The invention provides a vibration excitation device, which includes: a vibration table; an X-axis excitation unit which makes the vibration table vibrate in the x-axis direction; a Y-axis excitation unit which makes the vibration table vibrate in the y-axis direction; a Z-axis excitation unit which makes the vibration table vibrate in the z-axis direction; a first linear guide which connects the vibration table and the z-axis excitation unit in a sliding way in the x-axis direction; and a Z-axis excitation unit which makes the vibration table vibrate in the z-axis direction The second linear guide rail connected in the way of sliding in the y-axis direction, the x-axis linear guide rail includes: the x-axis track extending in the x-axis direction; and the x-axis slide rail which can be clamped with the x-axis track in the way of sliding in the x-axis direction, the y-axis linear guide rail includes: the y-axis track extending in the y-axis direction; and the y-axis slide rail which can be clamped with the y-axis track in the way of sliding in the y-axis direction, and the x-axis slide rail is fixed directly Slide on y-axis.
【技术实现步骤摘要】
激振装置本申请是申请日为2015年7月30日、申请号为201580046695.X、专利技术名称为“激振装置、电动型致动器、交叉导轨、线性导轨和振动台”的专利技术专利申请的分案申请。
本专利技术涉及一种用于振动测试等的激振装置、电动型致动器、交叉导轨、线性导轨和振动台。
技术介绍
已知有对振动台在正交3轴方向产生振动的3轴激振装置。专利文献1中记载通过使用包括转动体的转动引导式的线性导轨(以下,也简称“线性导”),可产生高频区域的振动的激振装置。为了在正交3轴方向(X轴、Y轴和Z轴方向)产生振动,例如需要通过两轴滑动件在X轴和Y轴方向可滑动地连结振动台与使该振动台在Z轴方向振动的Z轴致动器。专利文献1的激振装置中,是通过经由中间载台(连结板)将正交两轴(X轴、Y轴)的线性导轨的各滑架相互连结的交叉导轨(以下,也简称“交叉导”)构成作为两轴滑动件的XY滑动件。现有技术文献专利文献专利文献1:国际公开第2009/011433号专利技术所要解决的问题但是,专利文献1的交叉导轨的结构中,因为使用中间载台,导致零件数量增多,交叉导轨非常重。因而,这会降低激振装置特别是在高频区域的性能。具体而言,因为激振装置的可动部变重,驱动时需要更多电力,此外,降低了可产生振动的频率的上限。另外,因为降低了激振装置的可动部的共振频率,所以在测试频率区域的振动噪音增多。
技术实现思路
本专利技术是鉴于上述问题而完全的,其目的在于通过简化交叉导轨的构造,实现交叉导 ...
【技术保护点】
1.一种激振装置,其特征在于,包括:/n振动台;/nX轴激振单元,其使所述振动台在X轴方向振动;/nY轴激振单元,其使所述振动台在Y轴方向振动;/nZ轴激振单元,其使所述振动台在Z轴方向振动;和/n多个XY滑动件,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可在所述X轴方向和所述Y轴方向这两个方向上滑动的方式连结,/n所述XY滑动件分别包括:/n第一线性导轨,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述X轴方向滑动的方式连结;和/n第二线性导轨,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述Y轴方向滑动的方式连结,/n所述第一线性导轨包括:/n第一轨道,其向所述X轴方向延伸;和/n第一滑架,其以可在所述X轴方向滑动的方式与所述第一轨道卡合,/n所述第二线性导轨包括:/n第二轨道,其向所述Y轴方向延伸;和/n第二滑架,其以可在所述Y轴方向滑动的方式与所述第二轨道卡合,/n所述第一滑架和所述第二滑架固定在一起,/n相邻的两个XY滑动件中的一者以所述第一线性导轨朝向所述振动台侧的方式配置,/n相邻的两个XY滑动件中的另一者以所述第二线性导轨朝向所述振动台侧的方式配置。/n
【技术特征摘要】
20140730 JP 2014-155172;20150616 JP 2015-1215851.一种激振装置,其特征在于,包括:
振动台;
X轴激振单元,其使所述振动台在X轴方向振动;
Y轴激振单元,其使所述振动台在Y轴方向振动;
