The invention provides a confocal scanner, a microscope system and a confocal microscope. The confocal scanner installed in the microscope includes: linear light source, outgoing light; linear detector, which has a linear detection unit to detect the incident light according to each line; and a moving mechanism to move the linear light source and the linear detector in parallel with the microscope. The linear light source and the linear detector are respectively arranged on the focal plane relative to the microscope The corresponding position relationship in the imaging plane of the conjugate position.
【技术实现步骤摘要】
【国外来华专利技术】共聚焦扫描仪、显微镜系统以及共聚焦显微镜
本专利技术涉及共聚焦扫描仪、显微镜系统以及共聚焦显微镜。
技术介绍
已知有线式扫描型的共聚焦显微镜。例如,在专利文献1中公开了一种扫描例子,将线状的照明光投影到观察对象上,通过线状的检测器检测来自观察对象的返回光,通过扫描镜将线状的照明光对观察对象进行扫描。此外,在专利文献2中公开了另外的线式扫描型的共聚焦显微镜的例子。这个例子虽然与专利文献1公开的例子相同,将线状的照明光投影到观察对象上,并通过线状的检测器检测来自观察对象的返回光,但是其是相对于观察对象使光学系统整体向1个方向并进移动并进行扫描的例子。此外,在专利文献3以及专利文献4中公开了在物镜与光分束装置以及成像透镜之间设置狭缝阵列,通过使该狭缝阵列往复运动而进行扫描的例子。现有技术文献专利文献专利文献1:日本专利第4905356号公报专利文献2:日本专利第2660613号公报专利文献3:日本特开2001-13445号公报专利文献4:日本特开2003-247817号公报但是,虽然在专利文献1中使用的扫描镜能够进行高速扫描,可是一般来说高额的较多,所以存在的缺点是导致系统高额。此外,在配置扫描镜的情况下,一般优选配置在物镜的瞳位置,但是物镜的瞳位置位于物镜的内部或安装位置附近,所以不适合配置扫描镜。因此,一般来说扫描镜需要通过中继透镜来转送物镜的瞳位置,所以存在的缺点是光学系统整体变大。此外,按照在专利文献2中公开的技术,作为扫描方式 ...
【技术保护点】
1.一种共聚焦扫描仪,是安装在显微镜上的共聚焦扫描仪,其特征在于,包括:/n线状光源,射出线状光;/n线状检测器,具有将入射的光按照每行进行检测的线状的检测部;以及/n移动机构,使所述线状光源与所述线状检测器相对于所述显微镜并进移动,/n所述线状光源与所述线状检测器分别配置在相对于所述显微镜的焦平面位于共轭的位置的成像面内的相互对应的位置关系上。/n
【技术特征摘要】
【国外来华专利技术】20170413 JP 2017-079986;20171226 JP 2017-2496171.一种共聚焦扫描仪,是安装在显微镜上的共聚焦扫描仪,其特征在于,包括:
线状光源,射出线状光;
线状检测器,具有将入射的光按照每行进行检测的线状的检测部;以及
移动机构,使所述线状光源与所述线状检测器相对于所述显微镜并进移动,
所述线状光源与所述线状检测器分别配置在相对于所述显微镜的焦平面位于共轭的位置的成像面内的相互对应的位置关系上。
2.根据权利要求1所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,所述线状光源与所述线状检测器被配置在所述显微镜具备的成像透镜与所述成像透镜的像面之间的分束光学系统分束,分别直接配置在所述成像透镜的成像面上。
3.根据权利要求2所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,所述移动机构使所述线状光源与所述线状检测器在维持相互对应的所述位置关系的状态下在所述显微镜的成像面上并进移动。
4.根据权利要求1~3中任意一项所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,
所述线状光源与所述线状检测器配置的位置关系为:使根据所述线状光源的长边方向与从所述线状光源射出的光的光轴方向确定的平面和根据所述线状检测器的长边方向与向所述线状检测器入射的光的光轴方向确定的平面成为同一平面或者相互平行的平面,
所述移动机构使所述线状光源以及所述线状检测器向相对于所述同一平面或者所述相互平行的平面垂直的方向并进移动。
5.根据权利要求4所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,所述线状光源与所述线状检测器配置的位置关系为:使根据所述线状光源的长边方向与从所述线状光源射出的光的光轴方向确定的平面和根据所述线状检测器的长边方向与向所述线状检测器入射的光的光轴方向确定的平面成为同一平面,并且所述线状光源的光轴与所述线状检测器的光轴通过分束光学系统相交。
6.根据权利要求1~5中任意一项所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,所述移动机构使所述线状光源与所述线状检测器一体并进移动。
7.根据权利要求1~6中任意一项所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,
包括多个数量分别相同的所述线状光源与所述线状检测器,
分别成对的所述线状光源与所述线状检测器配置在对应的位置关系上。
8.根据权利要求7所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,
所述成对的所述线状光源与所述线状检测器分别配置的位置关系为:使各自的根据所述线状光源的长边方向与从所述线状光源射出的光的光轴方向确定的平面和各自的根据所述线状检测器的长边方向与向所述线状检测器入射的光的光轴方向确定的平面成为同一平面或者相互平行的平面,
所述移动机构使所述成对的所述线状光源与所述线状检测器分别向相对于所述同一平面或者所述相互平行的平面垂直的方向并进移动。
9.根据权利要求1~6中任意一项所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,
所述线状光源与所述线状检测器中的任意一方具有多个,
所述线状光源与所述线状检测器配置成通过相对移动能够选择性地使所述线状光源与所述线状检测器对应。
10.根据权利要求9所述的共聚焦扫描仪,其特征在于,
包括多个所述线状光源与1个所述线状检测器,
所述线状光源与所述线状检测器配置成通过相对移动能够选择性地使多个所述线状光源中的1个所述线状光源与1...
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