The utility model discloses a new type rotating magnetic control circular column arc target device, which comprises a shell, a first insulating pad, a vacuum sealing end cover device, a first O-ring, a shielding cover insulating pad, a shaft core retaining ring, a shielding cover, a driving shaft core, a self-aligning bearing, a magnetic sealing device, a magnetic liquid, a tapered roller bearing, a small round nut, a lock nut, a driving synchronous pulley, a motor bracket The utility model has the advantages of water separating device, synchronous belt, synchronous belt wheel of motor, motor tightening device, motor insulating pad, drive motor, shaft circlip, first rotating conductive device, first end sealing cover, second O-ring, second end sealing cover, water inlet joint, water outlet joint, rotating magnetic rod device, third O-ring, second rotating conductive device, target end sealing cover and target material In order to improve the uniformity and adhesion of the coating, and to realize the best process of ion plating, the operation of the equipment is stable and reliable, which greatly improves the production efficiency.
【技术实现步骤摘要】
一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置
本技术涉及的是等离子体表面气相沉积
,具体涉及一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置。
技术介绍
在国内外,如今真空镀膜在机械、电子、能源、信息等领域已经得到了广泛应用,而在真空镀膜中,生产效率及质量非常受人关注。真空镀膜技术又称为气相沉积技术,主要包括物理气相沉积(PVD)和化学气相沉积(CVD)。物理气相沉积是指在真空条件下,利用各种物理方法,将镀料气化成原子、分子、或使其离化为离子,直接沉积到基体表面上的方法,物理气相沉积本身分为三种:真空蒸发镀膜、真空溅射镀和真空离子镀膜,近十年来发展相当快,已经成为当今最先进的表面处理方式之一。本项目主要是关于真空离子镀领域的一种旋转柱弧装置,真空离子镀作为制备各种功能膜与装饰膜的主流技术,在近十年获得了长足的发展,它已被广泛应用于工业生产中的各种刀、模具等耐磨损材料的表面强化及日常生活中各种金属制品、工艺品的表面美化工艺。作为离子镀的关键技术—弧源技术也得到了飞速发展。目前,各种小多弧源、磁过滤金属真空弧源、矩形电磁控大面积弧源、柱状电弧源等已陆续进入了生产及科研领域。目前国内各厂家在旋转柱弧弧离子镀方面有如下一些缺点:溅射靶材上存在大颗粒,很难处理,靶材利用率不好,浪费原材料;磁铁长期泡在高温水里容易退磁,影响磁场强度;驱动装置属于动密封,容易漏气,使用周期短;引线的导电接触性不好,容易打弧等现象。综上所述,本技术设计了一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置。
技术实现思路
针对现有技术上存在的不足,本技术目的是在于 ...
【技术保护点】
1.一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置,其特征在于,包括壳体(1)、第一绝缘垫(2)、真空密封端盖装置(3)、第一O型圈(4)、屏蔽罩绝缘垫(5)、轴芯挡圈(6)、屏蔽罩(7)、驱动轴芯(8)、调心轴承(9)、磁性密封装置(10)、磁性液体(11)、圆锥滚子轴承(12)、小圆螺母(13)、锁紧螺母(14)、驱动同步带轮(15)、电机支架(16)、分水装置(17)、同步带(18)、电机同步带轮(19)、电机张紧装置(20)、电机绝缘垫(21)、驱动电机(22)、轴用卡簧(23)、第一旋转导电装置(24)、第一端密封盖(25)、第二O型圈(26)、第二端密封盖(27)、进水接头(28)、出水接头(29)、旋转磁棒装置(30)、第三O型圈(31)、第二旋转导电装置(32)、靶材端密封盖(33)和靶材(34),驱动轴芯(8)上安装有调心轴承(9),驱动轴芯(8)上的密封间隙(1004)沟槽内注入磁性液体(11),轴芯挡圈(6)安装在调心轴承(9)上,驱动轴芯(8)的密封间隙(1004)处还安装有磁性密封装置(10),圆锥滚子轴承(12)安装在壳体(1)和驱动轴芯(8)上,锁紧螺母(14)和小圆螺母 ...
【技术特征摘要】
1.一种新型旋转磁控圆型柱弧靶装置,其特征在于,包括壳体(1)、第一绝缘垫(2)、真空密封端盖装置(3)、第一O型圈(4)、屏蔽罩绝缘垫(5)、轴芯挡圈(6)、屏蔽罩(7)、驱动轴芯(8)、调心轴承(9)、磁性密封装置(10)、磁性液体(11)、圆锥滚子轴承(12)、小圆螺母(13)、锁紧螺母(14)、驱动同步带轮(15)、电机支架(16)、分水装置(17)、同步带(18)、电机同步带轮(19)、电机张紧装置(20)、电机绝缘垫(21)、驱动电机(22)、轴用卡簧(23)、第一旋转导电装置(24)、第一端密封盖(25)、第二O型圈(26)、第二端密封盖(27)、进水接头(28)、出水接头(29)、旋转磁棒装置(30)、第三O型圈(31)、第二旋转导电装置(32)、靶材端密封盖(33)和靶材(34),驱动轴芯(8)上安装有调心轴承(9),驱动轴芯(8)上的密封间隙(1004)沟槽内注入磁性液体(11),轴芯挡圈(6)安装在调心轴承(9)上,驱动轴芯(8)的密封间隙(1004)处还安装有磁性密封装置(10),圆锥滚子轴承(12)安装在壳体(1)和驱动轴芯(8)上,锁紧螺母(14)和小圆螺母(13)依次压紧圆锥滚子轴承(12)设置,真空密封端盖装置(3)通过螺丝固定在壳体(1)上,驱动轴芯(8)通过轴用卡簧(23)安装固定有驱动同步带轮(15),驱动电机(22)通过螺丝与电机绝缘垫(21)固定,驱动电机(22)、电机绝缘垫(21)通过螺丝安装在电机支架(16)上,电机支架(16)安装在壳体(1)上,电机同步带轮(19)安装在驱动电机(22)上,同步带(18)将电机同步带轮(19)与驱动同步带轮(15)连接,电机支架(16)上安装有用于张紧同步带(18)的电机张紧装置(20),分水装置(17)通过螺丝与电机支架(16)和壳体(1)固定,第一旋转导电装置(24)固定在驱动轴芯(8)上,分水装置(17)上依次固定有第一端密封盖(25)、第二O型圈(26)、第二端密封盖(27),分水装置(17)上设置有出水接头(29),进水接头(28)设置在驱动轴芯(8)左端,第一绝缘垫(2)、第一O型圈(4)、屏蔽罩绝缘垫(5)、屏蔽罩(7)依次通过螺丝固定在壳体(1)上,靶材(34)通过螺纹连接安装在驱动轴芯(8)上,靶材(34)外端通过第三O型圈(31)设置有靶材端密封盖(33),靶材端密封盖(33)内侧设置有第二旋转...
【专利技术属性】
技术研发人员:张俊峰,赵子东,许春立,张大剑,
申请(专利权)人:上海子创镀膜技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海;31
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