检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的检查装置包括：射线源，其向检查对象物照射能量射线；检测部，其检测从检查对象物中通过的能量射线；位移机构，其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定检查对象物与射线源的相对位置；内部图像生成部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，生成检查对象物的内部图像；以及控制部，其基于由检测部检测到的能量射线的检测量分布，对位移机构进行控制。

Inspection device, inspection method and manufacturing method of inspection object

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法
本专利技术涉及检查装置、检查方法及检查对象物的制造方法。
技术介绍
已知一种使用X射线照射至检查对象并检测从该检查对象中通过的X射线的检查装置(例如专利文献1)。希望能够抑制检查精度降低的检查装置。现有技术文献专利文献专利文献1：美国专利申请公开第2013/0083896号说明书
技术实现思路
第1方面的检查装置包括：射线源，其向检查对象物照射能量射线；检测部，其检测从所述检查对象物中通过的能量射线；位移机构，其使所述检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定所述检查对象物与所述射线源的相对位置；内部图像生成部，其基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，生成所述检查对象物的内部图像；以及控制部，其基于由所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，对所述位移机构进行控制。第2方面的检查方法包括以下步骤：从射线源向检查对象物照射能量射线；利用检测部检测从所述检查对象物中通过的能量射线；生成基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布的所述检查对象物的内部图像；以及基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，通过位移机构使所述检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，而设定所述检查对象物和所述射线源。第3方面的检查方法包括以下步骤：从射线源向检查对象物照射能量射线；利用检测部检测从所述检查对象物中通过的能量射线；利用位移机构使所述检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，而设定所述检查对象物与所述射线源的相对位置；基于由所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，生成所述检查对象物的内部图像；以及基于由所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，对所述位移机构进行控制。第4方面的检查对象的制造方法使用第1方面的检查装置获取内部图像，并将所述内部图像与参照图像进行对比。附图说明图1是示意性示出第1实施方式的X射线装置的构成的图。图2是示意性示出被测量物的构造的图。图3是用于说明第1实施方式中的X射线产生部、被测量物及检测器的位置关系的图。图4是说明用于以将X射线产生部与被测量物设为规定位置关系的方式进行变更的考虑方法的图。图5是说明用于以将X射线产生部与被测量物设为规定位置关系的方式进行变更的考虑方法的图。图6是用于说明第1实施方式的X射线装置的动作的流程图。图7是示意性例示变形例1中的被测量物与X射线产生部的位置关系的图。图8是示意性示出变形例2中的X射线产生部与被测量物的检测器的位置关系的图。图9是示意性示出第2实施方式中的制造系统的要部构成的框图。图10是说明第2实施方式中的制造系统的动作的流程图。具体实施方式-第1实施方式-参照附图，说明作为第1实施方式的检查装置的X射线装置。X射线装置通过向被测量物照射X射线而检测从被测量物透射的透射X射线，从而以无损方式获取被测量物的内部信息(例如内部构造)等。在被测量物例如机械部件或电子部件等产业用部件为对象的情况下，X射线装置称为检查产业用部件的产业用X射线CT检查装置。图1是示出本实施方式的X射线装置100的构成的一例的图。此外，为了便于说明，按照图示设定由X轴、Y轴、Z轴构成的坐标系。X射线装置100包括框体1、X射线源2、载置部3、检测器4、控制装置5及框架6。框体1以与XZ平面实质上平行(水平)的方式配置在工厂等的地面上，在内部收容X射线源2、载置部3、检测器4和框架6。为了避免X射线泄漏到框体1的外部，框体1的材料含有铅。X射线源2对应于控制装置5进行的控制而以图1所示的射出点P为顶点朝向Z轴+方向放射以圆锥状扩散的作为扩散能量射线的X射线(所谓的锥形束)。该射出点P与在后述的X射线源2内传播的电子射线的焦点位置一致。此外，在以下的说明中，X射线的光轴Za为从X射线源2的作为电子射线的焦点位置的射出点P以与检测器4的射入面正交的方式延伸的轴线。另外，X射线源2也可以取代放射圆锥状X射线而放射扇状的X射线(所谓的扇形线束)或线状的X射线(所谓的笔形线束)。X射线源2射出例如约50eV的超软X射线、约0.1～2keV的软X射线、约2～20keV的X射线及约20～100keV的硬X射线中至少一种X射线。载置部3包括供被测量物500固定(载置)的载置台31和由旋转驱动部32、X轴移动部33、Y轴移动部34及Z轴移动部35构成的机械手部36，与X射线源2相比设置在Z轴+侧。载置台31设置为能够在旋转驱动部32的作用下以旋转轴Zr为中心旋转。旋转驱动部32伴随X轴移动部33、Y轴移动部34及Z轴移动部35各自的移动而移动。旋转驱动部32由例如电动马达等构成，在由后述的控制装置5控制而进行驱动的电动马达产生的旋转力的作用下，使载置台31以与Z轴平行的旋转轴Zr为中心旋转。另外，载置台31能够利用后述的夹持机构保持被测量物500。X轴移动部33、Y轴移动部34及Z轴移动部35由控制装置5控制，以被测量物500位于从X射线源2射出的X射线的照射范围内的适当位置的方式，使载置台31分别沿X轴向、Y轴方向及Z轴方向移动。此外，Z轴移动部35由控制装置5控制而使载置台31沿Z轴方向移动，以使从X射线源2到被测量物500的距离为希望的大小并向检测器4投影。图1所示的检测器4与载置台31相比设置在Z轴+侧。即，载置台31在Z轴方向上设置在X射线源2与检测器4之间。检测器4具有与XY平面平行的射入面41，从X射线源2放射的、且包含从载置在载置台31上的被测量物500中透射的透射X射线的X射线射入至射入面41。检测器4由含有公知的闪烁物质的闪烁体部和接受从闪烁体部放射的光的受光部等构成，将射入至闪烁体部的射入面41的X射线转化为光能，并由上述受光部将该光能转换为电能，以电信号形式向控制装置5输出。此外，检测器4也可以不将所射入的X射线转换为光能而直接转换为电信号并输出。另外，检测器4具有闪烁体部和受光部被分割为多个像素的构造，这些像素二维排列。由此，能够一并获取从X射线源2放射并从被测量物500中通过的X射线的检测量分布。并且，能够基于该检测量分布生成被检查物500的内部图像。框架6支承X射线源2、载置部3的机械手部36和检测器4。该框架6构成为具有充分的刚性。因此，在获取被测量物500的投影像时，能够进行支承而保持X射线源2、机械手部36及检测器4的相对位置不变。另外，框架6由除振机构61支承，防止在外部产生的振动直接传递至框架6。控制装置5具有微处理器或其周边电路等，通过读取预先存储在未图示的存储介质(例如闪存等)中的控制程序并执行，从而对X射线装置100的各部分进行控制。控制装置5包括以下功能：X射线控制部51，其对X射线源2的动作进行控制；机械手控制部52，其对机械手部36的驱动动作进行控制；图像生成部53，其基于从检测器4输出的电信号生成X射线投影图像数据本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种检查装置，其特征在于，包括：/n射线源，其向检查对象物照射能量射线；/n检测部，其检测从所述检查对象物中通过的能量射线；/n位移机构，其使所述检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定所述检查对象物与所述射线源的相对位置；/n内部图像生成部，其基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，生成所述检查对象物的内部图像；以及/n控制部，其基于由所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，对所述位移机构进行控制。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种检查装置，其特征在于，包括：
射线源，其向检查对象物照射能量射线；
检测部，其检测从所述检查对象物中通过的能量射线；
位移机构，其使所述检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定所述检查对象物与所述射线源的相对位置；
内部图像生成部，其基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，生成所述检查对象物的内部图像；以及
控制部，其基于由所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，对所述位移机构进行控制。


