电动型致动器、激振装置、致动器及其固定部支承机构制造方法及图纸

本发明专利技术提供一种电动型致动器、激振装置、致动器及其固定部支承机构。所述激振装置包括：振动台；使振动台在X轴方向振动的X轴激振单元；使振动台在Y轴方向振动的Y轴激振单元；使振动台在Z轴方向振动的Z轴激振单元；将振动台与Z轴激振单元以可向X轴方向滑动的方式连结的第一线性导轨；和将振动台与Z轴激振单元以可向Y轴方向滑动的方式连结的第二线性导轨，X轴线性导轨包括：向X轴方向延伸的X轴轨道；和以可在X轴方向滑动的方式与X轴轨道卡合的X轴滑架，Y轴线性导轨包括：向Y轴方向延伸的Y轴轨道；和以可Y轴方向滑动的方式与Y轴轨道卡合的Y轴滑架，X轴滑架直接固定于Y轴滑架。

Electric actuator, exciting device, actuator and supporting mechanism of its fixed part

The invention provides an electric actuator, an exciting device, an actuator and a supporting mechanism of the fixing part thereof. The vibration excitation device includes: a vibration table; an X-axis excitation unit which makes the vibration table vibrate in the x-axis direction; a Y-axis excitation unit which makes the vibration table vibrate in the y-axis direction; a Z-axis excitation unit which makes the vibration table vibrate in the z-axis direction; a first linear guide which connects the vibration table and the z-axis excitation unit in a way that can slide toward the x-axis direction; and a slide which makes the vibration table and the z-axis excitation unit slide toward the y-axis direction The second linear guide rail is connected in a dynamic way, and the x-axis linear guide rail includes an X-axis track extending in the x-axis direction, and an X-axis carriage which can slide in the x-axis direction and be clamped with the x-axis track. The y-axis linear guide rail includes a Y-axis carriage which extends in the y-axis direction, and a Y-axis carriage which can slide in the y-axis direction and be clamped with the Y-axis carriage, and the x-axis carriage is directly fixed to the Y-axis carriage.

