一种外延片编码读取装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种外延片编码读取装置。所述外延片编码读取装置包括，机体；第一载料部，连接于机体，用于放置需要读取编码的晶片；校正部，连接于机体，用于对晶片位置进行调节；扫码部，连接于机体，用于读取晶片上的编码；第二载料部，连接于机体，用于放置读取编码后的晶片；第一运料部，连接于机体，用于将第一载料部的晶片移动至校正部；第二运料部，连接于机体，用于将位于校正部的晶片移动至扫码部；第三运料部，连接于机体，用于将位于扫码部的晶片移动至第二载料部；所述第一运料部和第二运料部为一体结构并通过第一连接部滑动连接于机体。

A device for reading epitaxial chip code

The utility model discloses an epitaxial chip encoding and reading device. The epitaxial chip encoding and reading device comprises a body, a first material loading part connected to the body for placing the chip to be read and encoded, a correction part connected to the body for adjusting the chip position, a scanning part connected to the body for reading the encoding on the chip, a second material loading part connected to the body for placing the chip after reading the encoding, and a first material transporting part , connected to the body, for moving the wafer of the first loading part to the correction part; the second transporting part, connected to the body, for moving the wafer located in the correction part to the scanning part; the third transporting part, connected to the body, for moving the wafer located in the scanning part to the second loading part; the first transporting part and the second transporting part are integrated structure and slide connected through the first connecting part Connect to the body.

【技术实现步骤摘要】
一种外延片编码读取装置
本技术涉及一种外延片编码读取装置。
技术介绍
对于外延片设置有切边，并设置有字母和数字的组合以区别不同的晶片，外延片加工厂商需要将所述的字母和数字组合读出，以便于后续跟踪外延片的生产工艺。所述字母和数字的组合为外延片标志的一种方式，有些外延片采用烧蚀不同距离和深度的坑槽以区别，为了读取和识别上述外延片标志需要特殊的设备。
技术实现思路
为解决晶片上编码读取的问题，本技术提出一种外延片编码读取装置及外延片编码读取方法。所述外延片编码读取装置包括，机体；第一载料部，连接于机体，用于放置需要读取编码的晶片；校正部，连接于机体，用于对晶片位置进行调节；扫码部，连接于机体，用于读取晶片上的编码；第二载料部，连接于机体，用于放置读取编码后的晶片；第一运料部，连接于机体，用于将第一载料部的晶片移动至校正部；第二运料部，连接于机体，用于将位于校正部的晶片移动至扫码部；第三运料部，连接于机体，用于将位于扫码部的晶片移动至第二载料部；所述第一运料本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种外延片编码读取装置，其特征在于：所述外延片编码读取装置（100）包括，/n机体（10）；/n第一载料部（31），连接于机体（10），用于放置需要读取编码的晶片（40）；/n校正部（32），连接于机体（10），用于对晶片（40）位置进行调节；/n扫码部（33），连接于机体（10），用于读取晶片（40）上的编码；/n第二载料部（34），连接于机体（10），用于放置读取编码后的晶片（40）；/n第一运料部（21），连接于机体（10），用于将第一载料部（31）的晶片（40）移动至校正部（32）；/n第二运料部（22），连接于机体（10），用于将位于校正部（32）的晶片（40）移动至扫码部（33...

【技术特征摘要】
1.一种外延片编码读取装置，其特征在于：所述外延片编码读取装置（100）包括，
机体（10）；
第一载料部（31），连接于机体（10），用于放置需要读取编码的晶片（40）；
校正部（32），连接于机体（10），用于对晶片（40）位置进行调节；
扫码部（33），连接于机体（10），用于读取晶片（40）上的编码；
第二载料部（34），连接于机体（10），用于放置读取编码后的晶片（40）；
第一运料部（21），连接于机体（10），用于将第一载料部（31）的晶片（40）移动至校正部（32）；
第二运料部（22），连接于机体（10），用于将位于校正部（32）的晶片（40）移动至扫码部（33）；
第三运料部（23），连接于机体...

【专利技术属性】
技术研发人员：林生财，张成安，魏纯，刘熠，
申请(专利权)人：深圳市矽电半导体设备有限公司，
类型：新型
国别省市：广东;44