一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，包括装卡环、装卡板、球头螺杆、球头连接螺母；本装卡装置在使用时，装卡板与三瓣石墨毛坯的接触为圆弧面接触，接触面积远远大于现有装卡装置的螺栓端部与三瓣石墨毛坯的接触面积；同时装卡板在球头螺杆的旋转作用下，可沿着装卡板导杆与装卡环导向孔的配合做纯径向运动，完全避免了在装卡固定三瓣石墨毛坯时装卡板的旋转运动；因此本装卡装置完全解决了以往的三瓣石墨坩埚成品表面残留加工缺陷的问题，提高了三瓣石墨坩埚的最终成品质量。
A clamping device for turning three graphite crucible
【技术实现步骤摘要】
一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置
本技术涉及单晶硅拉伸用石墨坩埚加工
，具体涉及一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置。
技术介绍
现有的单晶硅拉伸用石墨坩埚为三瓣拼接式结构，为防止单晶硅拉伸生产时出现液态硅材料出现漏液问题，对石墨坩埚三瓣拼合的精度有较高的要求；为达到此要求，三瓣石墨坩埚的生产采用预先加工出三瓣石墨毛坯，将三瓣石墨毛坯拼合成整体，用装卡装置固定后进行加工；传统的装卡装置是采用周向均匀设置螺纹孔的装卡环，然后通过螺纹孔用螺栓直接压紧在三瓣石墨坩埚毛坯的外圆面；但此装置在装卡固定三瓣石墨坩埚毛坯的过程中，存在螺栓端部面积小、螺栓端部与三瓣石墨毛坯表面存在相对旋转运动的问题，因此螺栓端部会顶伤三瓣石墨坩埚毛坯的表面，造成三瓣石墨坩埚成品的表面残留有加工缺陷，最终影响了三瓣石墨坩埚成品的质量。
技术实现思路
为了克服
技术介绍
中的不足，本技术公开了一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置；本装卡装置包括装卡环、装卡板、球头螺杆、球头连接螺母；所述装卡环上均匀设置有装卡环螺纹孔和装卡环导向孔；装卡板上设置有装卡板球头座和装卡板导杆；球头螺杆设置有球头；所述装卡板的装卡板导杆设置在装卡环的装卡环导向孔中，球头螺杆设置在装卡环的装卡环螺纹孔中，球头螺杆的球头设置在装卡板球头座中，球头连接螺母将装卡板与球头螺杆连接在一起；装卡装置在使用时，装卡板与三瓣石墨坩埚毛坯的接触为圆弧面接触，接触面积远远大于现有装卡装置的螺栓端部与三瓣石墨坩埚毛坯的接触面积；同时装卡板在球头螺杆的旋转作用下，可沿着装卡板导杆与装卡环导向孔的配合做纯径向运动，完全避免了装卡板的旋转运动；因此本装卡装置完全解决了以往的三瓣石墨坩埚成品表面残留加工缺陷的问题，提高了三瓣石墨坩埚的最终成品质量。为了实现所述技术目的，本技术采用如下技术方案：一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，包括装卡环、装卡板、球头螺杆、球头连接螺母；所述装卡环为环状，沿装卡环周向均匀设置有若干个装卡环螺纹孔，所述每个装卡环螺纹孔两侧对称设置有两个装卡环导向孔；所述装卡板包括装卡板本体、装卡板球头座、装卡板导杆，装卡板本体为圆弧板状，装卡板本体外圆周上设置有装卡板球头座，装卡板球头座为短圆柱状，短圆柱外圆设置有连接螺纹，短圆柱端面设置有球形凹槽，装卡板球头座两侧对称设置有装卡板导杆；所述装卡板的装卡板导杆设置在装卡环导向孔中；所述球头螺杆一端设置有球头，另一端设置有锁紧头，球头螺杆的球头设置在装卡板球头座的球形凹槽中，球头螺杆的螺纹与装卡环的装卡环螺纹孔啮合；所述球头连接螺母内侧上部设置有球形面，球头连接螺母设置在装卡板的装卡板球头座处。优选的，所述装卡板内侧圆弧直径等于需装卡加工的三瓣石墨坩埚成品的外径，保证装卡板与三瓣石墨坩埚成品的外圆的接触面价最大。