The utility model relates to the technical field of the slide stage, in particular to a slide stage for improving layering, which comprises a first slide stage, a first drag increasing groove is arranged on the inner side of the top of the first slide stage, a second drag increasing groove is arranged on the inner side of the top of the first slide stage, the inner side of the first slide stage is slidably connected with a limited position rod, the bottom end of the limit rod is fixedly connected with a clamp block, and the top end of the clamp block is fixedly connected A first spring is fixedly connected, the top end of the first spring is fixedly connected with the first slide stage, the right side of the first slide stage is provided with a second slide stage, the left side of the second slide stage is fixedly connected with a binding block, and the left side of the binding block is fixedly connected with a base. In the utility model, the resin is connected with the lead frame through the first resistance increasing groove and the second resistance increasing groove It is more secure, which is conducive to locking the resin and preventing it from separating from the film carrier, so as to improve the layering effect, strengthen the combination of the resin and the film carrier, and improve the product's ability to prevent layering.
【技术实现步骤摘要】
一种改善分层的载片台
本技术涉及载片台
,具体为一种改善分层的载片台。
技术介绍
在等离子体刻蚀工艺中所使用的载片台是一种芯片固定结构,选择合理的芯片固定结构,对等离子体刻蚀工艺的可靠性和稳定性有重要的作用,在选择芯片固定结构时,应当考虑芯片的尺寸,刻蚀工艺的气体流量分布,芯片固定结构材料对于刻蚀工艺过程的物理和化学影响,以及刻蚀工艺过程产生的热效应等因素,因载片台正面需装载芯片,故增阻槽只能设在载片台背面功能,通过此槽增大树脂与载片台接触面积,阻止树脂因热胀冷缩发生位移时与载片台分开,增强结合力度,因此,对一种改善分层的载片台的需求日益增长。目前市场上存在的大部分载片台均设置有增阻槽,传统的载片台上的现有增阻槽形状为一段式下沉,槽状为口大底小的梯形,只在一定程度上增大树脂与载片台的接触面积,但无法锁住树脂,对剥离分层效果不明显传统的载片台仅仅为一块单独式设计,若需要大块或者小块载片台需要重新制作,成本较高,费事费力,因此,针对上述问题提出一种改善分层的载片台。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种改善分层的载片台,以解决上述
技术介绍
中提出的问题。为实现上述目的,本技术提供如下技术方案:一种改善分层的载片台,包括第一载片台,所述第一载片台顶端内侧开设有第一增阻槽,所述第一载片台顶端内侧开设有第二增阻槽,所述第一载片台内侧滑动连接有限位杆,所述限位杆底端固定连接有卡块,所述卡块顶端固定连接有第一弹簧,所述第一弹簧顶端与所述第一载片台固定连接,所述第一载片台右侧设置有第二载 ...
【技术保护点】
1.一种改善分层的载片台,包括第一载片台(1),其特征在于:所述第一载片台(1)顶端内侧开设有第一增阻槽,所述第一载片台(1)顶端内侧开设有第二增阻槽,所述第一载片台(1)内侧滑动连接有限位杆(2),所述限位杆(2)底端固定连接有卡块(3),所述卡块(3)顶端固定连接有第一弹簧(4),所述第一弹簧(4)顶端与所述第一载片台(1)固定连接,所述第一载片台(1)右侧设置有第二载片台(5),所述第二载片台(5)左侧固定连接有贴合块(6),所述贴合块(6)左侧固定连接有底座(7),所述底座(7)左侧滑动连接有滑块(8),所述滑块(8)左侧固定连接有安装块(9),位于底端所述安装块(9)顶端固定连接有套管(10),所述套管(10)内侧滑动连接有顶块(11),所述顶块(11)底端固定连接有第二弹簧(12),所述第二弹簧(12)底端与所述套管(10)固定连接,所述套管(10)顶端内侧固定连接有挡块(13),所述顶块(11)左端面和右端面固定连接有限位块(14),所述第二载片台(5)右侧设置有第三载片台(15)。/n
【技术特征摘要】
1.一种改善分层的载片台,包括第一载片台(1),其特征在于:所述第一载片台(1)顶端内侧开设有第一增阻槽,所述第一载片台(1)顶端内侧开设有第二增阻槽,所述第一载片台(1)内侧滑动连接有限位杆(2),所述限位杆(2)底端固定连接有卡块(3),所述卡块(3)顶端固定连接有第一弹簧(4),所述第一弹簧(4)顶端与所述第一载片台(1)固定连接,所述第一载片台(1)右侧设置有第二载片台(5),所述第二载片台(5)左侧固定连接有贴合块(6),所述贴合块(6)左侧固定连接有底座(7),所述底座(7)左侧滑动连接有滑块(8),所述滑块(8)左侧固定连接有安装块(9),位于底端所述安装块(9)顶端固定连接有套管(10),所述套管(10)内侧滑动连接有顶块(11),所述顶块(11)底端固定连接有第二弹簧(12),所述第二弹簧(12)底端与所述套管(10)固定连接,所述套管(10)顶端内侧固定连接有挡块(13),所述顶块(11)左端面和右端面固定连接有限位块(14),所述第二载片台(5)右侧设置有第三载片台(15)。
2.根据权利要求1所述的一种改善分层的载片台,其特征在于:所述第一增阻槽内侧壁底端与所述第二增阻槽相互连通,所述第一增阻槽和所述第二增阻槽呈燕尾槽状设置,所述第一增阻槽和所述第二增阻槽分别设置在所述第一载...
【专利技术属性】
技术研发人员:荣文超,李倩,
申请(专利权)人:无锡通芝微电子有限公司,
类型:新型
国别省市:江苏;32
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