一种乙硼烷合成系统及其方法技术方案

本发明专利技术提供一种乙硼烷合成系统及其方法，包括反应釜，反应釜设有进气口、第一出气口、第一加料口、第二加料口和出料口，进气口管道连接有氮气瓶和气体混合装置，出料口管道连接有反应器的进料口，反应器设有出料口、滴加装置和第二出气口，出料口管道连接有处理池，滴加装置管道连接有酸池，第二出气口管道连接有吸附塔，吸附塔顶端管道连接有第一冷肼，第一冷肼管道连接有第一气体收集罐和液体收集罐，液体收集罐内设有加热装置，出气口管道连接有第二冷肼，第二冷肼管道连接有第二气体收集罐，第二冷肼与液体收集罐管道连接，液体收集罐管道连接有灌装装置。本发明专利技术具有反应速度快，提纯效率高等优点。

A synthesis system and method of diborane

【技术实现步骤摘要】
一种乙硼烷合成系统及其方法
本专利技术涉及工业气体生产领域，具体涉及一种乙硼烷合成系统及其方法。
技术介绍
乙硼烷是沸点为-92.5℃的气体，具有着火性强的特点，可作为燃料、火箭的推进剂使用，乙硼烷在电子工业中主要用于半导体制造扩散和氧化的掺杂剂，广泛应用于半导体集成电路IC、液晶显示器LCD、半导体发光器件LED以及太阳能电池PV等行业，乙硼烷还可在硼磷硅玻璃绝缘膜成型时用作混合气体，在用作混合气时，需要用氮气、氦气、氢气等气体稀释后使用，此外，还可由高级硼烷及胺附属体等转变成稳定已处理形后使用。近年来，随着全球石油等能源资源逐渐减少和环境污染，温室效应对气候的影响，世界各国大力发展清洁能源以及节能技术，重点关注低碳经济，在此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件以及节能技术，重点关注低碳经济，再此背景之下，我国的太阳能电池和半导体发光器件及相关产业得到了迅猛发展，电子工业用乙硼烷市场非常广阔，现有的乙硼烷制备装置设计不合理，难以使用且提取纯度不高，提纯难度较大。
技术实现思路
本专利技术要解决的问题是提供一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种乙硼烷合成系统，其特征在于：包括反应釜(1)，所述反应釜(1)设有进气口、第一出气口、第一加料口、第二加料口和出料口，所述进气口管道连接有氮气瓶(2)和气体混合装置(3)，所述出料口管道连接有反应器(4)的进料口，所述反应器(4)设有出料口、滴加装置(5)和第二出气口，所述滴加装置(5)管道连接有酸池(6)，所述第二出气口管道连接有吸附塔(7)，所述吸附塔(7)顶端管道连接有第一冷肼(8)，所述第一冷肼(8)管道连接有第一气体收集罐(9)和液体收集罐(10)，所述液体收集罐(10)内设有加热装置(11)，所述出气口管道连接有第二冷肼(12)，所述第二冷肼(12)与所述液体收集罐(10)...

【技术特征摘要】
1.一种乙硼烷合成系统，其特征在于：包括反应釜(1)，所述反应釜(1)设有进气口、第一出气口、第一加料口、第二加料口和出料口，所述进气口管道连接有氮气瓶(2)和气体混合装置(3)，所述出料口管道连接有反应器(4)的进料口，所述反应器(4)设有出料口、滴加装置(5)和第二出气口，所述滴加装置(5)管道连接有酸池(6)，所述第二出气口管道连接有吸附塔(7)，所述吸附塔(7)顶端管道连接有第一冷肼(8)，所述第一冷肼(8)管道连接有第一气体收集罐(9)和液体收集罐(10)，所述液体收集罐(10)内设有加热装置(11)，所述出气口管道连接有第二冷肼(12)，所述第二冷肼(12)与所述液体收集罐(10)管道连接，所述液体收集罐(10)管道连接有灌装装置(13)。


2.根据权利要求1所述的一种乙硼烷合成系统，其特征在于：所述出料口管道连接有处理池(14)。


3.根据权利要求1所述的一种乙硼烷合成系统，其特征在于：所述第二冷肼(12)管道连接有第二气体收集罐(15)。


4.根据权利要求3所述的一种乙硼烷合成系统，其特征在于：所述液体收集罐(10)和第二气体收集罐(15)均与所述气体混合装置(3)管道连接。


5.一种乙硼烷合成方法，其特征在于：采用采用权利要求1-4任一所述的一种乙硼烷合成系统，包括如下步骤：
步骤一：向反应釜(1)中通入惰性气体进行内环境置换，换气10-15min后加入二甲醚聚乙二醇，进行搅拌，后像反应釜(1)中加入固态硼氢化钠，继续搅拌，使硼氢...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国富，龚施健，
申请(专利权)人：博纯材料股份有限公司，
类型：发明
国别省市：福建;35