【技术实现步骤摘要】
电动型致动器、激振装置、致动器及其固定部支承机构本申请是申请日为2015年7月30日、申请号为201580046695.X、专利技术名称为“激振装置、电动型致动器、交叉导轨、线性导轨和振动台”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种用于振动测试等的激振装置、电动型致动器、交叉导轨、线性导轨和振动台。
技术介绍
已知有对振动台在正交3轴方向产生振动的3轴激振装置。专利文献1中记载通过使用包括转动体的转动引导式的线性导轨(以下，也简称“线性导”)，可产生高频区域的振动的激振装置。为了在正交3轴方向(X轴、Y轴和Z轴方向)产生振动，例如需要通过两轴滑动件在X轴和Y轴方向可滑动地连结振动台与使该振动台在Z轴方向振动的Z轴致动器。专利文献1的激振装置中，是通过经由中间载台(连结板)将正交两轴(X轴、Y轴)的线性导轨的各滑架相互连结的交叉导轨(以下，也简称“交叉导”)构成作为两轴滑动件的XY滑动件。现有技术文献专利文献专利文献1：国际公开第2009/011433号专利技术所要解决的问题但是，专利文献1的交叉导轨的结构中，因为使用中间载台，导致零件数量增多，交叉导轨非常重。因而，这会降低激振装置特别是在高频区域的性能。具体而言，因为激振装置的可动部变重，驱动时需要更多电力，此外，降低了可产生振动的频率的上限。另外，因为降低了激振装置的可动部的共振频率，所以在测试频率区域的振动噪音增多。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完全的，其目的在于通过简化交叉导轨的构造，实现交叉导轨小型、轻量化，结果使激振装置的频率特性提高。用于解决问题的方法本专利技术一实施方式的激振装置包括：振动台；X轴激振单元，其使振动台在X轴方向振动；Y轴激振单元，其使振动台在Y轴方向振动；Z轴激振单元，其使振动台在Z轴方向振动；X轴线性导轨，其将振动台与Z轴激振单元以可向X轴方向滑动的方式连结；和Y轴线性导轨，其将振动台与Z轴激振单元以可向Y轴方向滑动的方式连结，X轴线性导轨包括：X轴轨道，其向X轴方向延伸；和X轴滑架，其以可在X轴方向滑动的方式与X轴轨道卡合，Y轴线性导轨包括：Y轴轨道，其向Y轴方向延伸；和Y轴滑架，其以可在Y轴方向滑动的方式与Y轴轨道卡合，X轴滑架直接固定于Y轴滑架。采用上述构成时，因为不使用中间载台而构成线性导轨方式的交叉导轨，所以可通过小型、轻量化使激振装置的频率特性提高。此外，本专利技术一实施方式的激振装置包括将X轴滑架固定于Y轴滑架的螺栓，在X轴滑架设置具有切孔的第一滑架安装孔，在Y轴滑架设置具有螺孔的第二滑架安装孔，通过第一滑架安装孔的螺栓被旋入到第二滑架安装孔，使得X轴滑架直接固定于Y轴滑架。采用该构成时，无须经由中间载台，仅通过螺栓即可将X轴滑架固定于Y轴滑架。上述激振装置也可构成为，在X轴滑架中设置有在Z轴方向延伸的4个第一滑架安装孔，在Y轴滑架中设置有在Z轴方向延伸的4个第二滑架安装孔，4个第一滑架安装孔的中心线与4个第二滑架安装孔的中心线分别通过XY平面上规定的正方形的各顶点。采用该构成时，因为第一滑架安装孔与第二滑架安装孔分别具有2次旋转对称性，所以即使将Y轴滑架相对于X轴滑架在Z轴周围相差90度方向，仍可以螺栓直接连结X轴滑架与Y轴滑架。上述激振装置也可构成，在X轴滑架的Y轴方向两侧的X轴方向中央部形成从Z轴方向看切开成U字状的U字缺口部。上述激振装置也可构成，在X轴滑架的Y轴方向两侧的X轴方向两端部形成从Z轴方向看切开成L字状的L字缺口部。通过设置上述的U字缺口部和/或L字缺口部，X轴滑架可达到小型、轻量化。上述激振装置也可构成为，X轴滑架在U字缺口部与L字缺口部之间具有凸缘部，第一滑架安装孔形成于凸缘部。采用该构成时，不改变第一滑架安装孔的位置，可使X轴滑架小型、轻量化。上述激振装置也可构成为，X轴线性导轨包括滚柱，该滚柱是夹在X轴轨道与X轴滑架之间的转动体。采用该构成时，X轴线性导轨的刚性提高，耐载荷性(耐撞击性)提高，并且X轴线性导轨的共振频率提高，因X轴线性导轨造成的振动噪音减少。特别是以500Hz以上的频率产生振动时，降低振动噪音的效果显著。上述激振装置也可构成为，在Y轴滑架的X轴方向两侧的Y轴方向中央部形成从Z轴方向看切开成U字状的第二U字缺口部，并在Y轴滑架的X轴方向两侧的Y轴方向两端部形成从Z轴方向看切开成L字状的第二L字缺口部，Y轴滑架在第二U字缺口部与第二L字缺口部之间具有第二凸缘部，第二滑架安装孔形成于第二凸缘部，Y轴线性导轨包括滚柱，该滚柱是夹在Y轴轨道与Y轴滑架之间的转动体。此外，本专利技术一种方式的电动型致动器包括：大致筒状的固定部；可动部，其至少一部分收纳于固定部的中空部内，并在固定部的轴线方向被往返驱动；和弹簧机构，其将固定部与可动部弹性地连结。采用该构成时，因为通过弹簧机构弹性地连结可动部与固定部，所以可防止可动部从固定部脱离，或与固定部的底部撞击。上述电动型致动器也可构成为，弹簧机构是相对于固定部将可动部弹性地支承于轴线方向的中立位置的中立弹簧机构。采用该构成时，可控制可动部的位置，可使可动部始终以中立位置为中心而振动。上述电动型致动器也可构成为，弹簧机构包括：连杆，其固定于可动部；弹性元件支承板，其固定于固定部；以及设置于连杆与弹性元件支承板之间的第一弹性元件和第二弹性元件，在弹性元件支承板设置有供连杆通过的贯穿孔，连杆包括：第一凸缘部；和第二凸缘部，其隔着弹性元件支承板设置于与第一凸缘部相反的一侧；第一弹性元件设置在第一凸缘部与弹性元件支承板之间，第二弹性元件设置在第二凸缘部与弹性元件支承板之间。采用该构成时，即使可动部因2个弹性元件而在正反的任何一个驱动方向变位，仍可可靠地将可动部拉回中立位置。上述电动型致动器也可构成为，第一弹性元件和第二弹性元件的至少一者包含弹簧。上述电动型致动器也可构成为，弹簧是线圈弹簧。通过使用线圈弹簧，可控制比较大的变位。上述电动型致动器也可构成为，第一弹性元件和第二弹性元件的至少一者包含橡胶或树脂。通过使用例如防振橡胶或树脂板，由具有橡胶弹性体或黏弹性体等高缓冲性的材料形成的弹性元件，可实现小型的弹簧机构。此外，本专利技术一实施方式的激振装置包括：振动台；铅垂致动器，其在铅垂方向驱动振动台；和水平致动器，其在水平方向驱动振动台，水平致动器是权利要求9至14中任一项的电动型致动器。在重力不作用于驱动方向的水平致动器中，为了将可动部保持在中立位置，需要在正反两个方向拉回可动部的功能，包括第一弹性元件和第二弹性元件的弹簧机构(中立弹簧机构)有效发挥该功能。上述激振装置也可构成为，铅垂致动器包括：大致筒状的固定部；可动部，其至少一部分收纳于固定部的中空部内，并在固定部的轴线方向被往返驱动；和空气弹簧，其将可动部从下方支承于固定部。此外，本专利技术一实施方式的线性导轨包括：轨道；和滑架，其可滑动地本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种电动型致动器，其特征在于，包括：/n大致筒状的固定部；/n可动部，其至少一部分收纳于所述固定部的中空部内，并在所述固定部的轴线方向被往返驱动；和/n弹簧机构，其将所述固定部与所述可动部弹性地连结，/n所述弹簧机构是相对于所述固定部将所述可动部弹性地支承于所述轴线方向的中立位置的中立弹簧机构，/n所述弹簧机构包括：/n连杆，其固定于所述可动部；/n弹性元件支承板，其固定于所述固定部；以及/n设置于所述连杆与所述弹性元件支承板之间的第一弹性元件和第二弹性元件，/n在所述弹性元件支承板设置有供所述连杆通过的贯穿孔，/n所述连杆包括：/n第一凸缘部；和/n第二凸缘部，其隔着所述弹性元件支承板设置于与所述第一凸缘部相反的一侧，/n所述第一弹性元件设置在所述第一凸缘部与所述弹性元件支承板之间，/n所述第二弹性元件设置在所述第二凸缘部与所述弹性元件支承板之间，/n所述第一弹性元件和第二弹性元件的至少一者包含线圈弹簧。/n

