The utility model relates to a pneumatic rotating plate valve for vacuum coating, which comprises a valve plate, a rotating shaft body, two sets of pneumatic driving devices, a traction device, a electromagnetic reversing valve and a photoelectric detector. The valve plate is arranged at the channel port of the vacuum box body, and the closing part arranged at the inner side of the valve plate can completely cover the channel port of the vacuum box body. The outer side of the valve plate and the rotating shaft body are installed by traction The rotating shaft body is arranged on one side of the valve plate, two sets of pneumatic driving devices are respectively installed on the upper and lower ends of the side walls of the vacuum box, two sets of pneumatic driving devices can be connected with the upper and lower ends of the rotating shaft body by rotation, the electromagnetic reversing valve is connected with the air source of each set of pneumatic driving device through the gas transmission pipeline, the photoelectric detector is arranged on the wall of the vacuum box, and the induction detection of the photoelectric detector is conducted The head is aligned with the workpiece car near the valve plate in the vacuum box, and the photoelectric detector is electrically connected with the electromagnetic reversing valve. The rotary plate valve has the advantages of simple structure, automatic switch and good sealing performance.
【技术实现步骤摘要】
一种用于真空镀膜的气动转板阀
本技术涉及真空镀膜工艺设备
,尤其涉及一种用于真空镀膜的真空环境下的气动转板阀。
技术介绍
在真空镀膜工艺中,一般在真空镀膜生产线中存在连续的真空镀膜设备,由于相邻的两个设备腔体的功能有所不同,其所需要的真空度亦有所差异,因此腔体之间需要架设闸门阀,用于将腔体隔开,避免各腔体在作业时产生相互干扰的情形。目前真空镀膜设备各真空箱体之间使用的阀门为转板阀,即利用转动轴体带动阀板转动,然而,在转板阀结构设计上确有其不周之处,往往存在转板阀开关故障,或密封不良,严重影响生产的顺利进行。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种结构简单、可自动开关且密封性能佳的用于真空镀膜的气动转板阀。为了实现上述目的,本技术采用的技术方案为,一种用于真空镀膜的气动转板阀,包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器,阀板设置在真空箱体的通道口处,设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口,阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接,转动轴体设置在阀板的一侧,与真空箱体位于同一侧,两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端,两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接,电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源,光电探测器设置在真空箱体壁上,光电探测器的感应探头对准真空箱体内部来感应临近阀板的工件车,光电探测器与电磁换向阀电连接。作为本技术的一种改进,每套气动驱动装置包括驱动气缸、齿轮杆、带轴承齿轮、高压气源,齿轮杆的一端连接驱动气缸的活塞,另一端端部设有齿条,齿轮杆通过齿条与带轴承齿轮相啮合连接,带轴承 ...
【技术保护点】
1.一种用于真空镀膜的气动转板阀,其特征在于:包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器,阀板设置在真空箱体的通道口处,设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口,阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接,转动轴体设置在阀板的一侧,两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端,两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接,电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源,光电探测器设置在真空箱体壁上,光电探测器的感应探头对准真空箱体内部来感应临近阀板的工件车,光电探测器与电磁换向阀电连接。
【技术特征摘要】
1.一种用于真空镀膜的气动转板阀,其特征在于:包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器,阀板设置在真空箱体的通道口处,设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口,阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连接,转动轴体设置在阀板的一侧,两套气动驱动装置分别安装于真空箱体的侧壁上下两端,两套气动驱动装置与转动轴体的上下端可转动连接,电磁换向阀通过输气管道连接每套气动驱动装置的气源,光电探测器设置在真空箱体壁上,光电探测器的感应探头对准真空箱体内部来感应临近阀板的工件车,光电探测器与电磁换向阀电连接。2.如权利要求1所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀,其特征在于,每套气动驱动装置包括驱动气缸、齿轮杆、带轴承齿轮、高压气源,齿轮杆的一端连接驱动气缸的活塞,另一端端部设有齿条,齿轮杆通过齿条与带轴承齿轮相啮合连接,带轴承齿轮中设有凹槽,转动轴体卡设于凹槽中,电磁换向阀通过输气管道分别连接高压气源和驱动气缸的气口。3.如权利要求2所述的一种用于真空镀膜的气动转板阀,其特征在于,所述光电探测器包括光电感应器和微控制器,光电感应器连接微控制器的输入端,微控制器的输出端连接电磁换向阀,光电感应器对准真空箱体的通道口。4.如权利要求3所述的一种用于真空镀膜...
【专利技术属性】
技术研发人员:胡超川,朱磊,张继凡,
申请(专利权)人:安徽立光电子材料股份有限公司,
类型:新型
国别省市:安徽,34
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