一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪，所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架，所述倾斜面上固设有反射镜，所述检测支架的上部固设有基片放置平台，所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合，所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠，利用待测基片的自身重力来放置固定基片，方便简洁，同时避免基片多处受力影响面型参数及镜面的光洁度，避免基片被刮花，且提高了检测效率。

A portable testing device for lens and plane mirror substrate

The utility model discloses a portable detection device for lens and plane mirror substrate, which includes a laser interferometer. One side of the laser interferometer is provided with a detection bracket with an inclined plane, the inclined plane is provided with a reflector, the upper part of the detection bracket is provided with a substrate placement platform, the substrate placement platform is detachable and provided with a substrate placement clamp for placing the substrate to be measured The acute angle formed by the inclined plane and the horizontal plane is equal to the incident angle formed when the incident light emitted by the laser interferometer is directed to the reflector. The reflected light formed by the incident light reflected by the reflector coincides with the central axis of the substrate to be tested. On the substrate placement fixture and the contact surface of the substrate to be tested are evenly arranged with a number of plates for bearing the substrate to be tested Steel ball, using the gravity of the substrate to be tested to place the fixed substrate, which is convenient and simple. At the same time, it avoids the influence of multiple forces on the surface parameters of the substrate and the surface finish of the mirror, avoids the substrate from being scratched, and improves the detection efficiency.

