用于处理基板的装置和方法制造方法及图纸

一种使用基板处理装置处理基板的方法，所述基板处理装置包括处理模块和索引模块，所述索引模块在容器和所述处理模块之间传送基板，其中所述处理模块中设置有多个处理腔室和主传送机械手，所述索引模块中设置有容器安装台和在所述容器和所处理模块之间传送基板的索引机械手，所述方法包括在所述基板处理装置中发生电源故障时执行电源故障后处理操作，以及其后停止所述基板处理装置的操作。当所述主传送机械手或所述索引机械手在电源故障的情况下传送所述基板时，所述电源故障后处理操作包括继续维持所述主传送机械手或所述索引机械手的传送直到完成所述传送的操作。

【技术实现步骤摘要】
用于处理基板的装置和方法相关申请的交叉引用本申请要求于2018年6月7日提交韩国工业产权局、申请号为10-2018-0065590的韩国专利申请的优先权和权益，其全部内容通过引用结合在本申请中。
本文中描述的本专利技术构思的实施方式涉及一种用于处理基板的装置和方法。
技术介绍
为了制造半导体设备，执行例如光刻、蚀刻、灰化、离子注入、薄膜沉积、清洁等不同工艺以在基板上形成所需的图案。然而，在处理期间由于意想不到的原因发生电源故障或火灾的情况下，制造设备(fabricationfacility,FAB)中的所有装置停止操作，使得室温下的空间中的基板被损坏。此外，工艺进程中的机械手也停止操作，并因此在随后电源故障解除时难以执行后处理。
技术实现思路
本专利技术构思的实施方式提供一种基板处理装置以及当发生紧急情况时通过执行后处理来保护基板和设备的方法。本专利技术构思的实施方式提供一种基板处理装置以及当发生紧急情况时通过执行后处理，以在恢复紧急情况时，容易地执行后处理的方法。根据一示例性的实施方式，一种使用基板处理装置处理基板的方法，所述基板处理装置包括处理基板的处理模块，以及索引模块，其设置在所述处理模块附近并在其中容纳所述基板的容器和所述处理模块之间传送所述基板，所述方法包括在所述基板处理装置中发生电源故障时，执行电源故障后处理操作，以及其后停止所述基板处理装置的操作。所述处理模块中设置有处理所述基板的多个处理腔室，以及在所述多个处理腔室之间传送所述基板的主传送机械手；所述索引模块中设置有所述容器放置在其上的容器安装台，以及在所述容器和处理模块之间传送所述基板的索引机械手。当所述主传送机械手或所述索引机械手在所述电源故障的情况下传送所述基板时，所述电源故障后处理操作可包括继续维持所述主传送机械手或所述索引机械手的传送直到完成所述传送的操作。可允许所述主传送机械手或所述索引机械手的传送以完成预定的传送循环。完成所述传送之后，可将所述主传送机械手或所述索引机械手移动至安全位置。在本专利技术构思中，所述电源故障后处理操作可包括在所述电源故障的情况下门打开时，关闭放置在所述容器安装台上的所述容器的门的操作。所述电源故障后处理操作可包括在电源故障的情况下在待机时间维持控制器的电力，以及在维持电源故障直到待机时间过去时中断所述控制器的电力的操作。在所述基板处理方法中，通过使用电源故障检测传感器来确定电源故障是否发生。根据示例性实施方式，用于处理基板的装置包括处理模块，其具有多个处理腔室；盒式容器，待经受处理的所述基板存储在盒式容器中；索引模块，其在所述盒式容器和所述处理模块之间传送所述基板；主控制器，其执行所述处理的总控制；机械手控制器，其控制在所述盒式容器和所述处理模块之间传送所述基板的索引机械手，以及在所述处理模块的所述多个处理腔室之间传送所述基板的主传送机械手；腔室控制器，其控制所述处理模块中的所述处理腔室；以及应急单元，当发生紧急情况时，其控制待执行的后处理操作。所述应急单元可包括电源故障检测传感器。当所述电源故障检测传感器感应到电源故障时，所述应急单元控制所述机械手控制器在完成所述索引机械手或所述主传送机械手的传送循环之后，停止所述索引机械手或所述主传送机械手。在通过所述电源故障检测传感器感应到电源故障的时候，在所述盒式容器的门打开时，所述应急单元可执行控制以关闭所述盒式容器的门。当所述电源故障检测传感器检测到电源故障时，所述应急单元可控制所述腔室控制器以关闭所述处理模块的液体处理腔室中的阀门。当所述电源故障检测传感器检测到电源故障时，所述应急单元可控制所述腔室控制器以将所述处理模块的热处理腔室中的加热单元上的所述基板移动至冷却单元。所述应急单元可执行控制以在电源故障的情况下在待机时间维持所述主控制器的电力，以及在维持电源故障直到待机时间过去时中断所述主控制器的电力的操作。附图说明参照以下附图，从以下描述中，上述和其他目的及特征将变得显而易见，除非另有说明，否则相同的附图标记在各个附图中表示相同部件，并且其中：图1为示出了根据本专利技术构思的实施方式的基板处理装置的示意性立体图；图2为示出了图1的涂覆块或显影块的基板处理装置的剖视图；图3为示出了图1的基板处理装置的平面图；图4为示出了图3的热处理腔室的实施例的示意性平面图；图5为示出了图4的热处理腔室的前视图；图6为示出了图3的液体处理腔室的实施例的示意图；图7为示出了本专利技术构思的基板处理装置的配置的示意图；图8至图12为顺序地示出了根据本专利技术构思的在电源故障的情况下的机械手控制方法的视图；和图13和图14为示出了根据本专利技术构思的在电源故障的情况下的基板处理方法的流程图。具体实施方式下文中，将参考附图详细描述本专利技术构思的实施方式，使得本专利技术构思所属领域的技术人员可以容易地实现本专利技术构思。然而，本专利技术构思可以以各种不同的形式执行，并不限于本文中描述的实施方式。此外，在描述本专利技术构思的实施方式时，当与已知的功能和配置可能使本专利技术构思的主体难以理解时，与他们相关的详细描述将被省略。另外，在整个附图中，执行相似的功能和操作的部件具有相同的附图标记。说明书中的术语“包括(include)”和“包含(comprise)”为“开放式”表述，仅为了说明存在相应的组件，并且除非另有特别的说明，否则不排除但可能包括额外的组件。特别地，应当理解的是，术语“包括”、“包含”和“具有”，在本文中使用时，特指存在所述特征、整数、步骤、操作、组件和/或部件，但不排除存在或增加一个或多个其他特征、整数、步骤、操作、组件、部件和/或其组。诸如第一、第二等的术语可以用于描述不同的组件，但该组件不应受术语的限制。术语可以仅用于区别一个组件与其他组件。例如，在不脱离本专利技术构思的范围的情况下，第一组件可以被称为第二组件，相类似地，第二组件也可以被称为第一组件。除非另有说明，否则单数形式的术语可以包括复数形式。此外，在附图中，组件的形状和尺寸可被夸大以为了清楚的说明。在整个说明书中，术语，组件“～单元”指的是软件组件或硬件部件，例如FPGA或ASIC，并执行至少一种功能和操作。然而，应当理解的是，组件“～单元”不限于软件组件或硬件组件。组件“～单元”可以在能够通过地址指定的存储介质中执行。组件“～单元”还可以配置为再生一个或多个处理器。例如，组件“～单元”可以包括各种类型的组件(例如，软件组件、面向对象的软件组件、类组件和任务组件)、工艺、功能、属性、程序、子程序、程序代码的片段、驱动器、固件、微代码、电路、数据、数据库、数据结构、表、阵列和变量。由组件和组件“～单元”提供的功能可以通过多个组件和组件“～单元”来分别执行，并且还可以与其他额外的组件集成。图1为示出了根据本专利技术构思的实施方式的基板处理装置的示意性立体图。图2为示出了图1的涂覆块本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种使用基板处理装置处理基板的方法，所述基板处理装置包括处理模块，其配置为处理所述基板，以及索引模块，其设置在所述处理模块附近并配置为在其中容纳所述基板的容器和所述处理模块之间传送所述基板，其中，所述处理模块中设置有多个处理腔室，其配置为处理所述基板，以及主传送机械手，其配置为在所述多个处理腔室之间传送所述基板，所述索引模块中设置有容器安装台，所述容器放置在其上，以及索引机械手，其配置为在所述容器和处理模块之间传送所述基板，其中，所述方法包括：/n在所述基板处理装置中发生电源故障时，执行电源故障后处理操作，以及其后停止所述基板处理装置的操作。/n