优选的，所述装卡环的装卡环导向孔为长槽孔；装卡环在装卡三瓣石墨毛坯时，因三瓣石墨毛坯的外径大于三瓣石墨坩埚成品的外径，因此装卡环会发生弹性变形，长槽孔用于装卡环发生弹性变形时导引装卡板导杆的摆动。优选的，所述装卡板的装卡板球头座球形凹槽与球头螺杆的球头之间设置有间隙；所述球头连接螺母的球形面与球头螺杆的球头之间设置有间隙；使球头螺杆锁紧装卡板时，球头螺杆的球头与装卡板球头座之间产生滑动。优选的，所述装卡板的装卡板球头座的球形凹槽与球头螺杆的球头之间、球头连接螺母的球形面与球头螺杆的球头之间设置有润滑油，用于减小球头螺杆锁紧装卡板时，球头螺杆的球头与装卡板球头座之间的摩擦力。优选的，所述装卡板的弧形两端设置有R角，用于在精加工时，防止装卡板在装卡三瓣石墨坩埚时，划伤三瓣石墨坩埚成品的外表面。优选的，所述装卡板本体与装卡板导杆之间通过螺纹连接、焊接固定。优选的，所述球头连接螺母与装卡板的装卡板球头座螺纹旋紧后，球头连接螺母与装卡板通过点焊固定，防止三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置在使用过程中发生球头连接螺母松动脱落。由于采用如上所述的技术方案，本技术具有如下有益效果：本技术公开的一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，包括装卡环、装卡板、球头螺杆、球头连接螺母；所述装卡环上均匀设置有装卡环螺纹孔和装卡环导向孔；装卡板上设置有装卡板球头座和装卡板导杆；球头螺杆设置有球头；所述装卡板的装卡板导杆设置在装卡环的装卡环导向孔中，球头螺杆设置在装卡环的装卡环螺纹孔中，球头螺杆的球头设置在装卡板球头座中，球头连接螺母将装卡板与球头螺杆连接在一起；本装卡装置在使用时，装卡板与三瓣石墨坩埚毛坯的接触为圆弧面接触，接触面积远远大于现有装卡装置的螺栓端部与三瓣石墨坩埚毛坯的接触面积；同时装卡板在球头螺杆的旋转作用下，可沿着装卡板导杆与装卡环导向孔的配合做纯径向运动，完全避免了在装卡固定三瓣石墨坩埚毛坯时装卡板的旋转运动；因此本装卡装置完全解决了以往的三瓣石墨坩埚成品表面残留加工缺陷的问题，提高了三瓣石墨坩埚的最终成品质量。附图说明图1为三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置使用状态示意图；图2为三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置示意图；图3为三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置剖面示意图；图4为装卡环示意图；图5为装卡板示意图；图6为球头螺杆示意图；图7为球头连接螺母剖面示意图。图中：1、装卡环；101、装卡环螺纹孔；102、装卡环导向孔；2、装卡板；201、装卡板本体；202、装卡板球头座；203、装卡板导杆；3、球头螺杆；301、球头；302、锁紧头；4、球头连接螺母；401、球形面。具体实施方式通过下面的实施例可以详细的解释本技术，公开本技术的目的旨在保护本技术范围内的一切技术改进。一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，包括装卡环1、装卡板2、球头螺杆3、球头连接螺母4；所述装卡环1为环状，沿装卡环1周向均匀设置有若干个装卡环螺纹孔101，所述每个装卡环螺纹孔101两侧对称设置有两个装卡环导向孔102，装卡环导向孔102为长槽孔；所述装卡板2包括装卡板本体201、装卡板球头座202、装卡板导杆203，装卡板本体201为圆弧板状，装卡板本体201内侧圆弧直径等于需装卡加工的三瓣石墨坩埚成品的外径，且装卡板本体201弧形两端设置有R角；装卡板本体