【技术实现步骤摘要】
本专利技术涉及机械测试，具体为一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备。
技术介绍
1、半导体行业一直在不断电发展和创新，要求对产品进行更高效、更准确的测试和测量。半导体探针台作为一种用于测试和测量的关键设备，起着重要的作用。然而，传统的手动操作和部分自动化探针台在自动化程度、适应性和精确性等方面存在一些局限性。现有自动化探针台利用机械系统和软件控制实现自动定位和探测功能，并通过减少人为因素的干预提高测试的一致性和效率。然而现有的自动化探针台仍然存在一些问题，并不能完全满足市场需求；
2、现有技术中，已经提出了一部分解决方案，例如有一种自动化探针台系统，它利用机械臂和图像处理实现自动的样品定位和探测。该系统通过图像识别和算法分析，将样品的信息传递给机械臂，从而实现自动定位和探测。尽管该技术方案实现了一定程度上的自动化，但仍存在一些限制。例如对于非标准样品的适应性交叉，无法适应多种形状、尺寸和材料样品的测试需求，此外，该系统在定位精度和准确性方面仍有提升的空间，对于高精度测试需求，需要更精准的定位和稳定性；
3、并且现有技术在适应性方面存在问题。由于样品形状、尺寸和材料的多样性，现有技术往往无法适应非标准样品的测试需求。因为现有技术的样品定位和探测主要依赖于图像处理技术，对于形状复杂、尺寸超出标准范围或材料特殊的样品，图像识别和算法分析很难准确判断其位置和特征，为此，我们提出一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备。
技术实现思路
1、本专利技术的目的
2、为实现上述目的，本专利技术提供如下技术方案：一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，包括设备底座、机架、缓冲底座、第一y轴直线电机、第一x轴直线电机、检测组件、样品台和移动机构，所述机架的顶部固定安装有多组缓冲底座，所述缓冲底座的顶部固定安装有设备底座，所述设备底座的顶部固定安装有两组y轴方向设置的第一y轴直线电机，所述第一y轴直线电机的顶部固定安装有x轴方向设置的第一x轴直线电机，所述检测组件固定安装于第一x轴直线电机上，所述样品台固定安装于设备底座上，所述设备底座的顶部且位于样品台的外部固定安装有移动机构。
3、优选的，所述检测组件包括温控模块、显微光学模块、第二x轴直线电机、第二y轴直线电机和探针卡部分，所述探针卡部分安装于第二x轴直线电机和第二y轴直线电机上，所述温控模块和显微光学模块固定安装于第二y轴直线电机上，所述第二y轴直线电机与第二x轴直线电机固定连接。
4、优选的，所述探针卡部分包括探针载板、安装板、销轴和探针卡，所述探针载板的一侧固定连接有安装板，所述安装板的一侧设置有第一载板，所述探针卡的一侧固定连接有探针卡治具，所述探针卡治具的一侧固定连接有第一探针卡载板，所述第一探针卡载板的一侧通过调节螺杆固定连接有轴套定位块，所述轴套定位块和销轴与第一探针卡载板连接，所述安装板的一侧固定连接有第一连接块，所述第一连接块与轴套定位块通过压板连接，所述安装板的一侧固定连接有滑块支架，所述第一载板上固定安装有传感器，所述第一探针卡载板与第一载板之间设置有调重块。
5、优选的，所述移动机构包括垫块、第一导轨定位座和第一探针台滑板，所述设备底座上通过多组垫块固定连接有两组第一导轨定位座，所述第一导轨定位座的一侧固定安装有第一限位传感器和遮光片，所述第一导轨定位座上滑动连接有两组第一滑块，所述第一滑块的顶部固定连接有第一探针台滑板，所述第一探针台滑板的顶部一侧固定连接有第一把手，所述第一导轨定位座上滑动连接有第二滑块，所述第二滑块的顶部固定安装有第二探针台载板，所述第二滑块上固定安装有螺纹把手，所述第一探针台滑板的一侧固定安装有快速接头，所述第一导轨定位座上安装有薄型气缸。
6、优选的，所述样品台包括安装台和电缸固定块，所述安装台上安装有第一圆弧导轨和第二圆弧导轨，所述电缸固定块上安装有电动缸，所述第一圆弧导轨的内部设置有第一转轴，所述电动缸的输出端与第一转轴固定连接，所述第二圆弧导轨上设置有第二转轴，所述安装台上设置有探针固定片，所述安装台上设置有chuck板，所述chuck板上设置有加热块，所述安装台上的一侧边缘处设置有第三转轴，所述安装台上以及chuck板的背面安装有多组真空逻辑阀。
