【技术实现步骤摘要】
一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置
本专利技术涉及金属探针的
，尤其是涉及一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法及装置。
技术介绍
高品质的探针是扫描探针技术的重要组成部分，不同的扫描探针技术对探针的材料和针尖直径要求不同，对于扫描隧道显微镜而言，探针材料有钨、铁等材料，对于针尖增强拉曼技术而言，探针材料以金、银为主。这其中以钨针为例，纳米钨针由于其强度高，熔点高，蒸汽压低，化学性质稳定等一系列优点经常被用于一些表征设备如原子力显微镜，扫描隧道显微镜的探针以及场发射扫描电镜和低能电子散射的电子束源。经过几十年的发展，制备纳米钨针的方法有自溅射法，电化学法，离子研磨法，场发射辅助刻蚀法等。其中，电化学方法被认为是一种简单，高效，可靠的制备纳米钨针的方法(参考文献1：Melmed,A.J.,1991.Theartandscienceandotheraspectsofmakingsharptips.J.Vac.Sci.Technol.B9,601-608.)。目前常用的电化学方法是一种被称为”drop-off”的方法(...
【技术保护点】
1.一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法，其特征在于，包括以下步骤：/n(1)取金属丝置于分层液体中，所述分层液体包括上层的腐蚀液和下层的惰性液体，所述腐蚀液能够用于电化学刻蚀所述金属丝，所述金属丝的第一端伸入到所述惰性液体中，所述金属丝的第二端连接电源的一极；取电极连接电源的另一极，与所述分层液体、所述金属丝形成可导通的通路进行电化学刻蚀，收集经电化学刻蚀形成的粗金属探针；/n(2)取环状电极，所述环状电极上覆有腐蚀液形成的液膜，将所述粗金属探针的针尖竖直穿过所述液膜并与液态金属材料接触，所述液态金属材料包括液态金属或液态金属合金，将所述环状电极、液态金属材料分别与电源的...
【技术特征摘要】
1.一种基于电化学刻蚀制备金属探针的方法，其特征在于，包括以下步骤：
(1)取金属丝置于分层液体中，所述分层液体包括上层的腐蚀液和下层的惰性液体，所述腐蚀液能够用于电化学刻蚀所述金属丝，所述金属丝的第一端伸入到所述惰性液体中，所述金属丝的第二端连接电源的一极；取电极连接电源的另一极，与所述分层液体、所述金属丝形成可导通的通路进行电化学刻蚀，收集经电化学刻蚀形成的粗金属探针；
(2)取环状电极，所述环状电极上覆有腐蚀液形成的液膜，将所述粗金属探针的针尖竖直穿过所述液膜并与液态金属材料接触，所述液态金属材料包括液态金属或液态金属合金，将所述环状电极、液态金属材料分别与电源的两极连接进行电化学刻蚀。
2.根据权利要求1所述的基于电化学刻蚀制备金属探针的方法，其特征在于，所述腐蚀液包括氢氧化钠、氨水、盐酸中的任一种。
3.根据权利要求1所述的基于电化学刻蚀制备金属探针的方法，其特征在于，所述惰性液体包括氟碳溶剂。
4.根据权利要求1所述的基于电化学刻蚀制备金属探针的方法，其特征在于，所述液态金属材料包括液态镓。
5.根据权利要求1-4任一项所述的基于电化学刻蚀制备金属探针的方法，其特征在于，所述金属...
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