一种靶材外观缺陷检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种靶材外观缺陷检测装置，其包括基座，基座上设置有用于承载定位靶材的定位装置、用于检测靶材平整度的检测装置和用于移动靶材检测装置的位移装置，检测装置包括用于检测靶材背面的背检相机、用于检测靶材正面的正检相机和用于检测靶材侧面的侧检相机，背检相机设置于定位装置下方，正检相机和侧检相机设置于定位装置上方，正检相机和侧检相机均与位移装置连接。本实用新型专利技术不仅结构简单、使用方便，而且能够一次实现靶材多个表面的同时检测。

A device for detecting the appearance defects of targets

The utility model discloses a target appearance defect detection device, which includes a base on which a positioning device for bearing the positioning target, a detection device for detecting the flatness of the target and a displacement device for moving the target detection device are arranged. The detection device includes a back detection camera for detecting the back of the target, a front detection camera for detecting the front of the target and a front detection camera for detecting the front of the target For the side inspection camera on the side of the target, the back inspection camera is set under the positioning device, the front inspection camera and the side inspection camera are set above the positioning device, and both the front inspection camera and the side inspection camera are connected with the displacement device. The utility model not only has simple structure and convenient use, but also can realize simultaneous detection of multiple surfaces of the target material at one time.

【技术实现步骤摘要】
一种靶材外观缺陷检测装置
本技术涉及一种靶材检测装置，属于靶材检测设备
，具体涉及一种靶材外观缺陷检测装置。
技术介绍
随着科技的不断进步、光电子产业的迅速发展，靶材作为半导体、光电业常用的一种溅镀材料被广泛应用于半导体和光电子产业。靶材的构造一般是由背板和贵重金属组成，背板一般采用无氧黄铜制作，贵重金属采用溅射法在表面镀膜。溅镀时正电荷离子撞击原子堆积紧密的靶材，靶材的原子经撞击后散开，随即沉积在基板上，最终形成薄膜，当靶材的各个表面不平整时，则会导致靶材通过溅射所镀的膜不均匀。为了靶材的各个表面的平整度，中国专利CN207798029U的说明书中公开了一种靶材检测装置，该靶材检测装置包括基台、安装在基台上的检测靶材平整度的检测装置、安装在基台上供检测装置沿Y轴方向和X轴方向做往复运动的导向组件、安装在基台上带动检测装置在导向组件上沿Y轴方向做往复运动的传动装置、与传动装置连接驱动传动装置升降的驱动机构以及安装在基台上且与检测装置连接带动检测装置在导向组件上沿X轴方向做反复运动的动力元件。该靶材检测装置虽然能够对靶材表面的各个区域进行检测，进而提高靶材通过溅射所镀的膜的均匀性，但是其一次只能对靶材的一个表面实现检测，当一个表面检查完毕后需要对另一个表面进行检测时，则需要人工翻转靶材以及调整检测装置的位置，这样无疑会大幅增加靶材的检测耗用的时间、降低靶材的检测效率。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种靶材外观缺陷检测装置，其不仅结构简单、使用方便，而且能够一次实现靶材多个表面的同时检测。为解决上述技术问题，本技术采用了这样一种靶材外观缺陷检测装置，其包括基座，所述基座上设置有用于承载定位靶材的定位装置、用于检测靶材平整度的检测装置和用于移动靶材检测装置的位移装置，所述检测装置包括用于检测靶材背面的背检相机、用于检测靶材正面的正检相机和用于检测靶材侧面的侧检相机，所述背检相机设置于所述定位装置下方，所述正检相机和所述侧检相机设置于所述定位装置上方，所述正检相机和所述侧检相机均与所述位移装置连接。在本技术的一种优选实施方案中，所述定位装置包括放置底板，所述放置底板的上端面设置有用于与靶材的背板配合定位靶材的定位结构，所述放置底板的上端面设置有背检相机避让孔。在本技术的一种优选实施方案中，所述定位结构包括多个定位轮，多个定位轮围成的形状与靶材的背板形状相对应。在本技术的一种优选实施方案中，所述位移装置包括沿靶材长度方向布置的X向直线模组，所述X向直线模组的活动端连接有沿靶材宽度方向布置的Y向直线模组，所述Y向直线模组的活动端连接有沿竖直方向的Z向直线模组，所述Z向直线模组的活动端连接有所述正检相机和所述侧检相机。在本技术的一种优选实施方案中，所述Y向直线模组的活动端上连接有两个Z向直线模组包括两个，两个Z向直线模组位于Y向直线模组的不同侧。在本技术的一种优选实施方案中，所述Z向直线模组的活动端连接有L形的相机安装支架。在本技术的一种优选实施方案中，所述相机安装支架上固接有正检相机，所述正检相机竖直布置。在本技术的一种优选实施方案中，所述相机安装支架上固接有旋转台，所述旋转台的活动端连接有侧检相机，所述侧检相机倾斜布置。在本技术的一种优选实施方案中，所述相旋转台上安装有环形光源。在本技术的一种优选实施方案中，所述基座包括机架，所述机架的上端面上固接有一对平行布置的大理石，所述机架和所述大理石之间设置有减震垫。本技术的有益效果是：本技术结构简单、使用方便，其通过在基座上设置背检相机、侧检相机和正检相机配合实现了靶材各个表面的同步检测，检测过程中无需翻转或移动靶材，提高了靶材的检测效率；进一步的，本技术公开了一种靶材定位装置的设计方案，其通过在放置底板多个与靶材的背板形状相对应的多个定位轮，不仅结构简单，而且便于靶材的取放；进一步的，本技术公开了一种位移装置的设计方案，其通过采用X向直线模组、Y向直线模组和Z向直线模组的配合，提高了正检相机和侧检相机的检测效率；进一步的，本技术公开了一种正检相机和侧检相机的布置方案，其保证正检相机和侧检相机共用一个位移装置从而提高了本技术的集成性；进一步的，本技术公开了一种基座的设计方案，其通过采用机架和大理石的组合提高了本技术的使用寿命。附图说明图1为本技术实施例一种靶材外观缺陷检测装置的结构示意图；图2为本技术实施例一种靶材外观缺陷检测装置中位移装置和检测装置的连接示意图；图3为本技术实施例一种靶材外观缺陷检测装置中位移装置和检测装置的连接示意图；图中：1-脚杯；2-机架；3-大理石；4-防震垫；5-X向直线模组定子；6-X向直线模组动子；7-连接钢架；8-Y向直线模组定子；9-防护架10-背检相机；11-定位轮；12-放置底板；13-Y向直线模组动子；14-动子连接板；15-左模组固定板；16-左伺服模组；17-左模组连接板18-伺服电机固定板；19-伺服电机；20-环形光源；21-侧检相机；22-旋转台；23-右模组固定板；24-右伺服模组；25-右模组连接板；26-正检相机固定板；27-正检相机-27；28-靶材。具体实施方式下面将结合本技术实施例中的附图，对本技术实施例中的技术方案进行楚、完整地描述，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。由本专利技术的说明书附图可知，本技术公开了一种靶材外观缺陷检测装置，其包括带有脚杯1的机架2，脚杯1固定在机架2底部，大理石3固定在机架2上部，防震垫4固定在机架2和大理石3中间，调好水平后固定不动；X向直线模组定子5固定在大理石3上面，连接钢架7固定在X向直线模组动子6上，连接钢架7上安装有Y向直线模组定子8；放置底板12固定在机架2中间，调好水平后用螺丝与机架2锁紧，背检相机10安装在放置底板12中间的圆孔中心正下面，定位轮11安装在放置底板12侧面及中间开槽中，防护架9固定在机架2上；Y向直线模组定子8固定在连接钢架7上，定位轮11分为两组，一组用于横向定位靶材、一组用于纵向定位靶材，需要指出两组定位轮均式与靶材的背板配合定位，从而不影响靶材侧面的检测，用于横向定位靶材的定位轮11包括平行布置的两条定位轮11，用于纵向定位靶材的定位轮包括一条定位轮11，动子连接板14固定在Y向直线模组动子13上，左模组固定板15和右模组固定板23固定在动子连接板14上；左伺服模组16安装在左模组固定板15上，左模组连接板17固定在左伺服模组16移动块上，伺服电机固定板18固定在左模组连接板17上，伺服电机19安装在中空旋转平台22上，环形光源20、侧检相机21和中空旋转平台22安装在伺服电机固定板18上；右伺服模组24安装在右模组固定板23上，右模本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶材外观缺陷检测装置，包括基座，所述基座上设置有用于承载定位靶材的定位装置、用于检测靶材平整度的检测装置和用于移动靶材检测装置的位移装置，其特征在于：所述检测装置包括用于检测靶材背面的背检相机、用于检测靶材正面的正检相机和用于检测靶材侧面的侧检相机，所述背检相机设置于所述定位装置下方，所述正检相机和所述侧检相机设置于所述定位装置上方，所述正检相机和所述侧检相机均与所述位移装置连接。/n

