一种硅片生产流水线制造技术

本发明专利技术提出一种硅片生产流水线，包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。

A silicon wafer production line

【技术实现步骤摘要】
一种硅片生产流水线
本专利技术涉及硅片生产设备领域，尤其是一种硅片生产流水线。
技术介绍
太阳能是一种清洁环保的能源，在太阳能设备的制备中需要用到硅片，在硅片的制造过程中，需要对硅片涂覆扩散层，需要经过多道工艺，现有的制作方式是采用人工涂源、人工翻面，人工搬运的方式进行加工生产。产生的硅片成品良莠不齐，废片率高，同时又耗费大量人工，导致硅片成本高、效率低。因此需要一种硅片生产的工业流水线，能够提升硅片优品率，提高硅片加工效率，减少人工成本的硅片生产流水线。
技术实现思路
为了解决上述问题，本专利技术提出一种能够提高硅片加工效率、提高硅片优品率同时降低成本的硅片生产流水线。本专利技术通过以下技术方案实现的：本专利技术提出一种硅片生产流水线，用于硅片的涂源，所述硅片生产流水线包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第一废液收集桶和所述第一涂源机构连接；所述第一风机和所述第一涂源机构连接，所述第一风机用于抽取所述第一涂源机构内的空气，从而对放置在第一涂源机构内的硅片起到定位作用；所述一号机器人位于所述第一烘干炉和所述第一涂源机构之间，所述第一硅片翻面机构位于所述第一烘干炉远离所述一号机器人的一端；所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述第二风机和所述第二涂源机构连接，所述第二风机用于抽取所述第二涂源机构内的空气，从而对放置在所述第二涂源机构内的硅片起到定位作用；所述二号机器人位于所述第二烘干炉和所述第二涂源机构之间，所述第二硅片翻面机构位于所述第二烘干炉远离所述二号机器人的一端；所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。进一步的，所述硅片生产流水线还包括固定架和支撑架，所述固定架架设在所述垫板上，所述支撑架用于支撑所述垫板；所述上料区还安装有上篮线、花篮提升机、出蓝线和第一缓存机构，所述出蓝线和所述上篮线用于运送花篮，所述上蓝线与所述花篮翻转机构连接，所述花篮提升机位于所述花篮翻转机构靠近所述第一烘干炉的一侧，所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间设有三号机器人，所述工作区还设有第二缓存机构和四号机器人，所述出料区还设有第三缓存机构和五号机器人。进一步的，所述硅片生产流水线还包括第一破片收集组件、第二破片收集组件和第三破片收集组件，所述第一破片收集组件位于所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间，所述第一破片收集组件包括第一破片收集盒、第一光源、第一图像捕捉装置，所述第一图像捕捉装置位于所述第一光源的正上方；所述第二破片收集组件位于所述第一硅片翻面机构和所述第二缓存机构之间，所述第二破片收集组件包括第二破片收集盒、第二光源、第二图像捕捉装置，所述第二图像捕捉装置位于所述第二光源的正上方，所述第三破片收集组件位于所述第二硅片翻面结构和所述第三缓存机构之间，所述第三破片收集组件包括第三破片收集盒、第三光源、第三图像捕捉装置，所述第三图像捕捉装置位于所述第三光源的正上方。进一步的，所述硅片生产流水线还包括不少于一个的显示屏，所述显示屏用于观察和控制所述硅片生产流水线的工作情况；所述支撑架内还设有电气柜组件和机器人控制器。进一步的，所述第一涂源机构包括多个第一硅片固定台、多个第一马达和多个第一涂源喷嘴，所述第一硅片固定台用于放置硅片，一个所述第一硅片固定台与一个所述第一涂源喷嘴配合，所述第一涂源喷嘴能够将胶体挤出并落到所述硅片固定台的中央；一个所述第一硅片固定台与一个所述第一马达连接，所述第一马达带动所述硅片固定台高速旋转；所述第二涂源机构包括多个第二硅片固定台、多个第二马达和多个第二涂源喷嘴，所述第二硅片固定台用于放置硅片，一个所述第二硅片固定台与一个所述第二涂源喷嘴配合，所述第二涂源喷嘴能够将胶体挤出并落到所述硅片固定台的中央；一个所述第二硅片固定台与一个所述第二马达连接，所述第二马达带动所述硅片固定台高速旋转。