7、优选的，所述第一探针台滑板的两侧均固定安装有第二导轨定位座，所述第二导轨定位座上设置有管接固定块。
8、优选的，两组所述第一探针台滑板上分别固定安装有五组探针，所述第二探针台载板上方安装有一组探针。
9、优选的，所述第一导轨定位座的两侧均固定连接有限位块，所述第一把手的一侧设置有与薄型气缸连接的气控阀。
10、与现有技术相比，本专利技术具有以下有益效果：
11、（1）本专利技术设置的检测组件上设置有可以显微镜和温度系统能够分别移动去适应多种变化的被测物品；
12、（2）而设置的移动机构可以安装多组不同的探针台，而需要安装的探针尺寸可以根据使用需求去更换探针台，多个探针台可以尽可能的满足被测需求；
13、（3）并且设置的样品台可以提供多尺寸的真空吸附，保证被测物品被稳定固定在样品台上，而样品台上安装完探针后能够稳定测量，同时样品台可以提供一定行程的旋转，能够减少探针台安装的次数、提高测量工件的多样性。
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1.一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，包括设备底座（1）、机架（2）、缓冲底座（3）、第一Y轴直线电机（4）、第一X轴直线电机（5）、检测组件（6）、样品台（7）和移动机构（8），其特征在于：所述机架（2）的顶部固定安装有多组缓冲底座（3），所述缓冲底座（3）的顶部固定安装有设备底座（1），所述设备底座（1）的顶部固定安装有两组Y轴方向设置的第一Y轴直线电机（4），所述第一Y轴直线电机（4）的顶部固定安装有X轴方向设置的第一X轴直线电机（5），所述检测组件（6）固定安装于第一X轴直线电机（5）上，所述样品台（7）固定安装于设备底座（1）上，所述设备底座（1）的顶部且位于样品台（7）的外部固定安装有移动机构（8）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述检测组件（6）包括温控模块（22）、显微光学模块（23）、第二X轴直线电机（24）、第二Y轴直线电机（25）和探针卡部分（26），所述探针卡部分（26）安装于第二X轴直线电机（24）和第二Y轴直线电机（25）上，所述温控模块（22）和显微光学模块（23）固定安装
3.根据权利要求2所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述探针卡部分（26）包括探针载板（9）、安装板（10）、销轴（16）和探针卡（19），所述探针载板（9）的一侧固定连接有安装板（10），所述安装板（10）的一侧设置有第一载板（11），所述探针卡（19）的一侧固定连接有探针卡治具（18），所述探针卡治具（18）的一侧固定连接有第一探针卡载板（17），所述第一探针卡载板（17）的一侧通过调节螺杆（20）固定连接有轴套定位块（13），所述轴套定位块（13）和销轴（16）与第一探针卡载板（17）连接，所述安装板（10）的一侧固定连接有第一连接块（12），所述第一连接块（12）与轴套定位块（13）通过压板（14）连接，所述安装板（10）的一侧固定连接有滑块支架（15），所述第一载板（11）上固定安装有传感器（21），所述第一探针卡载板（17）与第一载板（11）之间设置有调重块（53）。
4.根据权利要求3所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述移动机构（8）包括垫块（27）、第一导轨定位座（28）和第一探针台滑板（30），所述设备底座（1）上通过多组垫块（27）固定连接有两组第一导轨定位座（28），所述第一导轨定位座（28）的一侧固定安装有第一限位传感器（34）和遮光片（35），所述第一导轨定位座（28）上滑动连接有两组第一滑块（29），所述第一滑块（29）的顶部固定连接有第一探针台滑板（30），所述第一探针台滑板（30）的顶部一侧固定连接有第一把手（38），所述第一导轨定位座（28）上滑动连接有第二滑块（31），所述第二滑块（31）的顶部固定安装有第二探针台载板（32），所述第二滑块（31）上固定安装有螺纹把手（33），所述第一探针台滑板（30）的一侧固定安装有快速接头（37），所述第一导轨定位座（28）上安装有薄型气缸（36）。
