下载双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统的技术资料

文档序号:22928861

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本实用新型公开了一种双室化学气相沉积炉炉口内外室密封/隔绝系统,包括中空圆柱状的C/C罐,C/C罐的上端设有T形的炉盖,C/C罐的外壁从上至下分别依次同轴套接有水冷套和炉壳,水冷套恰好被卡在炉盖上端面与C/C罐的罐口之间,且水冷套与C/C罐...
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