【技术实现步骤摘要】
一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置
本技术属于光学透镜检测
，具体涉及一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置。
技术介绍
光学元件中的透镜和平面镜，往往需要使用激光平面干涉仪和激光球面干涉仪检测面型、反射波前等光学指标，在检测的过程中主要是通过竖直放置的夹具对每一片透镜和平面镜进行夹紧，同时通过手动调制其反射像点，使入射光线和反射光线重合产生干涉条纹，这样的检测装置主要缺点有：1、需要浪费大量的时间精确调制。2、要求检测装置人员有经验丰富调制经验和娴熟的手法。3、每一片检测基片都需要执行一次一样的操作，操作繁琐同时浪费时间。4、在透镜的检测过程中，每一片都需要微调夹具前后距离来使透镜聚焦，无疑增加单片的检测时效。申请号为CN201820960018.X的专利公开了一种高精度的光学透镜检测装置，包括呈水平设置的基板和位于基板正上方的检测组件，所述基板的顶部设有能够驱动检测组件沿基板的长度方向移动的驱动组件，检测组件的底部设有能够驱动其沿基板的宽度方向移动的丝杆滑台，丝杆滑台的滑块与检测组件固定连接，检测组件的前端设有两个对称设置的聚光板，两个聚光板均呈竖直设置且两者之间的间距自基板的前端向其末端逐渐减小，基板的前端设有与其固定连接的投影板，检测组件的输出端朝向投影板设置，两个聚光板之间设有用于固定光学透镜的定位组件，这种透镜检测装置需要使用夹具对透镜进行固定，操作繁琐，且容易影响透镜的光洁度，且透镜受力情况下面型等参数可能造成不稳定的现象，同时每次检测都需要调节夹具前后距离来使得透镜聚焦，增加单片的检测时效。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置。为实现上述目的，本技术采用的技术方案是：一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪，所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架，所述倾斜面上固设有反射镜，所述检测支架的上部固设有基片放置平台，所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合，所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠。将待测基片放置在基片放置夹具上面，通过钢珠与待测基片接触并支撑待测基片，使得待测基片完全通过自身重力平稳放置在基片放置平台上，在没有其他受力情况下，待测基片的面型等相关参数比较稳定，保证检测结果的准确性；同时能够有效保护待测基片的光洁度，确保待测基片不会被刮花，激光干涉仪发射检测光经过反射镜偏转后达到待测基片的表面，可通过待测基片的第一表面反射检测待测基片的面型参数，也可以透过待测基片达到第二表面反射检测待测基片的波前参数，检测光经过待测基片的上表面或者下表面反射后再经过反射镜达到激光干涉仪的CCD探测仪上产生干涉条纹，通过分析干涉条纹达到检测透镜、平面镜的表面质量和透过系数等相关参数，且仅需移动一次调焦距离尺寸工整就可以检测同一批次的所有待测基片，避免传统的检测装置需要重复对焦、以及固定待测基片的繁琐过程，极大提高了工作效率。进一步的，所述检测支架采用高强度铝合金材质制备，硬度高可减少检测装置的震动，增加检测透镜/平面镜的精度。进一步的，所述反射镜为金属膜或介质膜反射镜，采用不同波段膜系的金属和介质膜反射镜，能够起到一个装置检测多种不同材料和膜系的透镜指标，通过镀膜使得反射率达到98％以上，不影响检测激光干涉仪射出的光束质量，避免检测光分散，影响检测结果。进一步的，所述检测支架的底部安装有俯仰和前后微调检测支架的微调平台，通过微调平台来对检测支架进行微调，包括俯仰角度以及前后位置的调节，使得装置便于检测平面反射镜，同时也仅需要调制一次平面镜的反射像点即可检测同一批次的所有反射镜，无需重复调制。进一步的，所述检测支架的底部、侧面和顶部均设有紧固的螺丝空位，既可与检测装置形成一个整体，又可安装在其他的可移动的调制平台上，有效的提高了检测装置的整体性和便携性。进一步的，所述入射角为45°，即在检测待测基片时，激光干涉仪的检测光是水平射向反射镜的，只需要通过移动激光干涉仪的位置来调节检测光经过反射镜偏转后射向待测透镜时的入射光和反射光重合即可。与现有技术相比，本技术的有益效果是：1、利用基片的自身重力来放置固定基片，方便简洁，同时避免基片多处受力影响面型参数及镜面的光洁度，避免基片被刮花，且提高了检测效率。2、检测光通过反射镜偏转后垂直向上入射至待测基片中心，无需多次调制即可检测同一批次的待测基片。3、检测支架的底部、侧面和顶部均设有紧固的螺丝空位，既可与检测装置形成一个整体，又可安装在其他的可移动的调制平台上，有效的提高了检测装置的整体性和便携性。附图说明图1为本技术检测装置结构示意图；图2为本技术检测装置工作示意图；图3为本技术具体实施例中剪切干涉仪的结构示意图；图中：1、激光干涉仪；2、检测支架；3、基片放置平台；4、基片放置夹具；5、反射镜；6、钢珠；7、微调平台；8、待测基片；9、平行平板；10、毛玻璃；11、夹具。具体实施方式下面将结合本技术中的附图，对本技术的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动条件下所获得的所有其它实施例，都属于本技术保护的范围。实施例1：如图1-2所示，一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪1，所述激光干涉仪1的一侧设有带倾斜面的检测支架2，所述倾斜面上固设有反射镜5，所述检测支架2的上部固设有基片放置平台3，所述基片放置平台3上可拆卸设置有放置待测基片8的基片放置夹具4，可拆卸方式包括螺纹连接、止口配合，可随时更换不同尺寸，不同形状，起到同时检测形状大小不一的各种产品的作用，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪1发射的入射光线射向反射镜5时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜5反射形成的反射光线与所述待测基片8的中心轴线重合，所述中心轴线为垂直于待测基片8所在水平面且穿过待测基片8中心的一条线，所述基片放置夹具4上与待测基片8接触面均匀布设有若干用于承载待测基片8的钢珠6。将需要检测的透镜、平面镜基片放置在基片放置夹具4上面，通过钢珠6与待测基片8接触并支撑待测基片8，使得待测基片8完全通过自身重力平稳放置在基片放置平台3上，在没有其他受力情况下待测基片8的面型等相关参数比较稳定，保证检测结果的准确性；同时能够有效保护镜面的光洁度，确保待测基片8不会被刮花，激光干涉仪1的检测光(即入射光线)经过反射镜5后达到待测基片8的表面，可通过待测基片8的第一表面反射检测待测基片8的面型参数，也可以透过待测基片8达到第二表本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架，所述倾斜面上固设有反射镜，所述检测支架的上部固设有基片放置平台，所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合，所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠。/n

【技术特征摘要】
1.一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，包括激光干涉仪，其特征在于，所述激光干涉仪的一侧设有带倾斜面的检测支架，所述倾斜面上固设有反射镜，所述检测支架的上部固设有基片放置平台，所述基片放置平台上可拆卸设置有放置待测基片的基片放置夹具，所述倾斜面与水平面形成的锐角大小等于所述激光干涉仪发射的入射光线射向反射镜时形成的入射角大小，所述入射光线经过反射镜反射形成的反射光线与所述待测基片的中心轴线重合，所述基片放置夹具上与待测基片接触面均匀布设有若干用于承载待测基片的钢珠。


2.如权利要求1所述的一种透镜、平面镜基片的便携式检测装置，其特征在于，所述检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘朝旭，贺鹏，肖志全，
申请(专利权)人：武汉优光科技有限责任公司，
类型：新型
国别省市：湖北;42