5.根据权利要求4所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述样品台（7）包括安装台（42）和电缸固定块（46），所述安装台（42）上安装有第一圆弧导轨（44）和第二圆弧导轨（45），所述电缸固定块（46）上安装有电动缸（47），所述第一圆弧导轨（44）的内部设置有第一转轴（48），所述电动缸（47）的输出端与第一转轴（48）固定连接，所述第二圆弧导轨（45）上设置有第二转轴（49），所述安装台（42）上设置有探针固定片（52），所述安装台（42）上设置有chuck板（43），所述chuck板（43）上设置有加热块（51），所述安装台（42）上的一侧边缘处设置有第三转轴（50），所述安装台（42）上以及chuck板（43）的背面安装有多组真空逻辑阀（54）。
6.根据权利要求5所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述第一探针台滑板（30）的两侧均固定安装有第二导轨定位座（39），所述第二导轨定位座（39）上设置有管接固定块（40）。
7.根据权利要求5所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：两组所述第一探针台滑板（30）上分别固定安装有五组探针，所述第二探针台载板（32）上安装有一组探针。
8.根据权利要求5所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述第一导轨定位座（28）的两侧均固定连接有限位块（41...
【技术特征摘要】
1.一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，包括设备底座（1）、机架（2）、缓冲底座（3）、第一y轴直线电机（4）、第一x轴直线电机（5）、检测组件（6）、样品台（7）和移动机构（8），其特征在于：所述机架（2）的顶部固定安装有多组缓冲底座（3），所述缓冲底座（3）的顶部固定安装有设备底座（1），所述设备底座（1）的顶部固定安装有两组y轴方向设置的第一y轴直线电机（4），所述第一y轴直线电机（4）的顶部固定安装有x轴方向设置的第一x轴直线电机（5），所述检测组件（6）固定安装于第一x轴直线电机（5）上，所述样品台（7）固定安装于设备底座（1）上，所述设备底座（1）的顶部且位于样品台（7）的外部固定安装有移动机构（8）。
2.根据权利要求1所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述检测组件（6）包括温控模块（22）、显微光学模块（23）、第二x轴直线电机（24）、第二y轴直线电机（25）和探针卡部分（26），所述探针卡部分（26）安装于第二x轴直线电机（24）和第二y轴直线电机（25）上，所述温控模块（22）和显微光学模块（23）固定安装于第二y轴直线电机（25）上，所述第二y轴直线电机（25）与第二x轴直线电机（24）固定连接。
3.根据权利要求2所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述探针卡部分（26）包括探针载板（9）、安装板（10）、销轴（16）和探针卡（19），所述探针载板（9）的一侧固定连接有安装板（10），所述安装板（10）的一侧设置有第一载板（11），所述探针卡（19）的一侧固定连接有探针卡治具（18），所述探针卡治具（18）的一侧固定连接有第一探针卡载板（17），所述第一探针卡载板（17）的一侧通过调节螺杆（20）固定连接有轴套定位块（13），所述轴套定位块（13）和销轴（16）与第一探针卡载板（17）连接，所述安装板（10）的一侧固定连接有第一连接块（12），所述第一连接块（12）与轴套定位块（13）通过压板（14）连接，所述安装板（10）的一侧固定连接有滑块支架（15），所述第一载板（11）上固定安装有传感器（21），所述第一探针卡载板（17）与第一载板（11）之间设置有调重块（53）。
4.根据权利要求3所述的一种半导体显示屏电学特性测试半自动探针台设备，其特征在于：所述移动机构（...
【专利技术属性】
技术研发人员：马永伟，尹洪伟，马观岚，
申请(专利权)人：江苏才道精密仪器有限公司，
类型：发明
国别省市：
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