用于移除遮罩清洁槽中的杂质的循环设备及方法技术

本发明专利技术涉及一种用于移除清洁槽中的杂质的循环设备及方法，该循环设备包括：清洁槽，该清洁槽用于存储清洁遮罩的清洁液；清洁液供给喷嘴，该清洁液供给喷嘴围绕清洁槽的下面设置，以将清洁液供应到清洁槽；外部存储罐，该外部存储罐围绕清洁槽的外周设置，以临时存储从清洁槽溢流的清洁液；辅助罐，该辅助罐设置在与清洁槽以定距离间隔开的外侧，以存储从清洁槽和外部存储罐排出的清洁液；以及循环供给装置，该循环供给装置用于将清洁槽、外部存储罐和辅助罐彼此连接，以循环清洁液。根据本发明专利技术，不再需要通过工人不方便地进行的手动清洁，完全保护他或她的健康避免人体暴露于有害的化学物质或杂质，并且其清洁时间短于手动清洁的时间。

Circulating equipment and method for removing impurities in the cleaning tank of the mask

【技术实现步骤摘要】
用于移除遮罩清洁槽中的杂质的循环设备及方法
本专利技术涉及一种用于移除遮罩清洁槽中的杂质的循环设备及方法，特别是涉及一种用于在清洁遮罩后能够更有效地移除留在清洁槽壁面和底部的杂质，并且清洗液能够反复循环利用的循环设备及方法。
技术介绍
随着先进的信息产业飞速发展，超高速信息传输提供了可传输且可接收文字、声音和视频的社会，而不受时间和地点的任何限制。CRT是信息传输的媒介基础，并通过许多发展，之后，信息传输的媒介已经快速地改变为大型平板显示器和小型显示器，该大型平板显示器如LCD、PDP、LED、UHD、OLED等，提供了人为因素以及高性能，该小型显示器如超高速移动通信终端、PDA和连网板，如此由于显示器使用方便，它们的需求的大幅度增加，使得显示器市场持续增长。基于平板显示器的高品质和低功耗，各种应用市场已经被进一步激活，特别是OLED(有机发光二极管)在LCD和PDP后作为下一代显示器已备受关注。1987年，伊士曼柯达公司(EastmanKodak)的Tang研发了OLED，OLED从层状结构中的有机物中发光，并且目前为止，已经提出许多OLED的技术。OLED的亮度、对比率、响应速度、色饱和度，和可见性优秀，提供高质量图像，并且OLED的制造工艺也简单，提供低的制造成本，因此将OLED称为“梦想的显示器”。然而，OLED的使用寿命短并且产量低，这在商业化中带来许多困难，并且由于与LCD相关的技术高速发展，OLED进入市场变得困难，这造成OLED的商业化被延迟。最近，在全球显示器行业中已经解决OLED的大多数技术问题，因此，韩国、日本和台湾的许多公司开始OLED的大量生产。OLED是自发光的显示器，用于形成通过阳极和阴极注入到有机薄膜中的电子和空穴的束缚状态的激子，当激子返回到稳定状态时，将产生的能量转变为光，从而发光。结构最简单的OLED包括用于注入电子的阴极、用于注入空穴的阳极以及在其上发光的有机薄膜，并且为了增强载荷子的再结合和发光特性，OLED还包括功能层，用于帮助电子或空穴的注入以及传输。有机薄膜成形技术包括：使用诸如FMM(精细金属遮罩)的遮罩进行沉积，使用激光进行压花，并使用液基墨水材料进行打印。如果使用遮罩进行沉积，在选择性地筛选基板的工艺中，将有机物均匀沉积在遮罩表面上，由此在给定的工艺时间过去之后，必定需要清洁遮罩。根据传统的遮罩清洁，典型地，将遮罩浸没在诸如DIW(去离子水)或烃类溶液的清洁液中。例如，如图1中所示，一般的浸没式遮罩清洁装置设置为允许遮罩20浸没在存储在清洁槽10的清洁液11中，并且当遮罩20具有较大的面积时，使用用于转移遮罩20的夹具30来移动遮罩20，使得遮罩20浸没在清洁槽10的清洁液11中。进一步地，在制造OLED显示器的工艺中，将用于沉积有机薄膜的遮罩浸没在清洁槽的清洁液中，然后对遮罩所在的清洁槽施加超声。如果给定的一段时间已经过去，进一步地，浸没式遮罩清洁装置通常周期性地对清洁槽执行清洁，以移除留在清洁槽中的杂质。在传统实践中，通过这种方法，清洁槽的清洁是通过在清洁槽中没有清洁液的状态下，凭借注射来清洁清洁槽的壁面来完成的。因此，清洁槽的清洁必须在将存储在清洁槽的清洁液作为废弃液体处理之后才进行，如此即使清洁液对有机物具有高溶解度，清洁液也必须作为废弃液体进行处理，以减少其颗粒，这导致时间和成本浪费。此外，如果通过蒸馏来再生清洁液的清洁方法/装置，经常将高价的清洁溶液作为废弃液进行处理并不常见，因此，上述清洁并不轻易被应用于清洁槽。
