一种温度控制系统技术方案

本实用新型专利技术公开一种温度控制系统，包括：风冷单元，与外接设备连接，用于对外接设备进行温度控制；制冷单元，与风冷单元连接，用于对所述风冷单元中的空气进行冷却；热量回收单元，与所述制冷单元和所述风冷单元连接，用于回收利用所述制冷单元中的热量，并对所述风冷单元中的空气进行加热；控制单元，与所述风冷单元、所述制冷单元和所述热量回收单元电连接。本实用新型专利技术提供的温度控制系统，能够通过将制冷单元中产生的热量用于对风冷单元中的空气加热，能够提高能源利用率，达到节能效果，降低运行成本。

A temperature control system

The utility model discloses a temperature control system, which comprises an air cooling unit connected with an external device for temperature control of the external device, a refrigeration unit connected with an air cooling unit for cooling the air in the air cooling unit, a heat recovery unit connected with the refrigeration unit and the air cooling unit for recycling the heat in the refrigeration unit The control unit is electrically connected with the air cooling unit, the refrigeration unit and the heat recovery unit. The temperature control system provided by the utility model can use the heat generated in the refrigeration unit to heat the air in the air cooling unit, improve the energy utilization rate, achieve the energy saving effect and reduce the operation cost.

【技术实现步骤摘要】
一种温度控制系统
本技术涉及温度控制领域，尤其涉及一种温度控制系统。
技术介绍
半导体设备对温度控制的要求相当严格，预处理、上片、刻蚀、下片等工艺过程所产生的热耗差别很大，刻蚀腔体的温度变化已扩展到-20℃～80℃，而且对温度控制的精度越来越高。目前温度控制系统一般通过冷热能量补偿来实现高精度，而冷是通过制冷系统来实现，热是通过电加热器来实现，这样系统较为复杂，成本高，消耗电功率较大。且制冷系统产生的热量通过水冷或者风冷间接排放，未能利用，造成非常大的能量浪费。
技术实现思路
本技术提供一种温度控制系统，能够通过将制冷单元中产生的热量用于对风冷单元中的空气加热，能够提高能源利用率，达到节能效果，降低运行成本。本技术提供了一种温度控制系统，包括风冷单元，与外接设备连接，用于对外接设备进行温度控制；制冷单元，与风冷单元连接，用于对所述风冷单元中的空气进行冷却；热量回收单元，与所述制冷单元和所述风冷单元连接，用于回收利用所述制冷单元中的热量，并对所述风冷单元中的空气进行加热；控制单元，与所述风冷单元、所述制冷单元和所述热量回收单元电连接。可选的，所述风冷单元包括：回风调节器，用于调节进入风冷单元中的空气的流量；冷却器，所述冷却器的进口端与所述回风调节器的出口端连接，用于对所述风冷单元中的空气进行冷却；加热器，所述加热器的进口端与所述冷却器的出口端连接，用于对所述风冷单元中的空气进行加热；送风器，所述送风器的进口端与所述加热器的出口端连接，所述送风器的出口端与所述外接设备连接，用于向所述外接设备提供冷却风。可选的，所述冷却单元包括压缩器、三通阀、冷凝器和节流器；所述压缩器的出口端与所述三通阀的进口端连接，三通阀的第一出口端与所述冷凝器的进口端连接，所述冷凝器的出口端与所述节流器的进口端连接，所述节流器的出口端与所述冷却器的制冷剂进口端连接，所述冷却器的制冷剂出口端与所述压缩器的进口端连接；所述三通阀的控制端与所述控制单元电连接。可选的，所述压缩器包括定额压缩器，所述三通阀集成在所述定额压缩器的出口端。可选的，所述三通阀的第二出口端与所述加热器的制冷剂进口端连接，所述加热器的制冷剂出口端与所述冷凝器的进口端连接。可选的，所述回风调节器还通过一旁路直接与所述加热器的进口端连接。可选的，温度控制系统还包括第一温度传感器，设置于所述送风器的出口端，所述第一温度传感器与所述控制单元电连接。可选的，温度控制系统还包括第二温度传感器和第三温度传感器，所述第二温度传感器设置于所述回风调节器的进口端，所述第三温度传感器设置于所述冷却器的出口端；所述第二温度传感器和第三温度传感器与所述控制单元电连接。本技术实施例提供的温度控制系统，通过热量回收单元连通制冷单元和风冷单元，将携带大量热量的部分气态制冷剂通入风冷单元中，气态制冷剂与风冷单元中的空气进行非接触式的热交换，以对风冷单元中的空气进行加热，进而实现对制冷单元中产生的热量进行回收的目的，由于无需额外设置电加热器，简化了系统结构，降低了设备成本，此外，提高了能源利用率，达到节能效果，降低了系统运行成本。附图说明下面根据附图和实施例对本技术作进一步详细说明。图1为本技术提供的一种温度控制系统的结构示意图；图2为本技术提供的一种温度控制系统的管路连接图；图3为本技术提供的另一种温度控制系统的管路连接图。具体实施方式为使本技术解决的技术问题、采用的技术方案和达到的技术效果更加清楚，下面将结合附图对本技术实施例的技术方案作进一步的详细描述，显然，所描述的实施例仅仅是本技术一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本技术中的实施例，本领域技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。在本技术的描述中，除非另有明确的规定和限定，术语“相连”、“连接”、“固定”应做广义理解，例如，可以是固定连接，也可以是可拆卸连接，或成一体；可以是机械连接，也可以是电连接；可以是直接相连，也可以通过中间媒介间接相连，可以是两个元件内部的连通或两个元件的相互作用关系。对于本领域的普通技术人员而言，可以具体情况理解上述术语在本技术中的具体含义。本技术实施例提供了一种温度控制系统，用于对外接设备进行温度控制，可选的，外接设备可以包括半导体制造设备。图1为本技术提供的一种温度控制系统的结构示意图，如图1所示，该温度控制系统包括风冷单元100、制冷单元200、热量回收单元300和控制单元400。其中，风冷单元100与外接设备500连接，用于对外接设备500进行温度控制。制冷单元200与风冷单元100连接，用于对风冷单元100中的空气进行冷却。示例性的，风冷单元100中流通有空气，制冷单元200中流通有制冷剂，制冷剂和空气在风冷单元100和制冷单元200的连接处进行非接触式的热交换，以对风冷单元100中的空气进行冷却。热量回收单元300与风冷单元100和制冷单元200连接，连通风冷单元100和制冷单元200，用于回收利用制冷单元200中的热量，并对风冷单元100中的空气进行加热。示例性的，制冷单元200在制冷的过程中会产生大量的热量，热量回收单元300将携带大量热量的部分气态制冷剂通入风冷单元100中，气态制冷剂与风冷单元100中的空气在风冷单元100和热量回收单元300的连接处进行非接触式的热交换，以对风冷单元100中的空气进行加热，进而实现对制冷单元200中产生的热量进行回收的目的。通过制冷单元200对风冷单元100中流通的空气进行冷却，以及热量回收单元300对风冷单元100中流通的空气进行加热，以此调节风冷单元100出口端，即与外接设备500的连接端的输出空气的温度，实现对外接设备500的温度控制。控制单元400与风冷单元100、制冷单元200和热量回收单元300电连接，用于控制热量回收单元300中气态制冷剂的流量，以精准控制风冷单元100出口端的出风温度，实现对外接设备500的工作温度的精确控制。当然，控制单元400也可以用于控制风冷单元100中的空气流量，通过调节空气流量对外接设备500的工作温度的精确控制，控制单元400也可以用于控制制冷单元200中的制冷剂的流量，通过调节制冷剂的流量，控制制冷单元200对风冷单元100中的空气的制冷能力，调节风冷单元100出口端的出风温度，实现对外接设备500的工作温度的精确控制。本技术实施例提供的温度控制系统，通过热量回收单元连通制冷单元和风冷单元，将携带大量热量的部分气态制冷剂通入风冷单元中，气态制冷剂与风冷单元中的空气进行非接触式的热交换，以对风冷单元中的空气进行加热，进而实现对制冷单元中产生的热量进行回收的目的，由于无需额外设置电加热器，简化了系统结构，降低了设备成本，此外，提高了能源利用率，达到节能效果，降低了系统运行成本。图2为本技术提供的一种温度控制系统的管路连接图，可选的，如图2所示，风冷单元100包括回风调节器110、冷却器120、加热器130和送风器140。其中，回风调节器110的控制端与控制单元400电连接，用于根据控制单元的控制指令调节进入风冷单元100中的空气的流量。冷却器120的进口端与回风调节器110的出口端连接，空气经回本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种温度控制系统，其特征在于，包括：风冷单元，与外接设备连接，用于对外接设备进行温度控制；制冷单元，与风冷单元连接，用于对所述风冷单元中的空气进行冷却；热量回收单元，与所述制冷单元和所述风冷单元连接，用于回收利用所述制冷单元中的热量，并对所述风冷单元中的空气进行加热；控制单元，与所述风冷单元、所述制冷单元和所述热量回收单元电连接。