2.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述控制部以成为仅对由第1构件和相对于所述能量射线的吸收系数不同的第2构件构成的所述检查对象物的所述第1构件进行检测的位置关系的方式控制所述位移机构。


3.根据权利要求1所述的检查装置，其特征在于，
所述控制部以成为使来自所述射线源的能量射线的一部分沿着由第1构件和相对于所述能量射线的吸收系数不同的第2构件构成的所述检查对象物的所述第1构件与所述第2构件的边界传播的位置关系的方式控制所述位移机构。


4.根据权利要求3所述的检查装置，其特征在于，
所述控制部基于在所述第1构件与所述第2构件的边界部分或其附近传播的所述能量射线的检测量分布，控制所述位移机构。


5.根据权利要求3或4所述的检查装置，其特征在于，
所述能量射线是从所述射线源以放射状传播的放射能量射线，
所述放射能量射线的周缘部的能量射线为到达所述检测部的缘部的能量射线，
所述控制部以使所述放射能量射线的周缘部的能量射线沿着所述第1构件与所述第2构件的边界面传播的方式控制所述位移机构。


6.根据权利要求2至5中任一项所述的检查装置，其特征在于，
所述位移机构使所述射线源及载置所述检查对象物的载置台的载置面中的至少一方，相对于所述检测部沿与所述能量射线的传播方向交叉的方向位移。


7.根据权利要求6所述的检查装置，其特征在于，
所述位移机构在相对于所述能量射线的传播方向交叉的方向上具有倾斜轴，以所述倾斜轴为中心使所述载置台位移，改变所述载置台的所述载置面与所述能量射线的传播方向所成的角度。


8.根据权利要求6或7所述的检查装置，其特征在于，
所述控制部针对所述载置台与所述检测部之间不同的多个位置关系的每一个获取所述能量射线的所述检测量分布，基于针对所述不同的多个位置关系的每一个获取的多个所述检测量分布，进行对所述位移机构的控制。


9.根据权利要求2至8中任一项所述的检查装置，其特征在于，
所述第1构件是卷筒，所述第2构件是卷取在所述卷筒上的卷取对象。


10.一种检查方法，其特征在于，包括以下步骤：
从射线源向检查对象物照射能量射线；
利用检测部检测从所述检查对象物中通过的能量射线；
生成基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布的所述检查对象物的内部图像；以及
基于通过所述检测部检测到的所述能量射线的检测量分布，通过位移机构使所述检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，而设定所述检查对象物和所述射线源。


11.一种检...

【专利技术属性】
技术研发人员：大林岳史，在家正行，道本隆裕，
申请(专利权)人：株式会社尼康，
类型：发明
国别省市：日本;JP