形状测定装置制造方法及图纸

技术编号:22757953 阅读:61 留言:0更新日期:2019-12-07 05:12
提供形状测定装置,能够去除递归反射体引起的衍射光的影响。形状测定装置具有:投光器,其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光;半透半反镜,其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象;递归反射体,其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧,使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射;以及受光器,其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧,在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后,不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光,接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。

Shape measuring device

A shape measuring device is provided which can remove the influence of diffracted light caused by a recursive reflector. The shape measuring device has: a projector, which casts a parallel light with a width exceeding the width of the shape measuring object; a semi transparent semi mirror, which reflects a part of the parallel light and guides it to the measuring object; a recursive reflector, which is arranged on the opposite side of the semi transparent semi mirror relative to the measuring object, so that the parallel light is not blocked by the measuring object The light traveling to the opposite side of the measured object is reflected in the opposite direction; and the light receiver is arranged on the opposite side of the recursive reflector with respect to the semi transparent semi mirror. After the reflected light from the recursive reflector passes through the semi transparent semi mirror, the light in the reflected light other than the light parallel to the incident direction of the light to the recursive reflector is not accepted, and the light receiver is accepted A light parallel to the direction of incidence of the recursive reflector.

【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】形状测定装置
本专利技术涉及形状测定装置。
技术介绍
例如,专利文献1公开有形状测定装置。该形状测定装置具有递归反射体。递归反射体使入射光向相反方向反射而不依赖于反射面的角度。因此,不容易受到递归反射体的设置误差的影响。现有技术文献专利文献专利文献1:日本特表2010-518385号公报
技术实现思路
专利技术要解决的课题但是,在递归反射体中产生衍射现象。衍射现象引起的衍射光包含向与入射光相反的方向反射的递归反射光以外的不同方向的反射光。因此,在基于递归反射体的反射光强度分布中产生紊乱。其结果是,测定对象的形状测定精度变差。本专利技术正是为了解决上述课题而完成的。本专利技术的目的在于,提供能够去除递归反射体引起的衍射光的影响的形状测定装置。用于解决课题的手段本专利技术的形状测定装置具有:投光器,其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光;半透半反镜,其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象;递归反射体,其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧,使本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种形状测定装置,该形状测定装置具有:/n投光器,其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光;/n半透半反镜,其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象;/n递归反射体,其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧,使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射;以及/n受光器,其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧,在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后,不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光,接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。/n

【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】1.一种形状测定装置,该形状测定装置具有:
投光器,其投出具有超过形状测定对象的宽度的宽度的平行光;
半透半反镜,其反射所述平行光的一部分而引导至所述测定对象;
递归反射体,其相对于所述测定对象配置于所述半透半反镜的相反侧,使所述平行光中的未被所述测定对象遮挡而向所述测定对象的相反侧行进的光向相反方向反射;以及
受光器,其相对于所述半透半反镜配置于所述递归反射体的相反侧,在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后,不接受该反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光,接受与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。


2.根据权利要求1所述的形状测定装置,其中,
在设卷绕在设置于电梯机房的曳引机的绳轮上的绳索的外径值为所述测定对象的宽度的情况下,所述投光器在所述绳轮的周边相对于所述绳索配置于所述绳轮的相反侧,
所述半透半反镜在所述绳轮的周边相对于所述绳索配置于所述绳轮的相反侧,
所述递归反射体在所述绳轮的周边相对于所述绳索配置于所述绳轮侧,
所述受光器在所述绳轮的周边相对于所述绳索配置于所述绳轮的相反侧。


3.根据权利要求1或2所述的形状测定装置,其中,
所述受光器具有:
受光元件,其接受光;以及
限定受光系统,其不朝向所述受光元件透射来自所述递归反射体的反射光中的与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光,朝向所述受光元件透射与光向所述递归反射体的入射方向平行的光。


4.根据权利要求3所述的形状测定装置,其中,
所述限定受光系统具有:
第1透镜,其配向于与光向所述递归反射体的入射方向平行的方向,在来自所述递归反射体的反射光透射过所述半透半反镜后对该反射光进行成形;
缝隙体,其配置于比所述第1透镜更靠所述受光元件的一侧,具有预先设定的宽度的开口部,在来自所述第1透镜的光通过所述开口部时,遮挡与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光;以及
第2透镜,其配置于比所述缝隙体更靠所述受光元件的一侧,配向于与光向所述递归反射体的入射方向平行的方向,对通过所述缝隙体的开口部后的光进行成形。


5.根据权利要求3所述的形状测定装置,其中,
所述限定受光系统具有:
第1透镜,其配向于与光向所述递归反射体的入射方向平行的方向,在反射光从所述递归反射体透射过所述半透半反镜后对该反射光进行成形;以及
缝隙体,其配置于比所述第1透镜更靠所述受光元件的一侧,具有预先设定的宽度的开口部,在来自所述第1透镜的光通过所述开口部时,遮挡与光向所述递归反射体的入射方向平行的光以外的光。


6.根据权利要求1~5中的任意一项所述的形状测定装置,其中,
所述投光器在所...

【专利技术属性】
技术研发人员:福永宽关哲朗森川哲士大野佳子望月敬太
申请(专利权)人:三菱电机大楼技术服务株式会社
类型:发明
国别省市:日本;JP

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