进一步的，所述第一烘干炉还设有第一传送带、第一触摸屏、第一进炉和第一出炉，所述第一传动带用于传送硅片，所述第一触摸屏同于观察和调整所述第一烘干炉的炉温，所述第一进炉用于输入空气，所述第一出炉用于排出废气；所述第二烘干炉还设有第二传送带、第二触摸屏、第二进炉和第二出炉，所述第二传动带用于传送硅片，所述第二触摸屏同于观察和调整所述第二烘干炉的炉温；所述第二进炉用于输入电气，所述第二出炉用于排出废气，所述第一烘干炉与所述第二烘干炉平行设置，所述第一烘干炉与所述第二烘干炉安装的方向相反。进一步的，所述第一硅片翻面机构包括第一硅片翻面装置和第一硅片横移装置，所述第一硅片翻面装置设有第一吸盘，所述第一吸盘用于固定硅片，所述第一硅片翻面装置能够带动硅片180度翻转，所述第一硅片横移装置能够带动硅片在水平方向上移动；所述第二硅片翻面机构包括第二硅片翻面装置和第二硅片横移装置，所述第二硅片翻面装置设有第二吸盘，所述第二吸盘用于固定硅片，所述第二硅片翻面装置能够带动硅片180度翻转，所述第二硅片横移装置能够带动硅片在水平方向上移动。进一步的，所述四轴机器人包括第一轴、两个平行设置的第二轴、第三轴和机械爪，所述机械爪的一端设有置物槽，所述机械爪能够分别沿所述第一轴、所述第二轴和所述第三轴移动，所述机械爪能带动所述置物槽旋转。进一步的，所述硅片洒粉机构设有开口、开门装置、定位装置、漏斗和洒粉装置，所述开门装置用于控制所述开口的露出和遮挡，所述定位装置用于限制硅片的位置，所述漏斗放置在所述洒粉装置上，所述洒粉装置用于给硅片洒粉。进一步的，所述硅片生产流水线还设有多个过滤风机，所述过滤风机用于将所述硅片生产流水线内的空气进行过滤并排放到大气中。本专利技术的有益效果：本专利技术的硅片生产流水线自动化程度高，硅片涂源的多个流程能够通过所述硅片生产流水线完成，减少了人工成本，提高了硅片的生产效率和优品率。附图说明图1为所述硅片生产流水线的一种视角的示意图；图2为所述硅片生产流水线的另一种视角的示意图；图3为去除了所述过滤风机和所述固定架的所述硅片生产流水线的一种视角的示意图；图4为去除了所述支撑架的所述硅片生产流水线的一种视角的示意图；图5为去除所述第一涂源机罩后的所述第一涂源机构的结构示意图；图6为所述硅片洒粉机构的结构示意图；图7为所述第一硅片翻面机构的结构示意图；图8为所述硅片翻转机构的结构示意图；图9为所述四轴机器人的结构示意图；图10为所述第一缓存机构的结构示意图；图11为所述一号机器人的结构示意图；图12为所述二本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种硅片生产流水线，用于硅片的涂源，其特征在于，所述硅片生产流水线包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第一废液收集桶和所述第一涂源机构连接；所述第一风机和所述第一涂源机构连接，所述第一风机用于抽取所述第一涂源机构内的空气，从而对放置在第一涂源机构内的硅片起到定位作用；所述一号机器人位于所述第一烘干炉和所述第一涂源机构之间，所述第一硅片翻面机构位于所述第一烘干炉远离所述一号机器人的一端；/n所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述第二风机和所述第二涂源机构连接，所述第二风机用于抽取所述第二涂源机构内的空气，从而对放置在所述第二涂源机构内的硅片起到定位作用；所述二号机器人位于所述第二烘干炉和所述第二涂源机构之间，所述第二硅片翻面机构位于所述第二烘干炉远离所述二号机器人的一端；/n所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。/n...