201外圆周上设置有装卡板球头座202，装卡板球头座202为短圆柱状，短圆柱外圆设置有连接螺纹，短圆柱端面设置有球形凹槽，装卡板球头座202两侧对称设置有装卡板导杆203，装卡板本体201与装卡板导杆203之间通过螺纹连接、焊接固定；所述装卡板2的装卡板导杆203设置在装卡环1的装卡环导向孔102中；所述球头螺杆3一端设置有球头301，另一端设置有锁紧头302，球头螺杆3的球头301设置在装卡板2的装卡板球头座202的球形凹槽中，球头螺杆3的螺纹与装卡环1的装卡环螺纹孔101啮合；所述球头连接螺母4内侧上部设置有球形面401，球头连接螺母4设置在装卡板2的装卡板球头座202处，球头连接螺母4与装卡板2的装卡板球头座202螺纹旋紧后，球头连接螺母4与装卡本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，其特征是：包括装卡环（1）、装卡板（2）、球头螺杆（3）、球头连接螺母（4）；所述装卡环（1）为环状，沿装卡环（1）周向均匀设置有若干个装卡环螺纹孔（101），所述每个装卡环螺纹孔（101）两侧对称设置有两个装卡环导向孔（102）；所述装卡板（2）包括装卡板本体（201）、装卡板球头座（202）、装卡板导杆（203），装卡板本体（201）为圆弧板状，装卡板本体（201）外圆面上设置有装卡板球头座（202），装卡板球头座（202）为短圆柱状，短圆柱外圆设置有连接螺纹，短圆柱端面设置有球形凹槽，装卡板球头座（202）两侧对称设置有装卡板导杆（203）；所述装卡板（2）的装卡板导杆（203）设置在装卡环（1）的装卡环导向孔（102）中；所述球头螺杆（3）一端设置有球头（301），另一端设置有锁紧头（302），球头螺杆（3）的球头（301）设置在装卡板（2）的装卡板球头座（202）的球形凹槽中，球头螺杆（3）的螺纹与装卡环（1）的装卡环螺纹孔（101）啮合；所述球头连接螺母（4）内侧上部设置有球形面（401），球头连接螺母（4）设置在装卡板（2）的装卡板球头座（202）处。/n...
【技术特征摘要】
1.一种三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，其特征是：包括装卡环（1）、装卡板（2）、球头螺杆（3）、球头连接螺母（4）；所述装卡环（1）为环状，沿装卡环（1）周向均匀设置有若干个装卡环螺纹孔（101），所述每个装卡环螺纹孔（101）两侧对称设置有两个装卡环导向孔（102）；所述装卡板（2）包括装卡板本体（201）、装卡板球头座（202）、装卡板导杆（203），装卡板本体（201）为圆弧板状，装卡板本体（201）外圆面上设置有装卡板球头座（202），装卡板球头座（202）为短圆柱状，短圆柱外圆设置有连接螺纹，短圆柱端面设置有球形凹槽，装卡板球头座（202）两侧对称设置有装卡板导杆（203）；所述装卡板（2）的装卡板导杆（203）设置在装卡环（1）的装卡环导向孔（102）中；所述球头螺杆（3）一端设置有球头（301），另一端设置有锁紧头（302），球头螺杆（3）的球头（301）设置在装卡板（2）的装卡板球头座（202）的球形凹槽中，球头螺杆（3）的螺纹与装卡环（1）的装卡环螺纹孔（101）啮合；所述球头连接螺母（4）内侧上部设置有球形面（401），球头连接螺母（4）设置在装卡板（2）的装卡板球头座（202）处。
2.根据权利要求1所述三瓣石墨坩埚车加工用装卡装置，其特征是：所述装卡板（2）的装卡板本体（201）内侧圆弧直径等于需装卡加...
【专利技术属性】
技术研发人员：张翠峰，陈文明，
申请(专利权)人：洛阳晶奥电子材料有限公司，
类型：新型
国别省市：河南;41
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