利权)人:季华实验室,
类型:发明
国别省市:广东;44
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。