【技术特征摘要】
1.一种温度控制系统，其特征在于，包括：风冷单元，与外接设备连接，用于对外接设备进行温度控制；制冷单元，与风冷单元连接，用于对所述风冷单元中的空气进行冷却；热量回收单元，与所述制冷单元和所述风冷单元连接，用于回收利用所述制冷单元中的热量，并对所述风冷单元中的空气进行加热；控制单元，与所述风冷单元、所述制冷单元和所述热量回收单元电连接。2.根据权利要求1所述的温度控制系统，其特征在于，所述风冷单元包括：回风调节器，用于调节进入风冷单元中的空气的流量；冷却器，所述冷却器的进口端与所述回风调节器的出口端连接，用于对所述风冷单元中的空气进行冷却；加热器，所述加热器的进口端与所述冷却器的出口端连接，用于对所述风冷单元中的空气进行加热；送风器，所述送风器的进口端与所述加热器的出口端连接，所述送风器的出口端与所述外接设备连接，用于向所述外接设备提供冷却风。3.根据权利要求2所述的温度控制系统，其特征在于，所述冷却单元包括压缩器、三通阀、冷凝器和节流器；所述压缩器的出口端与所述三通阀的进口端连接，三通阀的第一出口端与所述冷凝器的进口端连接，所...

【专利技术属性】
技术研发人员：王飞，王黎明，郝保同，张瑞平，
申请(专利权)人：上海微电子装备集团股份有限公司，
类型：新型
国别省市：上海,31