The invention discloses a MEMS measuring sensor, which comprises a shell and a laser module, a receiving lens and a CCD installed in the shell; the shell is provided with a transmitting MEMS reflector and a receiving MEMS reflector; the transmitting MEMS reflector is arranged at the light-emitting end of the laser module; the receiving MEMS reflector is arranged between the receiving lens and the CCD; the CCD adopts a linear array CCD. Based on the principle of trigonometric distance measurement, the invention emits a beam of light from the light source, irradiates the target, and images the target on the linear array CCD through the receiving lens; images the target at different positions on the linear array CCD at different positions, and then reversely deduces the position of the target from the geometric relationship, thus completing the distance measurement.
【技术实现步骤摘要】
一种MEMS测量传感器以及三角区域测量方法
本专利技术涉及传感器应用领域，尤其涉及到一种MEMS测量传感器以及三角区域测量方法。
技术介绍
现如今，随着工业的高速发展，对于工业自动化的检测传感器需求也日益增长。在精密器件自动化检测领域，对传感器检测精度的要求更高，而且要求检测的点不止一个，这就要用到区域高精度位移检测。且出于提高生产效率的考虑，所需的检测速度要不低于1kHz；目前，区域检测主要分为基于结构光的检测技术、3DTOF(TimeOfFlight)检测技术和激光线扫描检测技术；结构光技术是通过特殊的结构光源(LED或激光器)，将具有一定结构特征的图案投射到被拍摄物体上，通过接收端镜头成像在CCD上。通过数据处理单元将有结构高低不同而引起的图像变化换算成深度信息，重建三维结构信息。这种技术一般用在静态三维的重建、检测等领域；3DTOF检测技术基本原理是激光源发射一定视场角激光，激光经过标靶后成像在感光芯片上，感光芯片的每个像素都有光飞行时间统计功能，通过求得每个像素点所对应的距离进而还原出整个面的距离信...
【技术保护点】
1.一种MEMS测量传感器，包括外壳(1)和安装于外壳(1)内的激光模组(2)、接收透镜(3)以及CCD(4)，其特征在于：/n所述外壳(1)内设置有发射MEMS反光镜(5)和接收MEMS反光镜(6)。/n
【技术特征摘要】
1.一种MEMS测量传感器，包括外壳(1)和安装于外壳(1)内的激光模组(2)、接收透镜(3)以及CCD(4)，其特征在于：
所述外壳(1)内设置有发射MEMS反光镜(5)和接收MEMS反光镜(6)。
2.根据权利要求1所述的一种MEMS测量传感器，其特征在于：所述发射MEMS反光镜(5)设置于激光模组(2)的发光端；所述接收MEMS反光镜(6)设置于接收透镜(3)与CCD(4)之间；所述CCD(4)采用线阵CCD。
3.根据权利要求2所述的一种MEMS测量传感器，其特征在于：所述激光模组(2)的出光口到发射MEMS反光镜(5)转轴的距离与线阵CCD到接收MEMS反光镜(6)转轴的距离一致。
4.一种利用权利要求1所述的一种MEMS测量传感器的三角区域测量方法，其特征在于包括以下步骤：
步骤一：传感器开始工作；
步骤二：激光模组进行发射激光；
步骤三：计算标靶距离；
步骤四：发射MEMS反光镜开始工作；
步骤五：接收MEMS反光镜开始工作；
步骤六：CCD进行工作并进行数据处理；
步骤七...
【专利技术属性】
技术研发人员：许永童，许用疆，谢勇，张林，
申请(专利权)人：上海兰宝传感科技股份有限公司，
类型：发明
国别省市：上海;31
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