【技术特征摘要】
20180607 KR 10-2018-00655901.一种使用基板处理装置处理基板的方法，所述基板处理装置包括处理模块，其配置为处理所述基板，以及索引模块，其设置在所述处理模块附近并配置为在其中容纳所述基板的容器和所述处理模块之间传送所述基板，其中，所述处理模块中设置有多个处理腔室，其配置为处理所述基板，以及主传送机械手，其配置为在所述多个处理腔室之间传送所述基板，所述索引模块中设置有容器安装台，所述容器放置在其上，以及索引机械手，其配置为在所述容器和处理模块之间传送所述基板，其中，所述方法包括：
在所述基板处理装置中发生电源故障时，执行电源故障后处理操作，以及其后停止所述基板处理装置的操作。


2.根据权利要求1所述的方法，其中，当所述主传送机械手或所述索引机械手在所述电源故障的情况下传送所述基板时，所述电源故障后处理操作包括继续维持所述主传送机械手或所述索引机械手的传送直到完成所述传送的操作。


3.根据权利要求2所述的方法，其中，允许所述主传送机械手或所述索引机械手的传送以完成预定的传送循环。


4.根据权利要求3所述的方法，其中，完成所述传送之后，将所述主传送机械手或所述索引机械手移动至安全位置。


5.根据权利要求1所述的方法，其中，所述电源故障后处理操作包括在所述电源故障的情况下门打开时，关闭放置在所述容器安装台上的所述容器的所述门的操作。


6.根据权利要求1所述的方法，其中，所述电源故障后处理操作包括在所述电源故障的情况下在待机时间维持控制器的电力，以及在维持所述电源故障直到所述待机时间过去时中断所述控制器的电力的操作。


7.根据权利要求1至6中任一项所述的方法，其中，通过使用电源故障检测传感器来确定所述电源故障是否发生。


8.一种用于处理基板的装置，其中，所述装置包括：
处理模块，其具有多个处理腔室；
盒式容器，待经受处理的所述基板存储在所述盒式容器中；
索...

【专利技术属性】
技术研发人员：姜虎信，姜栋然，吴斗荣，
申请(专利权)人：细美事有限公司，
类型：发明
国别省市：韩国;KR