【技术特征摘要】
1.一种靶材外观缺陷检测装置，包括基座，所述基座上设置有用于承载定位靶材的定位装置、用于检测靶材平整度的检测装置和用于移动靶材检测装置的位移装置，其特征在于：所述检测装置包括用于检测靶材背面的背检相机、用于检测靶材正面的正检相机和用于检测靶材侧面的侧检相机，所述背检相机设置于所述定位装置下方，所述正检相机和所述侧检相机设置于所述定位装置上方，所述正检相机和所述侧检相机均与所述位移装置连接。


2.根据权利要求1所述的靶材外观缺陷检测装置，其特征在于：所述定位装置包括放置底板，所述放置底板的上端面设置有用于与靶材的背板配合定位靶材的定位结构，所述放置底板的上端面设置有背检相机避让孔。


3.根据权利要求2所述的靶材外观缺陷检测装置，其特征在于：所述定位结构包括多个定位轮，多个定位轮围成的形状与靶材的背板形状相对应。


4.根据权利要求1所述的靶材外观缺陷检测装置，其特征在于：所述位移装置包括沿靶材长度方向布置的X向直线模组，所述X向直线模组的活动端连接有沿靶材宽度方向布置的Y向直线模组，所述Y向直线模组的活动端连接有沿竖直...

【专利技术属性】
技术研发人员：许锐，马燃，李锐，
申请(专利权)人：武汉精立电子技术有限公司，武汉精测电子集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42