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本发明公开了一种MEMS测量传感器，包括外壳和安装于外壳内的激光模组、接收透镜以及CCD；所述外壳内设置有发射MEMS反光镜和接收MEMS反光镜；所述发射MEMS反光镜设置于激光模组的发光端；所述接收MEMS反光镜设置于接收透镜与CCD之间...
该专利属于上海兰宝传感科技股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海兰宝传感科技股份有限公司授权不得商用。

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