技术实现思路
技术问题因此，鉴于上述在现有技术中出现的问题，创造了本专利技术，本专利技术的目的在于提供一种用于移除遮罩清洁槽中的杂质的循环设备及方法，该循环设备及方法能够在清洁遮罩之后，更有效地移除留在清洁槽的壁面和底部的杂质。本专利技术的另一个目的在于提供一种用于移除遮罩清洁槽中的杂质的循环设备及方法，该设备及方法能够在清洁液没有被处理成废弃液时，反复循环利用存储在清洁槽中的清洁液。技术方案为了实现上述目的，根据本专利技术的一个方面，提供一种用于移除清洁槽中杂质的循环设备，该循环设备包括：用于存储清洁遮罩的清洁液的清洁槽；清洁液供给喷嘴，该清洁液供给喷嘴围绕清洁槽的下面设置，以将清洁液供应到清洁槽；外部存储罐，该外部存储罐围绕清洁槽的外周设置，以临时存储从清洁槽溢流的清洁液；辅助罐，该辅助罐设置在与清洁槽定距离间隔开的外侧，以存储从清洁槽和外部存储罐流出的清洁液；循环供给装置，该循环供给装置用于将清洁槽、外部存储罐和辅助罐彼此连接，以循环清洁液。根据本专利技术，理想地，该循环设备还包括注射喷嘴单元，该注射喷嘴单元设置在清洁槽上方，以将清洁液注射进清洁槽的内壁和底部。根据本专利技术，理想地，该注射喷嘴单元还包括第一喷嘴和第二喷嘴，该第一喷嘴和该第二喷嘴分别设置在清洁槽敞开的顶部上方的一侧和另一侧，并且该第一喷嘴和该第二喷嘴设置成朝向清洁槽的内壁向下倾斜。根据本专利技术，理想地，该第一喷嘴在上下方向上彼此间隔开，并且该第二喷嘴也在上下方向上彼此间隔开。根据本专利技术，理想地，第一喷嘴和第二喷嘴为可旋转的，以允许清洁液被注射到从清洁槽提升的遮罩上。根据本专利技术，理想地，从遮罩的上表面被提升并因此从清洁液中暴露的时间点开始，该第一喷嘴和该第二喷嘴将清洁液注射到遮罩上，直到遮罩的下表面离开其注射范围。根据本专利技术，理想地，注射喷嘴单元包括提升和移动构件，用于将第一喷嘴和第二喷嘴在上下方向上线性地移动。根据本专利技术，理想地，注射喷嘴单元还包括一对鼓风机，该鼓风机设置在第一喷嘴和第二喷嘴上方，以移除留在清洁槽的内壁上的清洁液。根据本专利技术，理想地，辅助罐的尺寸比清洁槽的清洁液存储空间大，或与清洁槽的清洁液存储空间相同。根据本专利技术，理想地，循环供给装置包括：第一循环供给装置和第二循环供给装置，该第一循环供给装置适于将存储在外部存储罐中的清洁液提供至清洁液供给喷嘴或辅助罐；该第二循环供给装置适于将存储在外部存储罐和清洁槽中的清洁液排干至辅助罐，然后将存储在辅助罐的清洁液提供至清洁槽的顶部或与清洁槽的下面连接的清洁液供给喷嘴。根据本专利技术，理想地，第一循环供给装置和第二循环供给装置具有第一过滤器和第二过滤器，该第一过滤器和该第二过滤器适于将清洁液中含有的杂质进行过滤，该第一过滤器和第二过滤器为多孔或编织的，以便移除固体颗粒。为了实现上述目的，根据本专利技术的另一方面，提供一种用于移除清洁槽中杂质的循环方法，该循环方法包括下列步骤：将清洁槽和外部存储罐中的清洁液排出至辅助罐；在清洁液被完全排出或正在排出的过程中，借助设置在清洁槽上的喷嘴，将清洁液注射进清洁槽的内壁；以及如果已经完成了对清洁槽内壁和底部的清洁，再次将存储在辅助罐中的清洁液转移至清洁槽。根据本专利技术，理想地，注射清洁液的步骤包括这样的步骤：如果清洁液在排出的同时注入，喷嘴根据清洗槽中降低的清洁液的高度下降。<本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于移除清洁槽中的杂质的循环设备，所述循环设备包括：/n清洁槽，所述清洁槽用于存储清洁遮罩的清洁液；/n清洁液供给喷嘴，所述清洁液供给喷嘴围绕清洁槽的下面设置，以将清洁液供应到清洁槽；/n外部存储罐，所述外部存储罐围绕清洁槽的外周设置，以临时存储从清洁槽溢流的清洁液；/n辅助罐，所述辅助槽设置在与所述清洁槽以定距离间隔开的外侧，以存储从所述清洁槽和所述外部存储罐排出的清洁液；以及/n循环供给装置，该循环供给装置用于将清洁槽、外部存储罐和辅助罐彼此连接，以循环清洁液。/n

