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一种乙硼烷合成系统及其方法技术方案
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文档序号:22969156
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本发明提供一种乙硼烷合成系统及其方法,包括反应釜,反应釜设有进气口、第一出气口、第一加料口、第二加料口和出料口,进气口管道连接有氮气瓶和气体混合装置,出料口管道连接有反应器的进料口,反应器设有出料口、滴加装置和第二出气口,出料口管道连接有处...
该专利属于博纯材料股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过博纯材料股份有限公司授权不得商用。
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