Z轴激振单元,其使所述振动台在Z轴方向振动;和
多个XY滑动件,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可在所述X轴方向和所述Y轴方向这两个方向上滑动的方式连结,
所述XY滑动件分别包括:
第一线性导轨,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述X轴方向滑动的方式连结;和
第二线性导轨,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述Y轴方向滑动的方式连结,
所述第一线性导轨包括:
第一轨道,其向所述X轴方向延伸;和
第一滑架,其以可在所述X轴方向滑动的方式与所述第一轨道卡合,
所述第二线性导轨包括:
第二轨道,其向所述Y轴方向延伸;和
第二滑架,其以可在所述Y轴方向滑动的方式与所述第二轨道卡合,
所述第一滑架和所述第二滑架固定在一起,
相邻的两个XY滑动件中的一者以所述第一线性导轨朝向所述振动台侧的方式配置,
相邻的两个XY滑动件中的另一者以所述第二线性导轨朝向所述振动台侧的方式配置。
2.如权利要求1所述的激振装置,其特征在于:
在所述相邻的两个XY滑动件中的一者,所述第二线性导轨经由所述第一线性导轨与所述振动台连结,
在所述相邻的两个XY滑动件中的另一者,所述第一线性导轨经由所述第二线性导轨与所述振动台连结。
3.一种激振装置,其特征在于,包括:
振动台;
X轴激振单元,其使所述振动台在X轴方向振动;
Y轴激振单元,其使所述振动台在Y轴方向振动;
Z轴激振单元,其使所述振动台在Z轴方向振动;和
多个XY滑动件,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可在所述X轴方向和所述Y轴方向这两个方向上滑动的方式连结,
所述XY滑动件分别包括:
第一线性导轨,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述X轴方向滑动的方式连结;和
第二线性导轨,其将所述振动台和所述Z轴激振单元以可向所述Y轴方向滑动的方式连结,
所述第一线性导轨包括:
第一轨道,其向所述X轴方向延伸;和
第一滑架,其以可在所述X轴方向滑动的方式与所述第一轨道卡合,
所述第二线性导轨包括:
第二轨道,其向所述Y轴方向延伸;和
第二滑架,其以可在所述Y轴方向滑动的方式与所述第二轨道卡合,
所述第一滑架和所述第二滑架固定在一起,
在相邻的两个XY滑动件中的一者,所述第二线性导轨经由所述第一线性导轨与所述振动台连结,
在相邻的两个XY滑动件中的另一者,所述第一线性导轨经由所述第二线性导轨与所述振动台连结。
4.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置,其特征在于:
所述多个XY滑动件配置在与所述Z轴方向垂直的平面上。
5.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置,其特征在于:
包括4个所述XY滑动件,其分别配置在与所述Z轴方向垂直的矩形的顶点。
6.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置,其特征在于:
所述XY滑动件以所述第一线性导轨朝向所述振动台侧的第一朝向和所述第二线性导轨朝向所述振动台侧的第二朝向中的任意朝向配置,
所述多个XY滑动件以交替地改变所述第一朝向和所述第二朝向的方式,在与所述Z轴方向垂直的两个方向上并排配置。
7.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置,其特征在于:
在所述第一滑架设置作为切孔的第一滑架安装孔,
在所述第二滑架设置作为螺孔的第二滑架安装孔,
通过所述第一滑架安装孔的螺栓被旋入到所述第二滑架安装孔,使得所述第一滑架直接固定于所述第二滑架。
8.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置,其特征在于:
在所述第一滑架中设置有在所述Z轴方向延伸的4个所述第一滑架安装孔,
在所述第二滑架中设置有在所述Z轴方向延伸的4个所述第二滑架安装孔,
4个所述第一滑架安装孔的中心线与4个所述第二滑架安装孔的中心线分别通过XY平面上规定的正方形的各顶点。
9.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置,其特征在于:
所述第一线性导轨包括滚柱,该滚柱是夹在所述第一轨道与所述第一滑架之间的转动体。
10.如权利要求1至3中任一项所述的激振装置,其特征在于:
在所述第二滑架的所述X轴方向两侧的所述Y轴方向中央部形成从所述Z轴方向看切开成U字状的U字缺口部,
并在所述第二滑架的所述X轴方向两侧的所述Y轴方向两端部形成从所述Z轴方向看切开成L字状的L字缺口部,
所述第二滑架在所述U字缺口部与所述L字缺口部之间具有凸缘部,
所述第二滑架安装孔形成于所述凸缘部,
所述第二滑架包括:
第三部分,其为具有与所述X轴、所述Y轴和所述Z轴分别垂直的侧面的大致长方体状,且在与所述Z轴垂直的一个侧面形成有与所述第二轨道卡合的在Y轴方向上延伸的第二槽;和
第四部分,其固定于所述第三部分的与所述Z轴垂直的另一侧面,为具有与所述X轴和所述Y轴平行的边的大致矩形的板状,
所述第四部分的所述X轴方向上的两端部以比所述第三部分的所述X轴方向上的两端面更向所述X轴方向外侧突出的方式形成所述凸缘部,
所述...
【专利技术属性】
技术研发人员:松本繁,宫下博至,村内一宏,远藤稔,
申请(专利权)人:国际计测器株式会社,
类型:发明
国别省市:日本;JP
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