【技术特征摘要】
20180612 KR 10-2018-00674201.一种用于移除清洁槽中的杂质的循环设备，所述循环设备包括：
清洁槽，所述清洁槽用于存储清洁遮罩的清洁液；
清洁液供给喷嘴，所述清洁液供给喷嘴围绕清洁槽的下面设置，以将清洁液供应到清洁槽；
外部存储罐，所述外部存储罐围绕清洁槽的外周设置，以临时存储从清洁槽溢流的清洁液；
辅助罐，所述辅助槽设置在与所述清洁槽以定距离间隔开的外侧，以存储从所述清洁槽和所述外部存储罐排出的清洁液；以及
循环供给装置，该循环供给装置用于将清洁槽、外部存储罐和辅助罐彼此连接，以循环清洁液。


2.根据权利要求1所述的循环设备，还包括注射喷嘴单元，所述注射喷嘴单元设置在清洁槽上方，以将清洁液注射进清洁槽的内壁和底部。


3.根据权利要求2所述的循环设备，其特征在于，所述注射喷嘴单元包括第一喷嘴和第二喷嘴，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴分别设置在清洁槽敞开的顶部的上方的一侧和另一侧，并且所述第一喷嘴和所述第二喷嘴设置成朝向所述清洁槽的内壁向下倾斜。


4.根据权利要求3所述的循环设备，其特征在于，所述第一喷嘴在上下方向上彼此间隔开，并且所述第二喷嘴在上下方向上彼此间隔开。


5.根据权利要求3所述的循环设备，其特征在于，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴为可旋转的，以允许清洁液被注射到从清洁槽中提升的遮罩上。


6.根据权利要求5所述的循环设备，其特征在于，从遮罩的上表面被提升并因此从清洁液中暴露的时间点开始，所述第一喷嘴和所述第二喷嘴将清洁液注射到遮罩上，直到遮罩的下表面离开其注射范围。


7.根据权利要求3所述的循环设备，其特征在于，所述注射喷嘴单元包括提升和移动构件，用于将所述第一喷嘴和所述第二喷嘴在上下方向上线性地移动。


8.根据权利要求7所述的循环设备，其特征在于，所述注射喷嘴单元还包括一对鼓风机，所述鼓风机设置在第一喷嘴和第二喷嘴上方，以移除...

【专利技术属性】
技术研发人员：尹沧老，金明基，
申请(专利权)人：得八益十意恩至有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR