温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明的检查装置包括：射线源，其向检查对象物照射能量射线；检测部，其检测从检查对象物中通过的能量射线；位移机构，其使检查对象物及所述射线源中的至少一方相对于另一方相对位移，设定检查对象物与射线源的相对位置；内部图像生成部，其基于由检测部检测...
该专利属于株式会社尼康所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社尼康授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。