【技术特征摘要】
1.一种硅片生产流水线，用于硅片的涂源，其特征在于，所述硅片生产流水线包括第一涂源烘干组件和第二涂源烘干组件，所述第一涂源烘干组件包括第一涂源机构、第一废液收集桶、第一风机，第一烘干炉、第一硅片翻面机构和一号机器人，所述第一废液收集桶和所述第一涂源机构连接；所述第一风机和所述第一涂源机构连接，所述第一风机用于抽取所述第一涂源机构内的空气，从而对放置在第一涂源机构内的硅片起到定位作用；所述一号机器人位于所述第一烘干炉和所述第一涂源机构之间，所述第一硅片翻面机构位于所述第一烘干炉远离所述一号机器人的一端；
所述第二涂源烘干组件包括第二涂源机构、第二废液收集桶、第二风机、第二烘干炉、第二硅片翻面机构和二号机器人，所述第二废液收集桶和所述第二涂源机构连接，所述第二风机和所述第二涂源机构连接，所述第二风机用于抽取所述第二涂源机构内的空气，从而对放置在所述第二涂源机构内的硅片起到定位作用；所述二号机器人位于所述第二烘干炉和所述第二涂源机构之间，所述第二硅片翻面机构位于所述第二烘干炉远离所述二号机器人的一端；
所述硅片生产流水线还包括垫板，所述垫板被划分为上料区、工作区和出料区，所述上料区上设有有花篮翻转机构、所述出料区设有硅片洒粉机构、四轴机器人和托盘输送机构，所述花篮翻转装置能够将装满硅片的花篮进行90度翻转，所述硅片洒粉机构位于所述第二硅片翻面机构和所述四轴机器人之间。


2.根据权利要求1所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片生产流水线还包括固定架和支撑架，所述固定架架设在所述垫板上，所述支撑架用于支撑所述垫板；所述上料区还安装有上篮线、花篮提升机、出蓝线和第一缓存机构，所述出蓝线和所述上篮线用于运送花篮，所述上蓝线与所述花篮翻转机构连接，所述花篮提升机位于所述花篮翻转机构靠近所述第一烘干炉的一侧，所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间设有三号机器人，所述工作区还设有第二缓存机构和四号机器人，所述出料区还设有第三缓存机构和五号机器人。


3.根据权利要求2所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片生产流水线还包括第一破片收集组件、第二破片收集组件和第三破片收集组件，所述第一破片收集组件位于所述花篮提升机和所述第一缓存机构之间，所述第一破片收集组件包括第一破片收集盒、第一光源、第一图像捕捉装置，所述第一图像捕捉装置位于所述第一光源的正上方；所述第二破片收集组件位于所述第一硅片翻面机构和所述第二缓存机构之间，所述第二破片收集组件包括第二破片收集盒、第二光源、第二图像捕捉装置，所述第二图像捕捉装置位于所述第二光源的正上方，所述第三破片收集组件位于所述第二硅片翻面结构和所述第三缓存机构之间，所述第三破片收集组件包括第三破片收集盒、第三光源、第三图像捕捉装置，所述第三图像捕捉装置位于所述第三光源的正上方。


4.根据权利要求2所述的硅片生产流水线，其特征在于，所述硅片生产流水线还包括不少于一个的显示屏，所述显示屏用于观察...

【专利技术属性】
技术研发人员：李思泉，陈海国，肖俊琳，钟雄雄，尹小玲，李伟强，郑楷熠，
申请(专利权)人：深圳市旭控科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东;44