双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。本实用新型专利技术对内外室抽真空不受影响，能够确保内室中的污染气体不会逸入外室。

Sealing / isolation system of inner and outer chamber of two chamber CVD furnace

【技术实现步骤摘要】
双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统
本技术属于真空热处理炭材料
，涉及一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统。
技术介绍
双室化学气相沉积炉的双室由加热室(简称外室)与沉积室(简称内室)组成。化学气相沉积工艺过程中，内室中通大量的有机气体(丙烯、丙烷或天然气)，这有机物热解和气化会产生的大分子芳香族碳氢有机污染物,含有焦油、炭墨灰尘和其它一些杂质。双室化学气相沉积炉炉内罐为石墨或C/C材料，内外室之间密封做不到完全隔绝，这样部分的污染气体就会逸入外室中，污染了加热器与炉衬保温材料，造成加热器烧损或短路，炉衬保温材料的保温性能急剧下降，整个炉子的热场会发生很大的变化，炉温均匀性变差，造成很大的能耗损失，影响工艺的正常进行，甚至导致加热器与炉衬报废。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，该系统对内外室抽真空不受影响，能够确保内室中的污染气体不会逸入外室。本技术所采用的技术方案是，一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，包括中空圆柱状的C/C罐，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，其特征在于，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。/n

【技术特征摘要】
1.一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统，其特征在于，包括中空圆柱状的C/C罐，C/C罐的上端设有T形的炉盖，C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳，水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间，且水冷套与C/C罐之间填充有密封结构。


2.根据权利要求1所述的一种双室化学气相...

【专利技术属性】
技术研发人员：关刚刚，李少华，赵亚国，
申请(专利权)人：西安西炉特种电炉有限公司，
类型：新型
国别省市：陕西;61