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本实用新型涉及一种用于真空镀膜的气动转板阀，包括阀板、转动轴体、两套气动驱动装置、牵引装置、电磁换向阀和光电探测器，阀板设置在真空箱体的通道口处，设置于阀板内侧的闭合部能够完全覆盖住真空箱体的通道口，阀板外侧与转动轴体之间通过牵引装置固定连...
该专利属于安徽立光电子材料股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过安徽立光电子材料股份有限公司授权不得商用。

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