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本实用新型公开了一种晶圆槽深检测仪器，具有基座，所述基座的工作面上具有大理石平台，所述大理石平台上设有X轴移动组件和Y轴移动组件，所述X轴移动组件带动产品检测平台在大理石平台的X轴上移动，所述Y轴移动组件带动所述产品检测平台在Y轴上移动，位...
该专利属于江苏才道精密仪器有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏才道精密仪器有限公司授权不得商用。

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