【技术特征摘要】
20140730 JP 2014-155172;20150616 JP 2015-1215851.一种电动型致动器，其特征在于，包括：
大致筒状的固定部；
可动部，其至少一部分收纳于所述固定部的中空部内，并在所述固定部的轴线方向被往返驱动；和
弹簧机构，其将所述固定部与所述可动部弹性地连结，
所述弹簧机构是相对于所述固定部将所述可动部弹性地支承于所述轴线方向的中立位置的中立弹簧机构，
所述弹簧机构包括：
连杆，其固定于所述可动部；
弹性元件支承板，其固定于所述固定部；以及
设置于所述连杆与所述弹性元件支承板之间的第一弹性元件和第二弹性元件，
在所述弹性元件支承板设置有供所述连杆通过的贯穿孔，
所述连杆包括：
第一凸缘部；和
第二凸缘部，其隔着所述弹性元件支承板设置于与所述第一凸缘部相反的一侧，
所述第一弹性元件设置在所述第一凸缘部与所述弹性元件支承板之间，
所述第二弹性元件设置在所述第二凸缘部与所述弹性元件支承板之间，
所述第一弹性元件和第二弹性元件的至少一者包含线圈弹簧。


2.如权利要求1所述的电动型致动器，其特征在于：
所述连杆通过所述线圈弹簧的中空部。


3.如权利要求1所述的电动型致动器，其特征在于：
在所述第一弹性元件和所述第二弹性元件分别形成有贯穿它们的贯穿孔，
所述连杆通过所述第一弹性元件和所述第二弹性元件的贯穿孔。


4.如权利要求1所述的电动型致动器，其特征在于：
所述第一弹性元件和第二弹性元件的至少一者包含橡胶或树脂。


5.如权利要求1所述的电动型致动器，其特征在于：
所述连杆包括：
形成在该连杆的周围的公螺纹部；和
具有所述第二凸缘部并嵌入所述公螺纹部的螺母。


6.一种激振装置，其特征在于，包括：
振动台；
铅垂致动器，其在铅垂方向驱动所述振动台；和
水平致动器，其在水平方向驱动所述振动台，
所述水平致动器是权利要求1至5中任一项所述的电动型致动器。


7.如权利要求6所述的激振装置，其特征在于：
所述铅垂致动器包括：
大致筒状的固定部；
可动部，其至少一部分收纳于所述固定部的中空部内，并在所述固定部的轴线方向被往返驱动；和
空气弹簧，其将所述可动部从下方支承于所述固定部。


8.一种致动器，其特征在于，包括：
安装在底座的固定部支承机构；
由所述固定部支承机构支承的固定部；和
可动部，其相对于所述固定部在规定的方向被往返驱动，
所述固定部支承机构包括：
安装于所述固定部的可动块；
固定在所述底座的固定块；
线性导轨，其将所述固定块与所述可动块以可在所述规定的方向滑动的方式连结；和
将所述固定块与所述可动块弹性地连结的弹簧机构，
所述致动器包括固定于所述底座的固定块，
所述线性导轨和所述弹簧机构的至少一者经由所述固定块安装于所述底座，
所述弹簧机构是相对于所述固定块将所述可动块弹性地支承在所述规定的方向的中立位置的中立弹簧机构，
所述弹簧机构包括：
固定于所述可动块的连杆；
固定于所述固定块的弹性元件支承板；和
设置于所述连杆与所述弹性元件支承板之间的第一弹性元件和第二弹性元件，
在所述弹性元件支承板设置有供所述连杆通过的贯穿孔，
所述连杆包括：
第一凸缘部；和
第二凸缘部，其隔着所述弹性元件支承板设置于与所述第一凸缘部相反的一侧，

【专利技术属性】
技术研发人员：松本繁，宫下博至，村内一宏，远藤稔，
申请(专利权)人：国际计测器株式会社，
类型：发明
国别省市：日本;JP