被构造成结合到惯性角度传感器内的共振器制造技术

本发明专利技术涉及一种构造成结合到一惯性角度传感器内的共振器(1)，所述共振器(1)包括由机械弹簧(5)悬挂的至少一个块体，以及N对P

A resonator constructed to be integrated into the inertial angle sensor

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】被构造成结合到惯性角度传感器内的共振器
本专利技术涉及例如陀螺测试仪或陀螺仪的振动惯性角度传感器的领域，更具体说是涉及微机电传感器或MEMS(微机电系统)。
技术介绍
根据共振器结构的不同，MEMS型振动惯性角度传感器可分为两大类。共振器是一种以被称为共振频率的频率机械共振的物理结构。在第一族中，共振器是通常旋转(环、圆柱、半球、盘)的可变形体。在第二类中，共振器由通过弹性元件连接到支撑件的一个或多个非可变形块体组成。本专利技术特别地涉及属于第二族并且因此以块体/弹簧系统形式的共振器。惯性角度传感器通常包括被布置成以给定的共振频率振动该共振器的致动器，以及共振器变形的检测器。这些致动器和变形检测器通常安装在共振器和支撑件之间。一种MEMS类型的惯性角度传感器用于测量角速度(陀螺测试仪模型)或角位置(陀螺仪模型)。为了获得高性能的惯性传感器，共振器的特性是各向同性的很重要，即无论共振器振动的方向如何，都是等同的。换句话说，根据振动的角位置，不存在测量误差。如果我们以陀螺仪为例，所述陀螺仪的共振器具有两个特定本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种惯性角度传感器(2)，包括支撑件(4)，其特征在于，它包括共振器(1)，所述共振器(1)包括由机械弹簧(5)悬挂的至少两个块体(3)，N对P

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170427 FR 17536881.一种惯性角度传感器(2)，包括支撑件(4)，其特征在于，它包括共振器(1)，所述共振器(1)包括由机械弹簧(5)悬挂的至少两个块体(3)，N对Pi(2≤i≤N)静电弹簧(50)，所述共振器(1)限定至少四个对称轴线S1、S2、S3和S4，其特征在于：
-每对Pi均由两个静电弹簧(50)组成，每个静电弹簧均具有一个优选的动作轴线D，这些静电弹簧(50)被定位为使得它们的相应的轴线D形成一直角，
-对于所述对中的一对的至少一个弹簧以及另一对的一个弹簧，由这两个弹簧形成的角度等于一预定的角度，
所述至少两个块体(3)通过所述N对静电弹簧(50)的至少一些以及通过至少一些所述机械弹簧(5)连接到所述支撑件，该共振器的所述至少两个块体包括通过连接弹簧(11)连接在一起的内块体(3.1)和外块体(3.2)，每个块体(3.1、3.2)均通过机械弹簧(5)连接到所述支撑件(4)，每个块体(3.1、3.2)均通过N个静电弹簧(5)连接到所述支撑件(4)。


2.根据权利要求1所述的共振器(1)，其特征在于，所述预定角度为45度。


3.根据前述权利要求中任一项所述的共振器(1)，其特征在于，每对Pi相对于所述共振器(...

【专利技术属性】
技术研发人员：菲利普·瑟奇·克劳德·昂弗罗伊，文森特·拉戈，
申请(专利权)人：赛峰集团，法国原子能及替代能源委员会，
类型：发明
国别省市：法国;FR