晶圆槽深检测仪器制造技术

本实用新型专利技术公开了一种晶圆槽深检测仪器，具有基座，所述基座的工作面上具有大理石平台，所述大理石平台上设有X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件带动产品检测平台在大理石平台的X轴上移动，所述Y轴移动组件带动所述产品检测平台在Y轴上移动，位于所述基座的一端竖直设置Z轴滑动组件，所述Z轴滑动组件上的丝杆传动组件与固定架连接，所述固定架的底部连接有固定冶具，本实用新型专利技术的技术方案其自动化程度高，可以读数且精准度高，提高了检测的精准度。

Wafer groove depth detector

【技术实现步骤摘要】
晶圆槽深检测仪器
本技术涉及显微镜的
，尤其是涉及一种晶圆槽深检测仪器。
技术介绍
现有的晶圆槽深的检测仪器其结构简单，定位较差，价格较高且自动化程度低等一系列问题。需要采用一种性价比高的一种晶圆槽深检测仪器。
技术实现思路
本技术的目的是解决上述提出的问题，提供一种结构简单、提高精准度的一种晶圆槽深检测仪器。本技术的目的是以如下方式实现的：一种晶圆槽深检测仪器，具有基座，所述基座的工作面上具有大理石平台，所述大理石平台上设有X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件带动产品检测平台在大理石平台的X轴上移动，所述Y轴移动组件带动所述产品检测平台在Y轴上移动，位于所述基座的一端竖直设置Z轴滑动组件，所述Z轴滑动组件上的丝杆传动组件与固定架连接，所述固定架的底部连接有固定冶具。更优化方案是所述的晶圆槽深检测仪器，所述固定冶具的中部套设有垂直分布的镜头。更优化方案是所述的晶圆槽深检测仪器，所述丝杆传动组件的顶端连接有传动电机，所述传动电机用于提供电力。更优化方案是所述的晶圆槽深检测仪器，所述Z轴本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆槽深检测仪器，其特征在于：具有基座(1)，所述基座(1)的工作面上具有大理石平台(4)，所述大理石平台(4)上设有X轴移动组件(2)和Y轴移动组件(3)，所述X轴移动组件(2)带动产品检测平台(5)在大理石平台(4)的X轴上移动，所述Y轴移动组件(3)带动所述产品检测平台(5)在Y轴上移动，位于所述基座(1)的一端竖直设置Z轴滑动组件(6)，所述Z轴滑动组件(6)上的丝杆传动组件(7)与固定架(8)连接，所述固定架(8)的底部连接有固定冶具(9)。/n

【技术特征摘要】
1.一种晶圆槽深检测仪器，其特征在于：具有基座(1)，所述基座(1)的工作面上具有大理石平台(4)，所述大理石平台(4)上设有X轴移动组件(2)和Y轴移动组件(3)，所述X轴移动组件(2)带动产品检测平台(5)在大理石平台(4)的X轴上移动，所述Y轴移动组件(3)带动所述产品检测平台(5)在Y轴上移动，位于所述基座(1)的一端竖直设置Z轴滑动组件(6)，所述Z轴滑动组件(6)上的丝杆传动组件(7)与固定架(8)连接，所述固定架(8)的底部连接有固定冶具(9)。


2.根据权利要求1所述的晶圆槽深检测仪器，其特征在于：所述固定冶具(9)的中部套设有垂直分布的镜头(15)。


3.根据权利要求2所述的晶圆槽...

【专利技术属性】
技术研发人员：马观岚，
申请(专利权)人：江苏才道精密仪器有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏;32